輪廓儀在集成電路的應用

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz,，…

器件多層結構臺階高  MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠實現(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題

歡迎咨詢,。 NanoX-8000主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm。**輪廓儀用途

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：

邁爾爾遜

1852-1931

美國物理學家

曾從事光速的精密測量工作  

邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準,。

1881年,，他發(fā)明了一種用以測量微小長度，折射率和光波波長的干涉儀,，邁克爾遜干涉儀,。

他和美國物理學家莫雷合作，進行了***的邁克爾遜-莫雷實驗,，否定了以太de 存在,，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎。

由于創(chuàng)制了精密的光學儀器和利用這些儀器所完成光譜學和基本度量學研究,，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學獎,。 晶圓輪廓儀推薦型號在結構上，輪廓儀基本上都是臺式的,，而粗糙度儀以手持式的居多,，當然也有臺式的。

    輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度,。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓,。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊,，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,，而小坎通常無法很標準(見圖)。這樣,，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差,。與此相比，光譜反射儀使用非接觸技術,，不需要任何樣本準備就可以測量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng)。

輪廓儀的性能

測量模式 ：

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺 ：

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素：

標配：1280×960

視場范圍：

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統(tǒng)：

同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

光 源：

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm,，1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光。

我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢

世界先進水平的產(chǎn)品技術

合理的產(chǎn)品價格

24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務

無償產(chǎn)品技術培訓和應用技術支持

個性化的應用軟件服務支持

合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務

更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案

非接觸式輪廓儀（光學輪廓儀）是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,，可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。（本段來自網(wǎng)絡） 輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）,，生物、醫(yī)藥新技術,，微流控器件,。北京臺積電輪廓儀

支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC,。**輪廓儀用途

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應用測試案例

測量種類

?

基板A Sold Mask 3D形貌,、尺寸

?

基板A Sold Mask粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

?

基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

?

基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導入SPC

? 具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

岱美儀器技術服務（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司。岱美儀器技術服務作為磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一，為客戶提供良好的磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念,，影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術服務始終關注自身,，在風云變化的時代,，對自身的建設毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術服務在行業(yè)的從容而自信,。