EN10029yEN10029AC).2.aSobrelongitudes:+1/.aSobrecapacidadnominal:+3/ónovalización:semidelaovalizaciónantesydespuésdelllenadodeagua,quedándoselosdepósitosdecomunicacióó)ándeformavisualtodaslassoldadurasdetodoslosdepóón,esimprescindibleunapruebadepresió)ímitesindicadosacontinuación:1.oDesnivelodefectodealineación:soldaduraslongitudinales:1milímetro;soldadurascirculares:2milí.oPuntodeinflexiónlocal:h/l≤1/53.oFaltadeespesordesoldadura:0milí.oSobreespesordesoldaduras:1milímetro≤S≤L/10+2milí.oGrietasofisuras,sopladuraseinclusionesdesembocandoensuperficie:.oMordeduras:profundidadmáxima,0,5milímetros;longitudmáxima,40milíínimadezonasanaparaqueestosdosdefectosseconsiderencomoaisladosesdeseisveceslalongituddeldefectomááprohibidosanearunpuntodefugaounafaltadematerialdeaportaciónconeldepó)Examensoldadurasdeáángulotendránunaalturadegarganta,comomínimode0,7veceselespesordelamáóósitosesometeráaunapruebadepresiónde0。BOE蝕刻液的溶液成分,。河南什么是BOE蝕刻液推薦廠家

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    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力,，使之均勻蝕刻氮化硅,。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕,。在半導(dǎo)體制造工藝中,，一般是采用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅,。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高,，對制造工藝中的各工藝節(jié)點要求也越來越高,，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留,、下層薄膜的選擇性等都有要求,。在使用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻時，晶圓表面會出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,，體現(xiàn)于在蝕刻前后進行相同位置取點的厚度測量時,，檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題,，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻,。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸,、％的醇醚類,、％的表面活性劑。進一步地,，本發(fā)明涉及上述蝕刻液,。

    o2085/1994,alaentradaenvigordelaInstrucciónTécnicaComplementariaMI-IP04quedaránderogadastotaloparcialmente,lasdisposicionesdeigualoinferiorrangoalpresenteRealDecretoenloqueseoponganalmismo,yexpresamentelassiguientes:(?GacetadeMadrid?de28deenerode1936)queapruebaelReglamentoaquesehandesometerlasinstalacionesdelaindustriapetrolíísticasdelosdepósitosdeproductospetrolíferosfijadosporDecretode25deenerode1936,ensuapartado?Aparatossurtidores?.úmeroquintosobreaparatossurtidoresdelReglamentoaquehandesometerselasinstalacionesdelaindustriapetrolífera,óleosdeautomocióónfinalúáenvigoralosseismesesdesupublicaciónenel?BoletínOficialdelEstado?.ía,。蘇州博洋生產(chǎn)銷售BOE蝕刻液。

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    此處所描述的具體實施例用以解釋本實用新型,，并不用于限定本實用新型,。參照圖1，本實用新型實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)包括：電解槽1,、射流器2,、再生液調(diào)配缸3,、液體泵4,，其中，電解槽1具有一出液口和出氣口,，且電解槽1中內(nèi)置有酸性蝕刻液,，電解槽1對該酸性蝕刻液進行電解提銅，產(chǎn)生氯氣,，得到電解后液,，并且，產(chǎn)生的氯氣通過位于上方的出氣口排出,，電解后液通過位于下方的出液口排出,。射流器2包括混氣室21和擴散管22，混氣室21和擴散管22之間為喉管,，混氣室21具有進氣口2a,、進液口2b、出液口2c,，擴散管22連接至出液口2c,，進氣口2a通過導(dǎo)氣管a與電解槽1的出氣口連接以接收氯氣，擴散管22深入到再生液調(diào)配缸3中,。再生液調(diào)配缸3具有進液口和循環(huán)出液口,，進液口通過管道b與電解槽1的出液口連接以接收電解后液。液體泵4的一端通過管道b連接再生液調(diào)配缸3的循環(huán)出液口,，另一端通過管道b連接射流器2的進液口2b,，用于將再生液調(diào)配缸3中的電解后液通過管道b抽取至射流器2的進液口2b。電解槽1電解提銅后,，陽極產(chǎn)生的氯氣通過導(dǎo)氣管a進入到射流裝置2的混氣室21內(nèi),，電解后液通過液體泵4打入到射流裝置2的混氣室21,，在混氣室21形成真空，在喉管處氯氣與電解后液劇烈混合,。河南什么是BOE蝕刻液推薦廠家