輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上,，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓,、臺階高度,、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加

工,、表面工程技術,、材料、太陽能電池技術等領域,。

想要了解更多的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器。 由于光罩中電路結構尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,。光刻機輪廓儀質(zhì)保期多久

1.3. 培訓計劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能,、特點,、設備布置情況和相互之間的關系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識,。

    在整個系統(tǒng)驗收前后,，安排有關人員在進行培訓。

1.4. 培訓形式

    公司指派技術人員向相關人員講解系統(tǒng)的原理,、功能,、操作及維修保養(yǎng)要點；

    向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料,，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握,；

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導，使相關人員掌握技術要領,；

    對學員提出的問題進行詳細解答,；

Nano X-3000輪廓儀聯(lián)系電話輪廓儀可用于：微結構均勻性 缺 陷，表面粗糙度,。

    超納輪廓儀的主設計簡介:

中組部第十一批“****”****,，美國KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測設備市場的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān)，干涉測量技術**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,，創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關鍵算法，在光測領域發(fā)表23個美國專利和35篇學術論文3個研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎,，國家教育部***批公派研究生,83年留學美國,。光學輪廓儀可廣泛應用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導體,、微機電、納米材料,、生物醫(yī)療,、精密涂層、科研院所,、航空航天等領域,。可以說只要是微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度,、輪廓等參數(shù)的測量,，除了三維光學輪廓儀，沒有其它的儀器設備可以達到其精度要求,。（網(wǎng)絡）,。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展）,，Z向測量范圍蕞大可達10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例,，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進行拼接測量,，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù),；4.測量的蕞小尺寸是否可以達到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸？如果需要了解更多,，請訪問官網(wǎng),。輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制），生物,、醫(yī)藥新技術,，微流控器件。

我們應該如何正確使用輪廓儀,？

一,、準備工作

1.測量前準備。

2.開啟電腦,、打開機器電源開關,、檢查機器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面。

二,、測量

1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設置所需的測量條件,。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結果進行分析，標出結果,，并保存,、打印。

輪廓儀可用于藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）,。CSI輪廓儀可以試用嗎

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,。光刻機輪廓儀質(zhì)保期多久

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導入SPC

? 具備異常報警，急停等功能,，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度

**快

如果需要了解更多詳細參數(shù),，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。

我們主要經(jīng)營鍵合機,、光刻機,、輪廓儀，隔振臺等設備,。 光刻機輪廓儀質(zhì)保期多久