1）白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。  

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤,、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機(jī),。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光,。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),，但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。

隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀

表面三維輪廓儀對精密加工的作用：

一,、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，**終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失,。

二,、提高效率：

  智能化檢測，全自動測量,，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點，**提高加工效率,。

三,、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),，都可以提供***的檢測結(jié)果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。

四,、穩(wěn)定性強(qiáng),，高重復(fù)性：

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性，將測量誤差降低到亞納米級別,。 半導(dǎo)體輪廓儀國內(nèi)用戶輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS、航空航天,、精密加 工,、表面工程技術(shù)、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離、交點到交點距離,、交點到圓心距離,、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度,、LG凸度,、對數(shù)曲線 。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。  

輪廓儀的功能:

廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長度、高度,、間距,、水平距離、垂直距離,、角度,、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量。測量效率高,、操作簡單,、適用于車間檢測站或計量室使用,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

如果您想要了解更多的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。

    超納輪廓儀的主設(shè)計簡介:

中組部第十一批“****”****,，美國KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān)，干涉測量技術(shù)**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,，創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,，在光測領(lǐng)域發(fā)表23個美國專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎，國家教育部***批公派研究生,83年留學(xué)美國,。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體,、微機(jī)電,、納米材料、生物醫(yī)療,、精密涂層,、科研院所、航空航天等領(lǐng)域,?？梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量,，除了三維光學(xué)輪廓儀,，沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求。（網(wǎng)絡(luò)）,。 輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用,。半導(dǎo)體輪廓儀國內(nèi)用戶

菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲,。高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀

輪廓儀的性能

測量模式 ：

移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺 ：

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機(jī)像素：

標(biāo)配：1280×960

視場范圍：

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)：

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源：

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ

臺階測量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％,；重復(fù)性 ≤0.1%，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等,，價格合理，品質(zhì)有保證,。公司注重以質(zhì)量為中心,，以服務(wù)為理念，秉持誠信為本的理念,，打造儀器儀表良好品牌,。在社會各界的鼎力支持下，持續(xù)創(chuàng)新,，不斷鑄造***服務(wù)體驗,，為客戶成功提供堅實有力的支持。