然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱，待加熱到確定溫度后,，放入氮化硅樣片進行蝕刻,；蝕刻完后，取出樣片采用熱超純水清洗和氮氣吹干后,，使用橢圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點的厚度進行測量,，計算蝕刻前后6個取點的厚度差值，對比6個點之間的厚度差值的差異,。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,，本發(fā)明的有益效果是：醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力，有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性,。具體實施方式下面結(jié)合具體實施例,，進一步闡述本發(fā)明，對本發(fā)明做進一步詳細的說明,，但不限于這些實施例,。本發(fā)明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85％，蝕刻溫度為160℃,，蝕刻時間為10min,。先對所配制蝕刻液的表面張力進行檢測,，然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮氣吹干后,，進行接觸角的測量,；蝕刻前使用超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后，在氮化硅樣片上取6個不同位置的點對其厚度進行測量,；蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮氣吹干氮化硅樣片后,，取與蝕刻前相同位置的6個點進行厚度測量。實施例1本發(fā)明的實施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進行配制,，先稱取濃度為85％的磷酸,，然后稱取添加劑加入磷酸中。BOE蝕刻液,，輕松應對各種復雜蝕刻需求,。湖南了解BOE蝕刻液銷售公司

    其擴散管深入到所述再生液調(diào)配缸中；液體泵,，其一端通過管道連接所述再生液調(diào)配缸的循環(huán)出液口,，另一端通過管道連接所述射流器的進液口，用于將所述再生液調(diào)配缸中的電解后液通過所述管道抽取至所述射流器的進液口,。進一步地,，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：曝氣裝置，用于向所述再生液調(diào)配缸中的電解后液輸送氣體以進行攪拌,。進一步地,，所述酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還包括：后續(xù)處理系統(tǒng)，用于向經(jīng)過所述再生液調(diào)配缸處理過的電解后液中加入氯化鈉,、鹽酸并攪拌均勻,。更進一步地，所述電解槽的陽極為石墨電極,，陰極為鈦或鈦合金板狀電極,。更進一步地，所述電解槽中陰極與陽極之間的距離為55mm,。更進一步地,，所述電解槽的電流密度為300a/m2。本實用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)通過簡單的結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了電解后廢液的再生利用,，可節(jié)約能耗和藥品,，提高經(jīng)濟效益。附圖說明圖1是本實用新型實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖,；圖2是本實用新型第二實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)圖,。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,，以下結(jié)合附圖及實施例,，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,。福建BOE蝕刻液廠家現(xiàn)貨好的BOE蝕刻液的標準是什么,。

    所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成,。5.權(quán)利要求14中任一項的組合物，特征在于,，所述組合物是共沸的或共沸型的,。6.權(quán)利要求5的組合物，特征在于,，所述組合物包含515重量％的甲基四氫呋喃和8595重量％的九氟丁基甲基醚,。7.共沸組合物，其包含8重量％的甲基四氫呋喃和92重量％的九氟丁基甲基醚,，并且在大氣壓()下具有°C的沸點,。8.權(quán)利要求5的組合物，特征在于,，所述組合物包含1040重量％的甲基四氫呋喃和6090重量％的九氟丁基乙基醚,。9.共沸組合物，其包含％的甲基四氫呋喃和％的九氟丁基乙基醚,，并且在大氣壓()下具有°C的沸點,。10.制冷劑，特征在于,，其包含前述權(quán)利要求中任一項的組合物,。11.溶劑，特征在于,，其包含權(quán)利要求19中任一項的組合物,。全文摘要本發(fā)明涉及含有全氟丁基醚的共沸或共沸型混合物或組合物。更具體地說,，本發(fā)明涉及含有至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物,，該組合物可用作溶劑或制冷劑。

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