其擴(kuò)散管深入到所述再生液調(diào)配缸中；液體泵,，其一端通過管道連接所述再生液調(diào)配缸的循環(huán)出液口,，另一端通過管道連接所述射流器的進(jìn)液口,，用于將所述再生液調(diào)配缸中的電解后液通過所述管道抽取至所述射流器的進(jìn)液口,。進(jìn)一步地,，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：曝氣裝置,，用于向所述再生液調(diào)配缸中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌,。進(jìn)一步地,，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：后續(xù)處理系統(tǒng)，用于向經(jīng)過所述再生液調(diào)配缸處理過的電解后液中加入氯化鈉,、鹽酸并攪拌均勻。更進(jìn)一步地，所述電解槽的陽極為石墨電極,，陰極為鈦或鈦合金板狀電極,。更進(jìn)一步地,，所述電解槽中陰極與陽極之間的距離為55mm,。更進(jìn)一步地，所述電解槽的電流密度為300a/m2,。本實用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)通過簡單的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了電解后廢液的再生利用，可節(jié)約能耗和藥品，提高經(jīng)濟(jì)效益。附圖說明圖1是本實用新型實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖；圖2是本實用新型第二實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖,。具體實施方式為了使本實用新型的目的,、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,，以下結(jié)合附圖及實施例,，對本實用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明,。應(yīng)當(dāng)理解,。BOE蝕刻液專業(yè)生產(chǎn)廠家。湖北BOE蝕刻液銷售廠

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    enlasoperacionesquedebanserrealizadas,eintensificadasenlospuntosdeactuacióáánelmododeproteccióndeacuerdoconlaICMIEBT026ydeberánincluirensumarcadolatensiónyfrecuencianominales,lapotenciamáximayeltipodeláóndealumbradoserealizaráconcircuitosseparadosparacadaservicio,alumbradodemarquesina,báculosdealumbrado,alumbradodeedificiodeservicios,tomasdealumbrado,etc.,loscircuitosseránmonofásicos,protegidosconinterruptoresautomáticosunipolares,de15AmáóndelsistemadepuestaatierradeberácumplirconlasICMIEBT008,MIEBT021,MIEBT039delReglamentoElectrotéáunsistemacompletodepuestaatierraentodalainstalación,afindeasegurarunaadecuadaprotecciónpara:1.oSeguridaddelpersonalcontradescargasdelosequiposelé.oProteccióndelosequiposeléctricoscontraaverí.oProteccióncontralainflamacióndemezclascombustiblesporelectricidadestáálicasdelosequiposyaparatoseléctricosseconectaránatierraatravésdelconductordeproteccióás,entodosloscircuitosdefuerza,。

    添加劑為二乙二醇單甲醚,、三乙二醇乙醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,，添加量分別為％,、％、％,。實施例6本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中,，該實施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,、月桂酰氨乙基硫酸鈉,，添加量分別為總質(zhì)量的％、％,、％,。對照例對照例中所含成分顯示于表1，并采用與實施例相同的方法進(jìn)行處理,。對照例1為純磷酸,，總質(zhì)量為400g。對照例2為磷酸,、丙二醇丁醚,，其中丙二醇丁醚的添加量為總質(zhì)量的％。對照例3為磷酸,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,，其中脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p的添加量為總質(zhì)量的％。結(jié)果如表2所示,，與對照例蝕刻液相比,，實施例蝕刻液有更低的表面張力和接觸角，并且氮化硅層蝕刻后顯示出良好的均勻性,。表1表2顯然,，上述實施例和對照例是為了清楚地說明所作的實例，而并非對實施方式的限制,。對于所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員來說,，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動，這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉,。而因此所引申的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護(hù)范圍之內(nèi),。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司，BOE蝕刻液,。

    deacuerdoconlasindicacionesdelfabricantedelatuberíóásticorefozadonorequerirándeunrecubrimientoadicionaldebarreraanticorrosiva,pueslaestructurapropiadetalmaterialdeberácontener,talcomodefinelanormaUNE53-361,barrerainternayexternaanticorrosiva,íasserán:controldimensionalyvisual,óndelosensayosseajustarááuncertificadodefabricacióóónyalmacenamientodeberánseguirselasinstruccionesdemontajedelfabricantedelastuberííadeberátenerunapendientecontinuade,almenos,1por100demaneraquenopuedaformarseningunaretencióndelíásercuidadoso,recomendáácomprobarselacorrectaalineacióáónesadecuadadeberáhacerseunapruebadepresiónde4bardurantedoshorascomomíáantesdelrellenadodezanjas,parapermitirunacorrectacomprobacióíáíasyaccesoriosdepláíáempleartuberíasdeplásticoflexibleenterradas,alojadasentuberíasdecontenimientomecánicodemayordiáíasdeplásticoflexibleseconectaránpormedioderacoresestancos,。BOE蝕刻液，有效控制,，呈現(xiàn)好的蝕刻效果,。安徽專業(yè)BOE蝕刻液批量定制

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    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力,，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕,。在半導(dǎo)體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻,，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅,。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展，器件的特征尺寸越來越小,，集成度越來越高,，對制造工藝中的各工藝節(jié)點要求也越來越高,，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留,、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對氮化硅進(jìn)行蝕刻時，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點的厚度測量時,，檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻,。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸,、％的醇醚類、％的表面活性劑,。進(jìn)一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。湖北BOE蝕刻液銷售廠