用于實現(xiàn)將所述玻璃加工治具從所述轉(zhuǎn)換區(qū)經(jīng)所述沖洗區(qū)向所述蝕刻區(qū)的減薄前移動,,以及從所述蝕刻區(qū)經(jīng)所述沖洗區(qū)向所述轉(zhuǎn)換區(qū)的減薄后移動;所述沖洗區(qū)設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間,。較佳的,,所述蝕刻區(qū)包括腔室,、主厚度測量儀、噴淋組件和控制器,;所述主厚度測量儀,、所述噴淋組件設(shè)置于所述腔室上,所述噴淋組件在所述腔室中對設(shè)置于所述玻璃加工治具上的玻璃施加減薄處理,,所述主厚度測量儀實時測量在所述腔室內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度,;所述控制器與所述噴淋組件、所述主厚度測量儀,、所述傳輸組件連接,。較佳的,所述噴淋組件包括設(shè)置于所述腔室頂部的噴淋頭,、設(shè)置于所述腔室底部的收集槽,、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路,通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具上的玻璃噴淋噴淋液從而實現(xiàn)玻璃的減薄處理,,所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室內(nèi)排出。較佳的,,所述主厚度測量儀包括用于發(fā)射激光束的發(fā)射器,、用于接收被玻璃反射光束的接收器以及用于分析所述接收器中接收光束并且計算玻璃厚度的分析器。較佳的,,所述主厚度測量儀還包括空氣噴射器,,用于將空氣噴射到玻璃表面,將被檢測部位暴露于所述發(fā)射器對應(yīng)位置,。哪家的減薄用清洗劑成本價比較低,?寧波中芯國際用減薄用清洗劑價格
用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預(yù)定部分并因此瞬時去除噴淋液,從而可得到更準確地玻璃厚度測量數(shù)據(jù),。一般的,,所述目標厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值,所述理論厚度值為具有公差的范圍值,。所述玻璃減薄生產(chǎn)線還包括輔助厚度測量儀,,所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測量經(jīng)減薄處理后的玻璃厚度,所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器,。所述輔助厚度測量儀的設(shè)置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時異常操作而造成的玻璃減薄缺陷,,所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作,。一般的,,從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標厚度的公差范圍,則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理,。在這種情況下,,所述控制器發(fā)出警報來通知管理者,所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常,。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異??赡苁菚簳r的。杭州玻璃用減薄用清洗劑商家哪家減薄用清洗劑的質(zhì)量比較好,。
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磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨,,對待加工表面進行減薄,。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,,降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。可選地,,本發(fā)明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10,。當然,本發(fā)明并不限于此,,在其他實施例中,,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定?;诖?,如圖2所示,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,,該熱板14設(shè)置在托盤10底部,,用于對托盤10進行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定,。具體地,,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,,如az4620光刻膠,之后,,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,,施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合,,鍵合時間20min。本發(fā)明實施例中,,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,,來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是,。高效去除涂層,,減薄用清洗劑讓您的生產(chǎn)更順暢。
本發(fā)明涉及玻璃減薄技術(shù)領(lǐng)域,,具體涉及一種玻璃減薄設(shè)備,。背景技術(shù):隨著便攜式電子器件的發(fā)展,手機,、平板等便攜式電子器件越來越纖細化及薄型化,,因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板,,目前的采用的方法是浸泡式減薄法,。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設(shè)備的反應(yīng)槽中,然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時間,使玻璃減薄液與玻璃反應(yīng),,實現(xiàn)玻璃減薄,。目前的浸泡式減薄法中,反應(yīng)產(chǎn)物會懸浮于玻璃減薄液中,,然后再粘附在玻璃上,,造成不良品;并且,,這種方法容易造成蝕刻不均,導(dǎo)致進行減薄后還需要進行拋光處理,,提高了制備成本,。鑒于上述缺陷,本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過長時間的研究和實踐終于獲得了本發(fā)明,。技術(shù)實現(xiàn)要素:為解決上述技術(shù)缺陷,,本發(fā)明采用的技術(shù)方案在于,提供一種玻璃減薄設(shè)備,,包括蝕刻區(qū),,用于對豎直容納在玻璃加工治具中的多個玻璃進行減薄處理;沖洗區(qū),,用于所述玻璃加工治具上的玻璃進行減薄前清潔和減薄后清潔,;轉(zhuǎn)換區(qū),用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區(qū)中,,并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區(qū)卸載到外部,;制動組件。減薄用清洗劑的使用時要注意什么,?江蘇清洗效果好的減薄用清洗劑推薦貨源
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降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。由于本發(fā)明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進行了固定,,因此,,對待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后,還包括:對待加工部件進行清洗,;采用特定溶液對光刻膠進行腐蝕,,以將待加工部件與托盤分離。具體地,,在完成拋光和減薄后,,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗,用di水沖洗干凈,,40℃的氮氣吹干,。之后,將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,,取出待加工部件20后清洗干凈即可,。本發(fā)明實施例提供的方法,還包括:在磁轉(zhuǎn)子運行一段時間后,,更換磁轉(zhuǎn)子,。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后,可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子,,以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密,,避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述,,每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處,,各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言,,由于其與實施例公開的方法相對應(yīng),,所以描述的比較簡單,相關(guān)之處參見方法部分說明即可,。對所公開的實施例的上述說明,。寧波中芯國際用減薄用清洗劑價格