HERCULES ® NIL特征：

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過程和模板

HERCULES ® NIL技術(shù)數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）：100至200毫米/ 200和300毫米

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：SmartNIL ®

曝光源：大功率LED（i線）> 400 mW /cm2

對準：≤±3微米

自動分離：支持的

前處理：提供所有預處理模塊

迷你環(huán)境和氣候控制：可選的

工作印章制作：支持的

SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù),。晶圓納米壓印特點

    首先準備一塊柔性薄膜作為彈性基底層，然后將巰基-烯預聚物旋涂在具有表面結(jié)構(gòu)的母板上,，彈性薄膜壓印在巰基-烯層上,，與材料均勻接觸。巰基-烯材料可以在自然環(huán)境中固化通過“點擊反應(yīng)”形成交聯(lián)聚合物,，不受氧氣和水的阻聚作用,。順利分離開母板后,，彈性薄膜與固化后的巰基-烯層緊密連接在一起，獲得雙層結(jié)構(gòu)的復合柔性模板,。由于良好的材料特性,，剛性巰基-烯結(jié)構(gòu)層可以實現(xiàn)較高的分辨率。因此,，利用該方法可以制備高 分辨的復合柔性模板,，經(jīng)過表面防粘處理后可以作為軟壓印模板使用。該研究利用新方法制備了以PDMS和PET為彈性基底的亞100nm線寬的光柵結(jié)構(gòu)復合軟壓印模板,。相關(guān)研究成果發(fā)表于《納米科技與納米技術(shù)雜志》（JournalofNanoscienceandNanotechnology）,。（來自網(wǎng)絡(luò)。大面積納米壓印美元價EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng),。

    該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世,。根據(jù)客戶的專門需求，公司對這些聚合物作出調(diào)整,，使其具備其它特征,。它們極其適合工業(yè)環(huán)境，在較短的生產(chǎn)周期時間內(nèi)粘合各種微小的元件,。此外,，DELO紫外線LED固化設(shè)備與點膠閥的可靠度十分杰出。關(guān)于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商,，總部位于德國慕尼黑附近的Windach,。在美國、中國,、新加坡及日本均設(shè)有子公司,。2019財政年，公司的780名員工創(chuàng)造了,。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應(yīng)用于汽車,、消費類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品,。DELO的客戶包括博世,、戴姆勒,、華為,、歐司朗、西門子以及索尼等,。關(guān)于EVGroup(EVG)EV集團(EVG)是為生產(chǎn)半導體,、微機電系統(tǒng)(MEMS)、化合物半導體,、功率器件以及納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的**供應(yīng)商,。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,、薄晶圓處理、光刻/納米壓印光刻技術(shù)（NIL）與計量設(shè)備,，,，以及涂膠機、清洗機與檢測系統(tǒng),。EV集團創(chuàng)辦于1980年,，可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務(wù)與支持。

SmartNIL是一項關(guān)鍵的啟用技術(shù),，可用于顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新。例如,，SmartNIL提供了****的全區(qū)域共形壓印,，以便滿足面板基板上線柵偏振器的**重要標準。SmartNIL還非常適合對具有復雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進行高精度圖案化,，以支持下一代藥 物研究和醫(yī)學診斷設(shè)備的生產(chǎn),。此外，SmartNIL的***發(fā)展為制造具有比較高功能,，**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度,，這對于實現(xiàn)衍射光學元件（DOE）至關(guān)重要。

特征：

體積驗證的壓印技術(shù),，具有出色的復制保真度

專有SmartNIL ®技術(shù),，多使用聚合物印模技術(shù)

經(jīng)過生產(chǎn)驗證的分辨率低至40 nm或更小

大面積全場壓印

總擁有成本比較低

在地形上留下印記

對準能力

室溫過程

開放式材料平臺 EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)。

EVG ® 620 NT是智能NIL ® UV納米壓印光刻系統(tǒng),。

用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術(shù),，在100毫米范圍內(nèi)。

EVG620 NT以其靈活性和可靠性而聞名,，它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術(shù),。操作員友好型軟件，**短的掩模和模具更換時間以及有效的全球服務(wù)支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案,。該工具支持多種標準光刻工藝,，例如真空，軟,，硬和接近曝光模式,，以及背面對準選項。此外,，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準和納米壓印光刻。此外,，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù),。

EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)是基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù),。重慶半導體設(shè)備納米壓印

EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的，因為它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術(shù),。晶圓納米壓印特點

納米壓印光刻（NIL） -SmartNIL ®

用于大批量生產(chǎn)的大面積軟UV納米壓印光刻工藝

介紹：

EVG是納米壓印光刻（NIL）的市場**設(shè)備供應(yīng)商,。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)多年，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。EVG的專有SmartNIL技術(shù)通過多年的研究,，開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進行了優(yōu)化，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求,。SmartNIL可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結(jié)果,。

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晶圓納米壓印特點

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司,，是一家集研發(fā)、設(shè)計,、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司,。公司自創(chuàng)立以來，投身于磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),，是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實的精神和必勝的信念，影響并帶動團隊取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風云變化的時代，對自身的建設(shè)毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。