輪廓儀的性能測量模式移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）樣品臺150mm/200mm/300mm樣品臺（可選配）XY平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素標配：1280×960視場范圍560×750um（10×物鏡）具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學系統(tǒng)同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)光源高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦（可選電動聚焦）Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達10mm)縱向分辨率＜0.1nmRMS重復性*0.005nm,，1σ臺階測量**準確度≤0.75％；重復性≤0.1%,，1σ橫向分辨率≥0.35um（100倍物鏡）檢測速度≤35um/sec,與所選的CCD測量模式：移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）,。超納輪廓儀學校會用嗎

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：邁爾爾遜1852-1931美國物理學家曾從事光速的精密測量工作邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準,。1881年，他發(fā)明了一種用以測量微小長度,，折射率和光波波長的干涉儀,，邁克爾遜干涉儀。他和美國物理學家莫雷合作,，進行了注明的邁克爾遜-莫雷實驗,，否定了以太de存在，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎,。由于創(chuàng)制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究,，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎。超納輪廓儀學校會用嗎我們的表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種，以非接觸式測量方法為主,。

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉換成電信號，該電信號經放大和處理,，再轉換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線，測量結果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出,。（來自網絡）輪廓儀在集成電路的應用：封磚Bump測量視場：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示；線粗糙度分析：Ra,Ry,，Rz,，…器件多層結構臺階高MEMS器件多層結構分析、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠實現(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據自動生成,，大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題

一,、從根源保障物件成品的準確性：通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù)，積大提高物件在生產加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”,，造成下游生產加工的更大偏離，蕞終導致整個生產鏈更大的損失,。二,、提高效率：智能化檢測，全自動測量,，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關參數(shù)，即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點，積大提高加工效率,。共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率,。

輪廓儀在集成電路的應用封磚Bump測量視場：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示；線粗糙度分析：Ra,Ry,，Rz,，…器件多層結構臺階高MEMS器件多層結構分析、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠實現(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據自動生成,，大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題歡迎咨詢,。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主。美國輪廓儀應用

儀器運用高性能內部抗震設計,，不受外部環(huán)境影響測量的準確性,。超納輪廓儀學校會用嗎

三、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：表面三維輪廓儀可測量300余種2D,、3D參數(shù)，無論加工的物件使用哪一種評定標準,，都可以提供權面的檢測結果作為評定依據,，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù),。四,、穩(wěn)定性強，高重復性：儀器運用高性能內部抗震設計,，不受外部環(huán)境影響測量的準確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合，保證高重復性,，將測量誤差降低到亞納米級別,。三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備,，它既保障了生產加工的準確性,，又提高了成品的出產效率，滿足用戶對各項2D,，3D參數(shù)檢測需求的同時,，依然能夠保持高重復性，高穩(wěn)定性的運行,，其對精密加工所產生的的作用是舉足輕重的,。超納輪廓儀學校會用嗎

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