輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺(tái)階高度,，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡，例如標(biāo)配的10×,， 還有2.5×,，5×，20×,，50×,，100×，可選,。  

不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦。 輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展）,，Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm,。研究所輪廓儀實(shí)際價(jià)格

輪廓儀的培訓(xùn)

一、 培訓(xùn)承諾

    系統(tǒng)建成后,，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢,；培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場(chǎng),；

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,，由業(yè)主指定，我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng),；

1.1. 培訓(xùn)對(duì)象

    系統(tǒng)操作及管理人員（培訓(xùn)對(duì)象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員）,；

    其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。

1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說明書,。

    培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作,、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡(jiǎn)單升級(jí)等，具體內(nèi)容如下：

    * 系統(tǒng)文檔解讀,；

    * 系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn),、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式,；

    * 系統(tǒng)一般故障排除。

中芯國(guó)際輪廓儀推薦型號(hào)物鏡是輪廓儀****的部件,， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,。

輪廓儀的性能 

測(cè)量模式

移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺(tái)

150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°

可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)

CCD 相機(jī)像素

標(biāo)配：1280×960

視場(chǎng)范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ

臺(tái)階測(cè)量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％,；重復(fù)性 ≤0.1%，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測(cè)速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 

表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用：

一,、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè),，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，**終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失,。

二,、提高效率：

  智能化檢測(cè)，全自動(dòng)測(cè)量,，檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái),，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測(cè)量,。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,，精確度低的缺點(diǎn)，**提高加工效率,。

三,、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D,、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)，都可以提供***的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù),，可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度,、面粗糙度、輪廓度等參數(shù),。

四,、穩(wěn)定性強(qiáng)，高重復(fù)性：

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性，將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別,。 NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um，重復(fù)精度 1um,。

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸,、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器,，作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。（來自網(wǎng)絡(luò)）

先進(jìn)的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn) 

所有的關(guān)鍵硬件采用美國(guó),、德國(guó)、日本等 

PI ,，納米移動(dòng)平臺(tái)及控制

Nikon,，干涉物鏡

NI，信號(hào)控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺(tái)

世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺(tái)

VS2012/64位,，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計(jì)算機(jī)

輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,，核探測(cè)。實(shí)驗(yàn)室輪廓儀聯(lián)系電話

擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,，精確度低的缺點(diǎn),，**提高加工效率。研究所輪廓儀實(shí)際價(jià)格

NanoX-系列輪廓儀**性客戶

? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 集成電路先進(jìn)封裝和材料：華天科技,，通富微電子,，江蘇納佩斯

半導(dǎo)體，華潤(rùn)安盛等

? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 中科院蘇州納米所,，中科電子46所,，華東光電集成器件等

? 高 效太陽(yáng)能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 常州億晶光電，中國(guó)臺(tái)灣速位科技,、山東衡力新能源等

? 微電子,、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)

– 三星電機(jī),、京東方,、深圳夏瑞科技等  

具備 Global alignment & Unit alignment

自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

如果有什么問題，請(qǐng)聯(lián)系我們,。

研究所輪廓儀實(shí)際價(jià)格