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湖南什么是BOE蝕刻液供應(yīng)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-05-22

    所述組合物包含540重量%的甲基四氫呋喃和6095重量%的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。的甲基四氫呋喃是2-甲基四氫呋喃。在式C4F90R的九氟丁基烷基醚中,,九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。不論R是什么,,的九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成。共沸或共沸型的組合物是特別有利的,。當(dāng)R為甲基時(shí),,該共沸或共沸型的組合物包含515重量%的甲基四氫呋喃和8595重量%的九氟丁基甲基醚。包含8重量%的甲基四氫呋喃和92重量%的九氟丁基甲基醚的共沸組合物在大氣壓下具有°C的沸點(diǎn),。當(dāng)R為乙基時(shí),,該共沸或共沸型的組合物包含1040重量%的甲基四氫呋喃和6090重量%的九氟丁基乙基醚。包含%的甲基四氫呋喃和%的九氟丁基乙基醚的共沸組合物在大氣壓()下具有°C的沸點(diǎn),。共沸組合物是兩種或更多種化合物的液體混合物,,其具有可高于或低于各化合物的沸點(diǎn)的恒定沸點(diǎn)(即,在沸騰或蒸發(fā)期間沒有分餾的傾向),。因此,,在蒸發(fā)期間形成的蒸氣的組成與初始的液體組合物相同或者幾乎相同,。共沸型組合物是兩種或更多種化合物的液體混合物,,其具有基本上恒定的沸點(diǎn),,也就是說(shuō),共沸型組合物起到單一化合物的作用,。BOE蝕刻液的的性價(jià)比,、質(zhì)量哪家比較好?湖南什么是BOE蝕刻液供應(yīng)

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    deacuerdoconlasindicacionesdelfabricantedelatuberíóásticorefozadonorequerirándeunrecubrimientoadicionaldebarreraanticorrosiva,pueslaestructurapropiadetalmaterialdeberácontener,talcomodefinelanormaUNE53-361,barrerainternayexternaanticorrosiva,íasserán:controldimensionalyvisual,óndelosensayosseajustarááuncertificadodefabricacióóónyalmacenamientodeberánseguirselasinstruccionesdemontajedelfabricantedelastuberííadeberátenerunapendientecontinuade,almenos,1por100demaneraquenopuedaformarseningunaretencióndelíásercuidadoso,recomendáácomprobarselacorrectaalineacióáónesadecuadadeberáhacerseunapruebadepresiónde4bardurantedoshorascomomíáantesdelrellenadodezanjas,parapermitirunacorrectacomprobacióíáíasyaccesoriosdepláíáempleartuberíasdeplásticoflexibleenterradas,alojadasentuberíasdecontenimientomecánicodemayordiáíasdeplásticoflexibleseconectaránpormedioderacoresestancos,。山東了解BOE蝕刻液電話BOE蝕刻液的配方是什么樣的,?

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    這是除去固體顆粒,、電子流、水,、或者或多或少具有極性的油脂污染的要求,。在精細(xì)清洗中,經(jīng)常存在裝有凹槽,、肋條或盲孔的非常復(fù)雜的部件,,必須用溶劑對(duì)其進(jìn)行潤(rùn)濕,,以使溶劑在這些難洗位置發(fā)揮作用,。氟化溶劑來(lái)自提供表面的可能性的潤(rùn)濕的溶劑類型,其中,,所述表面的可能性的潤(rùn)濕以非常低的表面張力表示(例如,,相對(duì)于,,HCFC141b為)。高潤(rùn)濕的另一優(yōu)點(diǎn)是得到基底的較快干燥,。在幾乎相同的分子量下,,氟化溶劑具有較低的沸點(diǎn)和較高的蒸氣壓。因此,,HCFC141b在32°C下沸騰而氯仿在61°C下沸騰。這兩種性質(zhì)(低沸點(diǎn)和高蒸氣壓)有利于這些溶劑在利用蒸氣相操作的常規(guī)工業(yè)機(jī)器中的應(yīng)用,,使得能夠進(jìn)行部件的漂洗和干燥,,而且使得被連續(xù)蒸餾的溶劑能夠再生,。這些機(jī)器裝有用于通過(guò)冷凝而使蒸氣在盤管上冷卻的大功率(heavy-duty)系統(tǒng),這些機(jī)器的操作方法使得所用高蒸氣壓的缺點(diǎn)小化,。工業(yè)家們期望可用于他們的現(xiàn)有機(jī)器存貨的替代解決方案,。此外,氫氟烴地用于制冷和傳熱過(guò)程,。本發(fā)明提供具有低GWP且具有可生物降解的優(yōu)點(diǎn)的組合物,。根據(jù)本發(fā)明的組合物含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F90R的九氟丁基烷基醚,其中R具有14個(gè)碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈,。有利地,。

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    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,,來(lái)改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力,,使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù):氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,,氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕,。在半導(dǎo)體制造工藝中,一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻,,一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來(lái)蝕刻氮化硅,。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,,器件的特征尺寸越來(lái)越小,集成度越來(lái)越高,,對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來(lái)越高,如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性,、蝕刻殘留,、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí),,晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,,體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí),檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異,。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問(wèn)題,,通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液,。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,,所述蝕刻液的組成包括:占蝕刻液總重量≥88%的磷酸、%的醇醚類,、%的表面活性劑,。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液,。什么制程中需要使用BOE蝕刻液,。福建專業(yè)BOE蝕刻液哪里買

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    可通過(guò)蒸發(fā)或蒸餾或者通過(guò)對(duì)比給定溫度下的泡點(diǎn)或的蒸氣壓來(lái)實(shí)施共沸型化合物的確定,。在工業(yè)應(yīng)用的情況下使用共沸物是特別有利的,,以使組合物再生,例如當(dāng)其飽和有污染物的時(shí)候,。簡(jiǎn)單蒸餾可回收初的共沸組合物,,而沒有各組分的任何分餾。而且,,2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優(yōu)點(diǎn),。因此,半纖維素多糖是含有5個(gè)碳原子的基于糖的聚合物。當(dāng)在硫酸的存在下加熱半纖維素時(shí),,得到戊糖(含有5個(gè)碳原子的糖),,例如木糖。當(dāng)進(jìn)行木糖的熱脫水時(shí),,該木糖轉(zhuǎn)化為糠醛,。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外,根據(jù)本發(fā)明的一些組合物是不可燃的(根據(jù)ASTMD3828標(biāo)準(zhǔn),,閉杯閃點(diǎn)高于55°C)并且特別適合作為清洗溶劑或作為用于加熱和冷卻應(yīng)用的制冷劑,。它們也可用作發(fā)泡劑。實(shí)驗(yàn)部分實(shí)施例1通過(guò)使用沸點(diǎn)測(cè)定技術(shù)測(cè)量液體混合物的沸點(diǎn),。首先,,將適量的九氟丁基甲基醚裝料到沸點(diǎn)測(cè)定儀中,然后,,使其沸騰,。在達(dá)到平衡狀態(tài)之后,記錄在大氣壓下的沸點(diǎn),。然后,,將甲基四氫呋喃的等分試樣引入到所述沸點(diǎn)測(cè)定儀中并且在已達(dá)到平衡狀態(tài)之后再次記錄溫度。表I給出九氟丁基甲基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在,。湖南什么是BOE蝕刻液供應(yīng)