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半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2021-07-29

該系統(tǒng)的固有剛度比1

Hz諧振無(wú)源隔離器的固有剛度大25倍,,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性,。

有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒(méi)有低頻共振,這種共振困擾著所有無(wú)源隔離系統(tǒng),。


該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅,。隔離從大約0.7Hz開(kāi)始,,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。


所有控制電路都內(nèi)置在該單元**耗小于2.5W,。該設(shè)備具有通用輸入,,可以連接到100至240 VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對(duì)諸如掃描探針顯微鏡(AFM,, STM),,干涉儀和其他高 分辨率儀器,從而使這些儀器能夠達(dá)到**終的性能,。事實(shí)證明,,該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)(例如膜片鉗,顯微注射或用于測(cè)量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功,。 主動(dòng)防振臺(tái)通過(guò)電氣控制,,向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力,從而消除振動(dòng),。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)

半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù),隔振臺(tái)

所有控制電路都內(nèi)置在該單元**耗小于2.5W,。該設(shè)備具有通用輸入,可以連接到100至240 VAC的任何交流電源,。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對(duì)諸如掃描探針顯微鏡(AFM,, STM),干涉儀和其他高 分辨率儀器,,從而使這些儀器能夠達(dá)到**終的性能,。事實(shí)證明,該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)(例如膜片鉗,,顯微注射或用于測(cè)量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功,。

技術(shù)指標(biāo):

頻率:1.2-300赫茲

負(fù)載范圍:0-40公斤

尺寸圖            300x 300 x 70毫米(長(zhǎng)x寬x高)

 11.8x 11.8 x 2.75英寸

 隔離:動(dòng)態(tài)1.2Hz至300Hz,,主要在較高頻率下為無(wú)源

透射率:

高于?10 Hz的透射率<0.01(-40 dB)

矯正力:垂直±8N,水平±4N

靜態(tài)合規(guī)性:27 μm / N

比較大負(fù)載(中心負(fù)載):40公斤88.18磅

重量:9.2公斤20.3磅

 



半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)HERZ在被動(dòng)式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,,補(bǔ)充了由瑞士Table Stable Ltd.開(kāi)發(fā)的先進(jìn)主動(dòng)式隔振系統(tǒng),。

半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù),隔振臺(tái)

AVI 200-M

AVI 200-M的隔離始于1,2 Hz,超過(guò)10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 200-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式

AVI 200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝,。我們努力提供一種簡(jiǎn)單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過(guò)程

技術(shù)指標(biāo):

頻率: 1,2-200 Hz

負(fù)載范圍: 0-400公斤

(單個(gè)):  200公斤

如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器,。

傳感器位置

傳感器可以移動(dòng)到任何期望的位置,。 它可能位于負(fù)載下方或外部,但必須位于支持AVI元素的同一表面上,。 制作后連接時(shí),,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。


支撐面的剛性

支撐表面的剛性很重要,。 水平傳感器無(wú)法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間,。 LFS和因此,AVI元素所在的位置必須盡可能堅(jiān)硬,,以使其不會(huì)明顯傾斜當(dāng)人們?cè)诟浇苿?dòng)時(shí),。 傾斜會(huì)導(dǎo)致傳感器輸出飽和并失去隔離。


運(yùn)作方式

設(shè)置好并將電源連接到傳感器后,,就可以使用系統(tǒng)了,。按下電源上的電源旋鈕打開(kāi)電源。 綠色LED將點(diǎn)亮,。 紅色LED開(kāi)始閃爍,,這意味著存在一些振動(dòng)。現(xiàn)在,,您可以通過(guò)按啟用按鈕來(lái)啟用系統(tǒng),。 紅色LED不應(yīng)點(diǎn)亮了。 如果它們點(diǎn)亮,,則表示系統(tǒng)過(guò)載且振動(dòng)建筑物中存在的物體太嚴(yán)重,。


請(qǐng)注意,如果未啟用LFS,,則它將無(wú)效,。


敏感的傳感器單元,請(qǐng)勿撞擊,,敲打或跌落,!


Table Stable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器,。

半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù),隔振臺(tái)

AVI單元和傳感器的方向

隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝,,這一點(diǎn)很重要取向,!LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI的開(kāi)關(guān)輸出以任意4個(gè)矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允許其他方向,。


為確保連接正確,,請(qǐng)按照下列步驟操作:

面向LFS傳感器的藍(lán)色LED站立。 將***個(gè)AVI元素連接到以下任意一個(gè)后面板上的12個(gè)D-Sub15插座,。用筆滑動(dòng)開(kāi)關(guān)在位置A和D之間,。



所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開(kāi)關(guān)位置對(duì)于獲得良好的性能至關(guān)重要隔離,。



Table Stable通過(guò)在發(fā)展主動(dòng)隔振系統(tǒng)的同時(shí)補(bǔ)充了被動(dòng)系統(tǒng),。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)

從低頻率起提高一個(gè)隔振環(huán)境。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)

5,、模塊將放置在腳輪板下,。將AVI模塊滑到后傾角板下,使模塊從一側(cè)到另一側(cè)(而不是從前到后)橫跨立柱底面,。將它們盡量放在外側(cè),,不要碰到腿的側(cè)壁。如果您安裝的是EVO,、Supra 25–55,、Ultra 55或Neon 40,則每個(gè)隔離模塊的寬度為7.5英寸,。在這種情況下,,每個(gè)模塊上的電纜端口應(yīng)朝內(nèi),相互朝向,。如果您安裝的是Supra 60/VP,、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40,,則每個(gè)隔離模塊的寬度為11.3英寸,。在這種情況下,每個(gè)模塊上的電纜端口應(yīng)朝外,,彼此遠(yuǎn)離,。

6、再次在AVI模塊頂部滑動(dòng)第二個(gè)安裝板,,前后各27.5英寸,,兩側(cè)各27英寸,在掃描電鏡腳輪板下方居中,。重新連接時(shí),,確保AVI模塊和安裝板都不會(huì)與掃描電鏡側(cè)板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸,。

7,、系統(tǒng)就位后,,使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡,直到其落在安裝板上,。抬起水平尺,,直到它們向上并離開(kāi)。 半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)