本發(fā)明提供如下技術方案：一種拋光減薄裝置,，包括：托盤,，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓,；噴頭,，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,，以對所述待加工表面進行拋光,；磁轉子，放置在所述待加工部件的待加工表面上,，用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨,，對所述待加工表面進行減薄?？蛇x地,，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連,，用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作,，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄?？蛇x地,，所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨,?？蛇x地，所述研磨層為金屬氧化物層,，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層,。可選地,，還包括：熱板,，設置于所述托盤底部，用于對所述托盤進行加熱,，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定,。可選地,，所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定,。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤上,，所述待加工部件包括inp基晶圓,；通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光,；通過磁轉子旋轉對所述待加工表面進行機械研磨,。如何區(qū)分減薄用清洗劑的的質量好壞?；葜菽募覝p薄用清洗劑替代

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    可有效穩(wěn)定所述固定板423的豎直放置位置,。同時,，值得指出的時，所述豎直平板421上所述側支撐件44的固定方式也可采用板加槽的方式,，具體的,，所述豎直平板421上設置有若干豎槽，所述豎槽單側豎直有若干定槽,，對應所述定槽設置有帶有固定塊的安裝板,，所述安裝板對應所述豎槽的側邊設置有至少2個所述固定塊，所述安裝板遠離所述豎槽的側邊設置有所述側支撐件44,，通過將所述固定塊分別設置于所述定槽內，從而實現(xiàn)所述側支撐件44在所述豎直平板421上的固定,。通過所述豎直平板421和所述側板422上的所述側支撐件44的設置,，從而實現(xiàn)對所述玻璃加工治具4上玻璃的側邊位置固定，同時,，通過所述側板422上所述調節(jié)槽的設置,，可實現(xiàn)所述側板422上所述側支撐件44的位置調節(jié)，從而使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃,，并可根據(jù)具體玻璃尺寸同時放置不同尺寸的玻璃進行減薄處理,。實施例五一般的，對于實施例四中的所述玻璃加工治具4結構,，可通過調節(jié)所述底支撐件43位置使所述底支撐件43適用于不同尺寸的玻璃,。如圖7、圖8所示,，圖7為所述底支撐件的結構正視圖,；圖8為所述底支撐件的結構側視圖；所述底支撐件43包括支撐條431,、第二支撐條432,、連接部433和接觸部434。

    20052005年,，海日工業(yè)清洗劑產(chǎn)品通過了瑞士通用公證SGS測試和認證...20042004年,，經(jīng)機構檢測，海日工業(yè)清洗劑產(chǎn)品通過了ISO9001質量管理體系認證,。20032003年4月,，海日環(huán)保工業(yè)清洗劑通過了國際環(huán)境管理體系ISO14001:1996認證。20122012年,，廣州海日工業(yè)清洗劑獲得廣東省企業(yè)稱號20092009年,，廣州海日清洗技術獲得中國工業(yè)清洗劑協(xié)會（ICAC）資質榮譽證書...20082008年,，廣州海日清洗技術有限公司正式加入工業(yè)清洗協(xié)會（ICAC）加快全國工業(yè)清洗標準化進程20062006年，廣州海日清洗技術有限公司依靠自主創(chuàng)新環(huán)保高效清洗劑榮獲廣東省稱號...20012001年6月,，在引進國外先進技術后,，廣州市海日清洗技術有限公司注冊正式成立！20122012年12月,，獲得的全國工業(yè)清洗劑產(chǎn)品生產(chǎn)許可證,，有效期到2015年12月29日！減薄用清洗劑的適用人群有哪些,？

    并控制磁轉子12和噴頭11每間隔20s旋轉10s,，也就是說，控制磁轉子旋轉10s,，控制磁轉子停止旋轉后,，控制噴頭噴涂拋光液10s，停止噴涂拋光液10s后,，控制磁轉子旋轉10s,，以此類推。本發(fā)明實施例中,，控制部件在脈沖工作模式下,，實現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成,，整個過程穩(wěn)定,，速度快，控制性好,，重復度高,，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達到20μm,，拋光面ra＜2nm,。還需要說明的是，本發(fā)明實施例中,，在減薄的過程中,，可以不斷更換磁轉子12，如磁轉子12工作1小時后,，將磁轉子12更換為新的磁轉子,，以使磁轉子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真,。此外,，本發(fā)明實施例中，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗,，用di水沖洗干凈,，40℃的氮氣吹干。之后,，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可,。本發(fā)明實施例還提供了一種拋光減薄方法,，如圖5所示，包括：s101：將待加工部件固定在托盤上,，待加工部件包括inp基晶圓,；可選地。哪里可以買到玻璃清洗劑,；南京半導體減薄用清洗劑銷售價格

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    較佳的，所述沖洗區(qū)包括沖洗區(qū),、第二沖洗區(qū)和第三沖洗區(qū),，所述第二沖洗區(qū)設置于所述沖洗區(qū)和所述第三沖洗區(qū)之間，所述沖洗區(qū)設置于所述第二沖洗區(qū)和所述轉換區(qū)之間,，所述第三沖洗區(qū)設置于所述第二沖洗區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的,，所述沖洗區(qū)設置有輔助厚度測量儀,。較佳的，所述第三沖洗區(qū)設置有第二輔助厚度測量儀,。較佳的,，所述轉換區(qū)設置為可升降的折疊式結構。較佳的,，所述轉換區(qū)設置有裝卸臂,。與現(xiàn)有技術比較本發(fā)明的有益效果在于：1，本發(fā)明中所述玻璃減薄生產(chǎn)線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理,，可實現(xiàn)單次多片玻璃減薄,，同時避免浸泡式減薄法中反應產(chǎn)物粘附在玻璃上造成不良品的問題；2,，本發(fā)明中所述玻璃加工治具在減薄處理時進行往復移動使側支撐件與玻璃之間接觸點產(chǎn)生變化,，從而避免所述側支撐件與玻璃之間的接觸點因所述側支撐件的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋而產(chǎn)生的不良次品問題；3,，本發(fā)明通過所述側支撐件的固定結構,，可實現(xiàn)所述側支撐件的位置調節(jié)，從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時設置于玻璃加工治具上同時進行減薄處理。附圖說明圖1為所述玻璃減薄設備的結構示意圖,?；葜菽募覝p薄用清洗劑替代