輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,,典型結(jié)果包括:
表面形貌(粗糙度,平面度,,平行度,,臺階高度,錐角等)
幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,,曲率半徑,,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
因此物鏡是輪廓儀****的部件,,
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,,例如標(biāo)配的10×,, 還有2.5×,5×,,20×,,50×,100×,,可選,。
不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。 傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié).臺式輪廓儀推薦產(chǎn)品
輪廓儀的自動拼接功能:
條件: 被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,,使用自動圖片拼接。
需要點擊自動拼接,, 輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來,。
軟件會自適應(yīng)計算路徑上移動的偏差,自動消除移動中偏差,,減小誤差,。
但是誤差是一定存在的。
白光輪廓儀的典型應(yīng)用:
對各種產(chǎn)品,,不見和材料表面的平面度,,粗糙度,,波溫度,,面型輪廓,表面缺 陷,,磨損情況,,腐蝕情況,,孔隙間隙,臺階高度,,完全變形情況,,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
臺式輪廓儀質(zhì)量怎么樣產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um),。
輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測
集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
國家重點實驗室
高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化
MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
超高精密表面工程技術(shù)
輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,,并轉(zhuǎn)換成電信號,,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo),,或放大的實際輪廓曲線,,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出,。(來自網(wǎng)絡(luò))
表面三維微觀形貌測量的意義
在生產(chǎn)中,,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有**直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更***,,更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,,進而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,,確保零件使用功能的實現(xiàn),。
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,,其中以非接觸式測量方法為主。
NanoX-8000主設(shè)備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm,。
輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:
表面形貌(粗糙度,平面度,,平行度,,臺階高度,錐角等)
幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,,曲率半徑,,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
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物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,,例如標(biāo)配的10×,, 還有2.5×,5×,,20×,,50×,100×,,可選,。
不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:
晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,,檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。 儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,,不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。太陽能電池輪廓儀報價
物鏡是輪廓儀****的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,。臺式輪廓儀推薦產(chǎn)品
滿足您需求的輪廓儀
使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求
保護性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀
耐用性更強,, 使用無損
可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,,更方便
智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)
個性化: 定制化客戶報告模式
更好用戶體驗: 迅捷的售后服務(wù),,個性化應(yīng)用軟件支持
1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好,、承載大,、**磨損等優(yōu)點,達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,,準(zhǔn)確度高,穩(wěn)定性好,。(網(wǎng)絡(luò)) 臺式輪廓儀推薦產(chǎn)品
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,,是一家磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司。公司自創(chuàng)立以來,,投身于磁記錄,,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),,是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實的精神和必勝的信念,,影響并帶動團隊取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,在風(fēng)云變化的時代,,對自身的建設(shè)毫不懈怠,,高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信。