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制備裝置主體1的內部中間部位活動連接有高效攪拌裝置2,,制備裝置主體1的一側中間部位嵌入連接有翻折觀察板4,,制備裝置主體1的底端固定連接有裝置底座5,裝置底座5的內部底部固定連接有成品罐6,,裝置底座5的頂端一側固定連接有鹽酸裝罐7,,裝置底座5的頂端另一側固定連接有硝酸裝罐8,高效攪拌裝置2的內部頂部中間部位活動連接有旋轉搖勻轉盤12,,高效攪拌裝置2的內部頂部兩側活動連接有震蕩彈簧件14,,震蕩彈簧件14的頂端固定連接有運轉電機組13,運轉電機組13的頂端電性連接有控制面板15,,高效攪拌裝置2的內部中間部位固定連接有致密防腐桿16,,致密防腐桿16的內部內側貫穿連接有攪動孔17,鹽酸裝罐7的內部一側嵌入連接有嵌入引流口22,,嵌入引流口22的一端固定連接有負壓引流器21,,負壓引流器21的一端固定連接有注入量控制容器18,注入量控制容器18的內部內側固定連接有注入量觀察刻度線19,,注入量控制容器18的一側嵌入連接有限流銷20,。推薦的,翻折觀察板4的內部頂部活動連接有觀察窗翻折滾輪401,,觀察窗翻折滾輪401的底端活動連接有內嵌觀察窗402,,該裝置在進行制備時,具有一定的危險性,,工作人員無法直接對其內部的運行狀況進行很好的實時查看,,通過設置內嵌觀察窗402。哪家的蝕刻液比較好用點,?合肥天馬用的蝕刻液蝕刻液私人定做
技術實現(xiàn)要素:本實用新型的目的在于提供高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,,以解決上述背景技術中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問題,。為實現(xiàn)上述目的,,本實用新型提供如下技術方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置,包括裝置主體,、支撐腿,、電源線和單片機,所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,,所述裝置主體的后面一側底部固定連接有電源線,,所述裝置主體的一側中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內部底端一側固定連接有單片機,,所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲罐,,所述裝置主體的頂部一側固定連接有磷酸儲罐,所述磷酸儲罐的底部固定連接有攪拌倉,,所述攪拌倉的內部頂部固定連接有攪拌電機,,所述攪拌倉的另一側頂部固定連接有醋酸儲罐,所述裝置主體的頂部中間一側固定連接有硝酸儲罐,,所述裝置主體的頂部中間另一側固定連接有陰離子表面活性劑儲罐,,所述陰離子表面活性劑儲罐的另一側固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐,所述裝置主體的頂部另一側固定連接有氯化鉀儲罐,,所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲罐,,所述裝置主體的內部中間部位固定連接有連接構件,。安慶銅蝕刻液蝕刻液銷售廠家使用蝕刻液,實現(xiàn)高精度圖案制作,。
故仍舊會有少量的藥液51噴灑在擋液板結構10上而留下該藥液51的水滴,,而該藥液51的水滴亦不能落入該基板20上,以避免基板20的蝕刻不均的現(xiàn)象產生,;此外,,該輸送裝置30用以承載并運送至少一該基板20于該濕式蝕刻機內運行,并接受濕式蝕刻的噴灑裝置50的制程運作,,故該輸送裝置30具有一驅動機構以驅動該滾輪31轉動,,以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風刀裝置40的該***風刀41下端部的方向移動。步驟三s3:使用一設置于該擋液板結構10下方的風刀裝置40對該基板20吹出一氣體43,,以使該基板20干燥,;在本實用新型其一較佳實施例中,該風刀裝置40設置于該擋液板結構10的一端部,,該風刀裝置40包括有一設置于該基板20上方的***風刀41,,以及一設置于該基板20下方的第二風刀42,其中該***風刀41與該第二風刀42分別吹出一氣體43至該基板20,,以將該基板20上的該藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向,,以使該基板20降低該藥液51殘留,其中該氣體43遠離該***風刀41與該第二風刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設有一第三夾角θ3,,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間,。步驟四s4:該氣體43經由該復數(shù)個宣泄孔121宣泄;在本實用新型其一較佳實施例中,。
