輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓,。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊,，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,，而小坎通常無法很標準(見圖)。這樣，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差,。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術，不需要任何樣本準備就可以測量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng),。NanoX-8000 Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進,。高靈敏度的實驗設備輪廓儀研發(fā)可以用嗎

如何正確使用輪廓儀

準備工作

1.測量前準備,。

2.開啟電腦、打開機器電源開關,、檢查機器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面,。

測量

1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設置所需的測量條件,。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結果進行分析，標出結果,，并保存,、打印。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離,、交點到交點距離,、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度,、凸度,、LG凸度、對數(shù)曲線

光學輪廓儀保修期多久擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點,，**提高加工效率,。

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤,、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機,。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光,。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,，共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn),。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導入SPC

? 具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度

**快

如果需要了解更多詳細參數(shù),，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司,。

我們主要經(jīng)營鍵合機、光刻機,、輪廓儀,，隔振臺等設備。 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。

輪廓儀的自動拼接功能：

條件： 被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,，使用自動圖片拼接。  

需要點擊自動拼接,， 輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來,。

軟件會自適應計算路徑上移動的偏差，自動消除移動中偏差,，減小誤差,。

但是誤差是一定存在的,。

白光輪廓儀的典型應用：

對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

物鏡是輪廓儀****的部件， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,。國產(chǎn)輪廓儀干涉測量應用

一般三坐標精度都在2-3um左右,。高靈敏度的實驗設備輪廓儀研發(fā)可以用嗎

輪廓儀的技術原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度： ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術：快速靈活、超納米精度,、測量精度不受物鏡倍率影響

以下來自網(wǎng)絡：

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導軌為直線基準,。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸,、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***,。

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