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湖北專(zhuān)業(yè)BOE蝕刻液主要作用

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    該實(shí)施例中所含成分及各成分稱(chēng)取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,,添加量分別為總質(zhì)量的%、%,。實(shí)施例2本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,,先稱(chēng)取濃度為85%的磷酸,然后稱(chēng)取添加劑加入磷酸中,,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱(chēng)取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉,,添加量分別為總質(zhì)量的%,、%。實(shí)施例3本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,,先稱(chēng)取濃度為85%的磷酸,,然后稱(chēng)取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱(chēng)取的質(zhì)量顯示于表1,。添加劑為三甘醇單丁醚,、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%,、%,。實(shí)施例4本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱(chēng)取濃度為85%的磷酸,,然后稱(chēng)取添加劑加入磷酸中,,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱(chēng)取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為二乙二醇單甲醚,、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,,添加量分別為總質(zhì)量的%、%,。實(shí)施例5本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,,先稱(chēng)取濃度為85%的磷酸,然后稱(chēng)取添加劑加入磷酸中,,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱(chēng)取的質(zhì)量顯示于表1,。江蘇專(zhuān)業(yè)BOE蝕刻液按需定制您的選擇是對(duì)我的肯定,蘇州博洋化學(xué)股份有限公司歡迎您,。

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    o2085/1994,alaentradaenvigordelaInstrucciónTécnicaComplementariaMI-IP04quedaránderogadastotaloparcialmente,lasdisposicionesdeigualoinferiorrangoalpresenteRealDecretoenloqueseoponganalmismo,yexpresamentelassiguientes:(?GacetadeMadrid?de28deenerode1936)queapruebaelReglamentoaquesehandesometerlasinstalacionesdelaindustriapetrolíísticasdelosdepósitosdeproductospetrolíferosfijadosporDecretode25deenerode1936,ensuapartado?Aparatossurtidores?.úmeroquintosobreaparatossurtidoresdelReglamentoaquehandesometerselasinstalacionesdelaindustriapetrolífera,óleosdeautomocióónfinalúáenvigoralosseismesesdesupublicaciónenel?BoletínOficialdelEstado?.ía。維信諾用的哪家的BOE蝕刻液,?

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,,待加熱到確定溫度后,,放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻;蝕刻完后,,取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,使用橢圓偏振光譜儀對(duì)蝕刻前所取位置的6個(gè)點(diǎn)的厚度進(jìn)行測(cè)量,計(jì)算蝕刻前后6個(gè)取點(diǎn)的厚度差值,,對(duì)比6個(gè)點(diǎn)之間的厚度差值的差異,。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發(fā)明的有益效果是:醇醚類(lèi)和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤(rùn)性和降低磷酸溶液的表面張力,,有效提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤(rùn)濕性和蝕刻均勻性,。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本發(fā)明,,對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明,,但不限于這些實(shí)施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時(shí)選擇的磷酸濃度為85%,,蝕刻溫度為160℃,,蝕刻時(shí)間為10min。先對(duì)所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測(cè),,然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?,進(jìn)行接觸角的測(cè)量;蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠?,在氮化硅樣片上?個(gè)不同位置的點(diǎn)對(duì)其厚度進(jìn)行測(cè)量,;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠螅∨c蝕刻前相同位置的6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度測(cè)量,。實(shí)施例1本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,,先稱(chēng)取濃度為85%的磷酸,然后稱(chēng)取添加劑加入磷酸中,。請(qǐng)認(rèn)準(zhǔn)蘇州博洋化學(xué)股份有限公司。湖北專(zhuān)業(yè)BOE蝕刻液供應(yīng)商

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