輪廓儀的技術原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度： ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術：快速靈活,、超納米精度,、測量精度不受物鏡倍率影響

以下來自網絡：

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器,，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸,、二維位移進行測試與檢驗的儀器,，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***。

共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉多***盤,、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。聯電輪廓儀

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：

邁爾爾遜

1852-1931

美國物理學家

曾從事光速的精密測量工作  

邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準,。

1881年,，他發(fā)明了一種用以測量微小長度，折射率和光波波長的干涉儀,，邁克爾遜干涉儀,。

他和美國物理學家莫雷合作，進行了***的邁克爾遜-莫雷實驗,，否定了以太de 存在,，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎。

由于創(chuàng)制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究,，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎,。 聯電輪廓儀但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機,。

輪廓儀的功能:

廓測量儀能夠對各種工件輪廓進行長度、高度,、間距,、水平距離、垂直距離,、角度,、圓弧半徑等幾何參數測量。測量效率高,、操作簡單,、適用于車間檢測站或計量室使用。

白光輪廓儀的典型應用：

對各種產品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

如果您想要了解更多的信息，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司,。

NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 ：

? XY比較大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸

? XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um，重復精度

1um

? XY 平臺比較大移動速度：200mm/s

? Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦,，0.1um移動步進

? 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空臺面

? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動識別產品信息

? 主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm

如果想要了解更加詳細的產品信息，請聯系我們岱美儀器技術服務有限公司,。 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產品,，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。

輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素

標配：1280×960

視場范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統(tǒng)

同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm,，1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  在結構上,，輪廓儀基本上都是臺式的，而粗糙度儀以手持式的居多,，當然也有臺式的,。聯電輪廓儀

輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。聯電輪廓儀

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設置,，一鍵式操作,，自動數據存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準

? 支持連接MES系統(tǒng)，數據可導入SPC

? 具備異常報警,，急停等功能,，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

表面三維微觀形貌測量的意義

在生產中,，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有**直接的影響,，而且表面三維評定參數由于能更***，更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質量的優(yōu)劣，進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工,，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質量的表面，確保零件使用功能的實現,。

表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種，其中以非接觸式測量方法為主,。

聯電輪廓儀