輪廓儀的主要客戶群體

300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測

集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

國家重點實驗室

高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化

MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

新型顯示技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化

超高精密表面工程技術(shù)

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo)，或放大的實際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)） NanoX-8000主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm。浙江輪廓儀保修期多久

如何正確使用輪廓儀

準(zhǔn)備工作

1.測量前準(zhǔn)備,。

2.開啟電腦,、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常,。

3.擦凈工件被測表面,。

測量

1.將測針正確、平穩(wěn),、可靠地移動在工件被測表面上,。

2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。

4.開始測量,。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測量完畢，根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析,，標(biāo)出結(jié)果,，并保存、打印,。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離,、交點到交點距離、交點到圓心距離,、交點到點距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度,、凸度、LG凸度,、對數(shù)曲線

浙江輪廓儀保修期多久輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？

答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展）,，Z向測量范圍比較大可達10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例,，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進行拼接測量,，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測,，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù)；

4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸,？

如果需要了解更多，請訪問官網(wǎng),。

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)

3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：

測量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標(biāo)配/500um選配）

10mm 精密電機拓展掃描

CCD相機： 1920x1200 高速相機（標(biāo)配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標(biāo)配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）

傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動調(diào)節(jié)

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）

3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s,，VSI/CSI：< 38um/s

高度測量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準(zhǔn)確度 < 1nm

RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復(fù)性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準(zhǔn)確度<1%

重復(fù)性<0.1% (1σ，10um臺階高) 表面三維評定參數(shù)由于能更***,，更真實的反應(yīng)零件表面的特征,。

輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度,、表面輪廓、臺階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加

工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

想要了解更多的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器,。 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC,。浙江輪廓儀保修期多久

輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,。浙江輪廓儀保修期多久

    輪廓儀是用容易理解的機械技術(shù)測量薄膜厚度,。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,，而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖),。這樣,，標(biāo)定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術(shù),，不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng),。浙江輪廓儀保修期多久