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晶圓膜厚儀價格怎么樣

來源: 發(fā)布時間:2021-03-03

FSM 8018 VITE測試系列設備

VITE技術介紹:

VITE是傅里葉頻域技術,利用近紅外光源的相位剪切技術(Phase shear technology)

設備介紹

適用于所有可讓近紅外線通過的材料:硅、藍寶石,、砷化鎵、磷化銦,、碳化硅、玻璃,、石  英,、聚合物…………

應用:

   襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸,、深度、側壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側壁角度...


F3-s980 是波長為980奈米的版本,是為了針對成本敏銳的應用而設計,。晶圓膜厚儀價格怎么樣

平臺和平臺附件標準和**平臺,。

CS-1可升級接觸式SS-3樣品臺,可測波長范圍190-1700nm

SS-36“×6” 樣品平臺,,F(xiàn)20 系統(tǒng)的標準配置,。 可調節(jié)鏡頭高度,103 mm 進深,。 適用所有波長范圍,。

SS-3-88“×8” 樣品平臺??烧{節(jié)鏡頭高度,,139mm 進深。 適用所有波長范圍。

SS-3-24F20 的 24“×24” 樣品平臺,。 可調節(jié)鏡頭高度,,550mm 進深。 適用所有波長范圍,。

SS-56" x 6" 吋樣品臺,,具有可調整焦距的反射光學配件,需搭配具有APC接頭的光纖,,全波長范圍使用

樣品壓重-SS-3-50

樣品壓重 SS-3 平臺, 50mm x 50mm

樣品壓重-SS-3-110

樣品壓重 SS-3 平臺, 110mm x 110mm

半導體膜厚儀干涉測量應用重復性: 0.1 μm (1 sigma)單探頭* ,;0.8 μm (1 sigma)雙探頭*。

F40 系列將您的顯微鏡變成薄膜測量工具F40 產(chǎn)品系列用于測量小到 1 微米的光斑,。 對大多數(shù)顯微鏡而言,,F(xiàn)40 能簡單地固定在 c 型轉接器上,這樣的轉接器是顯微鏡行業(yè)標準配件,。

F40 配備的集成彩色攝像機,,能夠對測量點進行準確監(jiān)控。 在 1 秒鐘之內就能測定厚度和折射率,。 像我們所有的臺式儀器一樣,,F(xiàn)40 需要連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口上并在數(shù)分鐘內完成設定。

F40:20nm-40μm 400-850nm

F40-EXR:20nm-120μm 400-1700nm

F40-NIR:40nm-120μm 950-1700nm

F40-UV:4nm-40μm 190-1100nm

F40-UVX:4nm-120μm 190-1700nm

鏡頭組件Filmetrics 提供幾十種不同鏡頭配置,。訂制專門用途 的鏡片一般在幾天之內可以完成,。

LA-GL25-25-30-EXR用于 60-1000mm 工作距離的直徑 1" 鏡頭組件,30mm 焦距鏡頭,。KM-GL25用于直徑 1" 鏡頭的簡化動力支架,。 可以在兩個軸上斜向調節(jié)。 8-32 安裝螺紋,。KM-F50用于直徑 0.5" 鏡頭的簡化動力支架,。 還可以用于 F50??商峁┎煌溺R頭組合,。LA-F50/SS-13-20-UVX小光斑 (200um) 選項,可見光, 近紅外或紫外線,。

如果您想要了解更多的信息,,請聯(lián)系我們岱美儀器。 F50-EXR測厚范圍:20nm-250μm,;波長:380-1700nm,。

F54包含的內容:

集成光譜儀/光源裝置

MA-Cmount 安裝轉接器 

顯微鏡轉接器光纖連接線BK7 

參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 

厚度標準 聚焦/厚度標準4", 6" and 200mm 

參考晶圓真空泵備用燈

型號厚度范圍*波長范圍

F54:20nm-40μm 380-850nm

F54-UV:4nm-30μm 190-1100nm

F54-NIR:40nm-100μm 950-1700nm

F54-EXR:20nm-100μm 380-1700nm

F54-UVX:4nm-100μm190-1700nm

*取決于材料與顯微鏡

額外的好處:每臺系統(tǒng)內建超過130種材料庫, 隨著不同應用更超過數(shù)百種應用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 測量SU-8 其它厚光刻膠的厚度有特別重要的應用。廣東膜厚儀聯(lián)系電話

應用:襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響),平整度。晶圓膜厚儀價格怎么樣

生物醫(yī)療器械應用中的涂層生物醫(yī)療器械的制造和準備方面會用到許多類型的涂層,。 有些涂層是為了保護設備免受腐蝕,,而其他的則是為了預防組 織損傷、***或者是排異反應,。 藥 物傳輸涂層也變得日益普通,。 其它生物醫(yī)學器械,如血管成型球囊,,具有**的隔膜,,必須具有均勻和固定的厚度才能正常工作。

測量范例:支架是塑料或金屬制成的插入血管防止收縮的小管,。很多時候,,這些支架用聚合物或藥 物涂層處理,以提高功能和耐腐蝕,。F40配上20倍物鏡(25微米光斑),,我們能夠測量沿不銹鋼支架外徑這些涂層的厚度。這個功能強大的儀器提供醫(yī)療器械行業(yè)快速可靠,,非破壞性,,無需樣品準備的厚度測量。 晶圓膜厚儀價格怎么樣

岱美儀器技術服務(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,,是一家磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易,、轉口貿易,,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,,國際貿易,、轉口貿易,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司。岱美儀器技術服務擁有一支經(jīng)驗豐富、技術創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團隊,,以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,,半導體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務不斷開拓創(chuàng)新,追求出色,,以技術為先導,,以產(chǎn)品為平臺,以應用為重點,,以服務為保證,,不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,提供更優(yōu)服務,。岱美儀器技術服務始終關注自身,,在風云變化的時代,對自身的建設毫不懈怠,,高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術服務在行業(yè)的從容而自信,。