除去75重量％的油,。在45°C下的簡單加熱、或者在環(huán)境溫度(20°C)下的簡單攪拌或超聲應(yīng)用可以除去所有的沉積油,。此外,，沒有觀察到油的溶解,，而是觀察到上升到液體表面的油的脫離(卷起機(jī)理(rollingupmechanism)).與快速導(dǎo)致溶劑飽和的溶解機(jī)理相比,，該卷起機(jī)理更為有利。油溶解試驗(yàn)的總體過程將硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待評(píng)價(jià)組合物中,，并測定在環(huán)境溫度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相對(duì)于該混合物的百分?jǐn)?shù)表示),。實(shí)施例5在使用％的九氟丁基乙基醚和％的甲基四氫呋喃的共沸組合物的情況下，溶解超過17重量％的油,。實(shí)施例6在使用九氟丁基乙基醚的情況下,，多溶解2重量％的油并且觀察到反混合(demixing)。權(quán)利要求組合物,，其包含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F9OR的九氟丁基烷基醚,，在式C4F9OR中，R具有1～4個(gè)碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈,。2.權(quán)利要求1的組合物,，特征在于，所述組合物包含540重量％的甲基四氫呋喃和6095重量％的式C4F90R的九氟丁基烷基醚,。3.權(quán)利要求1或2的組合物,，特征在于,，所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚,。4.權(quán)利要求13中任一項(xiàng)的組合物，特征在于,。博洋 BOE 蝕刻液有妙招,，個(gè)性化解決方案為您排憂解難。湖北如何分類BOE蝕刻液批量定制

    所述的磷酸濃度為82-87％,。進(jìn)一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液，醇醚類的含量為％,。進(jìn)一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液，表面活性劑的含量為％,。進(jìn)一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液，所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚,、丙二醇丁醚,、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚,、三乙二醇乙醚,、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種,；表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,、壬基酚聚氧乙烯醚np-10,、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉,、月桂酰氨乙基硫酸鈉,、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進(jìn)一步地,，在使用本發(fā)明的蝕刻液進(jìn)行氮化硅層蝕刻時(shí),，蝕刻溫度為152-165℃，蝕刻時(shí)間為5-60min,。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,，改善了磷酸的浸潤性和表面張力，明顯提高了蝕刻液對(duì)氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性,。為了便于驗(yàn)證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,，本發(fā)明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,，先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力,；然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片，采用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊?，使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對(duì)氮化硅層的接觸角大小,。在蝕刻前，使用橢圓偏振光譜儀對(duì)氮化硅樣片取不同位置共6個(gè)點(diǎn)進(jìn)行厚度的測量,。山東BOE蝕刻液商家蘇州BOE蝕刻液廠家哪家好,？

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