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上海光刻機微流控應用

來源: 發(fā)布時間:2020-01-09

EVG ® 610曝光源:

汞光源/紫外線LED光源

楔形補償

全自動軟件控制

晶圓直徑(基板尺寸)

高達100/150/200毫米


曝光設定:

真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式

曝光選項:

間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光

先進的對準功能:

手動對準/原位對準驗證

手動交叉校正

大間隙對準


EVG ® 610光刻機系統(tǒng)控制:

操作系統(tǒng):Windows

文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數(shù)

多語言用戶GUI和支持:CN,,DE,F(xiàn)R,,IT,,JP,KR

實時遠程訪問,,診斷和故障排除

使用的納米壓印光刻技術(shù)為“無紫外線” EVG光刻機設備,,可完全集成到HERCULES光刻軌道系統(tǒng)中,并輔以其用于從上到下側(cè)對準驗證的計量工具,。上海光刻機微流控應用

EVG ® 150光刻膠處理系統(tǒng)技術(shù)數(shù)據(jù):

模塊數(shù):

工藝模塊:6

烘烤/冷卻模塊:**多20個

工業(yè)自動化功能:

Ergo裝載盒式工作站/ SMIF裝載端口/ SECS / GEM / FOUP裝載端口

智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能(框架軟件平臺)

用于過程和機器控制的集成分析功能

并行任務/排隊任務處理功能

設備和過程性能跟/蹤功能

智能處理功能

事/故和警報分析/智能維護管理和跟/蹤

晶圓直徑(基板尺寸):高達300毫米


可用模塊:

旋涂/ OmniSpray ® /開發(fā)

烘烤/冷卻

晶圓處理選項:

單/雙EE /邊緣處理/晶圓翻轉(zhuǎn)


彎曲/翹曲/薄晶圓處理


黑龍江光刻機可以用于研發(fā)嗎EVG101光刻膠處理機可支持**/大300 mm的晶圓,。

EVG6200 NT附加功能:

鍵對準

紅外對準

納米壓印光刻(NIL)


EVG6200 NT技術(shù)數(shù)據(jù):

曝光源

汞光源/紫外線LED光源

先進的對準功能

手動對準/原位對準驗證

自動對準

動態(tài)對準/自動邊緣對準

對準偏移校正算法


EVG6200 NT產(chǎn)能:

全自動:第/一批生產(chǎn)量:每小時180片

全自動:吞吐量對準:每小時140片晶圓

晶圓直徑(基板尺寸):高達200毫米


對準方式:

上側(cè)對準:≤±0.5 μm

底側(cè)對準:≤±1,0 μm

紅外校準:≤±2,0 μm /具體取決于基板材料

鍵對準:≤±2,0 μm

NIL對準:≤±3.0 μm


曝光設定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式

楔形補償:全自動軟件控制

曝光選項:間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光


系統(tǒng)控制

操作系統(tǒng):Windows

文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數(shù)

多語言用戶GUI和支持:CN,DE,F(xiàn)R,,IT,,JP,KR

實時遠程訪問,,診斷和故障排除

工業(yè)自動化功能:盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,,彎曲,翹曲,,邊緣晶圓處理

納米壓印光刻技術(shù):SmartNIL

IQ Aligner®NT自動掩模對準系統(tǒng)

特色:IQ Aligner®在**/高吞吐量NT經(jīng)過優(yōu)化零協(xié)助非接觸式近程處理,。

技術(shù)數(shù)據(jù):IQ Aligner NT是用于大批量應用的生產(chǎn)力**/高,技術(shù)**/先進的自動掩模對準系統(tǒng),。該系統(tǒng)具有**/先進的打印間隙控制和零輔助雙尺寸晶圓處理能力,,可完全滿足大批量制造(HVM)的需求。與EVG的上一代IQ

Aligner系統(tǒng)相比,,它的吞吐量提高了2倍,對準精度提高了2倍,,是所有掩模對準器中**/高的吞吐量,。IQ Aligner NT超越了對后端光刻應用**苛刻的要求,同時與競爭性系統(tǒng)相比,,其掩模成本降低了30%,,而競爭系統(tǒng)超出了掩模對準工具所支持的**/高吞吐量。 EVG101是光刻膠處理,,EVG105是光刻膠烘焙機,,EVG120、EVG150是光刻膠處理自動化系統(tǒng),。

光刻機軟件支持

基于Windows的圖形用戶界面的設計,,注重用戶友好性,并可輕松引導操作員完成每個流程步驟,。多語言支持,,單個用戶帳戶設置和集成錯誤記錄/報告和恢復,可以簡化用戶的日常操作,。所有EVG系統(tǒng)都可以遠程通信,。因此,我們的服務包括通過安全連接,,電話或電子郵件,,對包括經(jīng)過現(xiàn)場驗證的,實時遠程診斷和排除故障,。EVG經(jīng)驗豐富的工藝工程師隨時準備為您提供支持,,這得益于我們分散的全球支持機構(gòu),包括三大洲的潔凈室空間:歐洲 (HQ), 亞洲 (日本) 和

北美 (美國). 了解客戶需求和有效的全球支持,這是我們提供優(yōu)先解決方案的重要基礎,。本地光刻機保修期多久

EVG在要求苛刻的應用中積累了多年的光刻膠旋涂和噴涂經(jīng)驗,。上海光刻機微流控應用

     EV Group企業(yè)技術(shù)總監(jiān)Thomas Glinsner博士證實:“我們看到支持晶圓級光學器件的設備需求正在急劇增加?!?“*從今年年初開始,,我們就向大型WLO制造商交付了多個用于透鏡成型和堆疊以及計量的系統(tǒng),以進行大批量生產(chǎn),。此類訂單進一步鞏固了EVG在該領域市場***的地位,,同時創(chuàng)造了新興應用程序中有大量新機會?!?

      業(yè)界**的設備制造商**近宣布了擴大其傳感領域業(yè)務目標的計劃,,以幫助解決客戶日益激進的上市時間窗口。根據(jù)市場研究和策略咨詢公司YoleDéveloppement的說法,,下一代智能手機中正在設計十多種傳感器,。其中包括3D感測相機,指紋傳感器,,虹膜掃描儀,,激光二極管發(fā)射器,激光測距儀和生物傳感器,??傮w而言,光纖集線器預計將從2016年的106億美元增長到2021年的180億美元,,復合年增長率超過11%*,。 上海光刻機微流控應用

岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團隊,,各種專業(yè)設備齊全,。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗,熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能,,致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務的品牌,。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】,,同時還建立了完善的售后服務體系,為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務,。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,也是我們做人的基本準則,。公司致力于打造***的磁記錄,,半導體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),。