1）白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。  

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤,、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機(jī),。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光,。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)，但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn),。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用,。干涉測量輪廓儀服務(wù)為先

    隨著時代的發(fā)展，輪廓儀也越來重要了,，不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進(jìn)行檢測,，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測量儀器,。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動,。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對其進(jìn)行采樣,，并將其轉(zhuǎn)換為電信號,。電信號被放大和處理，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中,。計算機(jī)以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,，分離表面并計算粗糙度分量,，測量結(jié)果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點(diǎn)的坐標(biāo),，或放大的實際輪廓曲線,。測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可以由打印機(jī)輸出,。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機(jī)械加工,、汽車,、摩托車,、精密五金、精密工具,、刀 具,、模具、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機(jī)構(gòu),、大學(xué),、計量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計量室。在汽車,，摩托車和制冷行業(yè),，它可以測量活塞，活塞銷,，齒輪的總線參數(shù)和汽車,，摩托車和壓縮機(jī)的閥門柱塞，可以測量各種傾斜部件的參數(shù),。在軸承工業(yè)中,，內(nèi)護(hù)套環(huán)的密封槽的形狀（角度，倒角R,，槽深,，槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,，角度和對數(shù)曲線,；電機(jī)軸，圓柱銷,，活塞銷,，滾針軸承，圓柱滾子軸承,。國產(chǎn)輪廓儀質(zhì)保期多久NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。

輪廓儀的**團(tuán)隊

夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才

15年ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā),、項目管理經(jīng)驗

SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,，太陽能在線檢測設(shè)備

唐壽鴻博士，國家千人****

25年 ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗

KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),，***圖像處理、算法**

許衡博士,，軟件系統(tǒng)研發(fā)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測量,、軟件系統(tǒng)

岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持，為您排憂解難,。

表面三維微觀形貌測量的意義

 在生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有**直接的影響，而且表面三維評定參數(shù)由于能更***,，更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,，確保零件使用功能的實現(xiàn),。

 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主。

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。

1.3. 培訓(xùn)計劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后,，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能,、特點(diǎn)、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認(rèn)識,。

    在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn),。

1.4. 培訓(xùn)形式

    公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理,、功能、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn),；

    向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料,，使學(xué)員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握；

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng),；

    對學(xué)員提出的問題進(jìn)行詳細(xì)解答,；

NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um,，重復(fù)精度 1um,。山東掩模對準(zhǔn)輪廓儀

一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右。干涉測量輪廓儀服務(wù)為先

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例

測量種類

?

基板A Sold Mask 3D形貌,、尺寸

?

基板A Sold Mask粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

?

基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

?

基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動速度 **快

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊,，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心,，為用戶帶來良好體驗,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表市場,，以敏銳的市場洞察力，實現(xiàn)與客戶的成長共贏,。