該宣泄孔121的上孔徑a1與下孔徑a2亦不相等,,且該上孔徑a1小于該下孔徑a2,或該宣泄孔121由該第二擋板12的下表面122朝向上表面123的方向漸縮,,以維持毛細現(xiàn)象而避免該藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,。當該風刀裝置40的***風刀41與該第二風刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結構10后部分會往該復數(shù)個宣泄孔121流動,,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖10與圖11所示),,除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的顯影不均現(xiàn)象,亦可達到避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題,;為了必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,,故該復數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,,即可因毛細現(xiàn)象的作用,,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12上表面的藥液51水滴經由該復數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖12所示)。另請參閱圖13所示,,為本實用新型蝕刻設備的蝕刻方法的步驟流程圖,,其中本實用新型蝕刻設備的蝕刻方法主要包括有下列步驟。蘇州BOE蝕刻液的生產廠商,。
負的值表示厚度減小,。上述蝕刻液組合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻上述氮化物膜為特征,上述氧化物膜推薦包含sio2,,上述氮化物膜推薦包含sin。上述蝕刻液組合物用于3dnand閃存制造工序,,能夠使上述氮化物膜去除工序中發(fā)生的副反應氧化物的殘留和氧化物膜損傷不良問題**少化,。本發(fā)明的蝕刻液組合物包含如上選擇的添加劑,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*選擇性蝕刻氮化物膜時,,能夠使因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良(參照圖2)以及氮化物膜雖被完全去除但也造成氧化物膜損傷(damage)的工序不良(參照圖3)的發(fā)生**少化,。因副反應氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良在添加劑的防蝕能力強于適宜水平時發(fā)生,氧化物膜不良在添加劑的防蝕能力弱于適宜水平時發(fā)生,。以下,,對于本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的磷酸、作為添加劑的硅烷(silane)系偶聯(lián)劑以及進行更詳細的說明,。(a)磷酸本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作為主氧化劑可以在使氮化物膜氧化時使用,。相對于組合物總重量,上述磷酸的含量為50~95重量%,,推薦為80~90重量%,。在上述磷酸的含量處于上述含量范圍內的情況下。蝕刻液,,讓您的產品更精美,,細節(jié)更完美。江蘇市面上哪家蝕刻液費用是多少
蝕刻液可以用在哪些行業(yè)當中,?合肥天馬用的蝕刻液蝕刻液私人定做
很好的對注入量進行精確控制,,提高了該裝置的制備純度。附圖說明圖1為本實用新型的整體示意圖,;圖2為本實用新型的a處放大示意圖,;圖3為本實用新型的b處放大示意圖;圖4為本實用新型翻折觀察板沿a-a方向的截面示意圖,。圖中:1,、制備裝置主體,2,、高效攪拌裝置,,3、過濾除雜裝置,,4,、翻折觀察板,,401、觀察窗翻折滾輪,,402,、內嵌觀察窗,5,、裝置底座,,6、成品罐,,7,、鹽酸裝罐,8,、硝酸裝罐,,9、熱水流入漏斗,,10,、加固支架,11,、防燙隔膜,,12、旋轉搖勻轉盤,,13,、運轉電機組,14,、震蕩彈簧件,,15、控制面板,,16,、致密防腐桿,17,、攪動孔,,18、注入量控制容器,,19,、注入量觀察刻度線,20,、限流銷,,21、負壓引流器,22,、嵌入引流口,。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚,、完整地描述,,顯然,所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例,,而不是全部的實施例,,基于本實用新型中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,,都屬于本實用新型保護的范圍,。請參閱圖1-4,本實用新型提供一種技術方案:一種ito蝕刻液制備裝置,,包括制備裝置主體1、高效攪拌裝置2和過濾除雜裝置3,。合肥天馬用的蝕刻液蝕刻液私人定做