Total Thickness Variation (TTV) 應(yīng)用

規(guī)格:

測量方式:

紅外干涉(非接觸式)

樣本尺寸:

50,、75,、100、200,、300 mm,， 也可以訂做客戶需要的產(chǎn)品尺寸

測量厚度:

15 — 780 μm (單探頭)

     3 mm (雙探頭總厚度測量)

掃瞄方式:

半自動及全自動型號,

 另2D/3D掃瞄(Mapping)可選

襯底厚度測量: TTV、平均值,、*小值,、*大值、公差...

可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS)

重復(fù)性:

0.1 μm (1 sigma)單探頭*

  0.8 μm

(1 sigma)雙探頭*

分辨率:

 10 nm

請訪問我們的中文官網(wǎng)了解更多關(guān)于本產(chǎn)品的信息,。

F3-CS：

Filmetrics的F3-CS 專門為了微小視野及微小樣品測量設(shè)計, 任何人從**操作到研&發(fā)人員都可以此簡易USB供電系統(tǒng)在數(shù)秒鐘內(nèi)測量如聚對二甲苯和真空鍍膜層厚度.

我們具專利的自動校正功能大幅縮短測量設(shè)置並可自動調(diào)節(jié)儀器的靈敏度, 使用免手持測量模式時, 只需簡單地將樣品面朝下放置在平臺上測量樣品 , 此時該系統(tǒng)已具備可測量數(shù)百種膜層所必要的一切設(shè)置不管膜層是否在透明或不透明基底上.

快速厚度測量可選配FILMeasure厚度測量軟件使厚度測量就像在平臺上放置你的樣品一樣容易, 軟件內(nèi)建所有常見的電介質(zhì)和半導(dǎo)體層（包括C,，N和HT型聚對二甲苯）的光學(xué)常數(shù)(n和k）,厚度結(jié)果會及時的以直覺的測量結(jié)果顯示對于進階使用者,，可以進一步以F3-CS測量折射率, F3-CS可在任何運行Windows XP到 Windows8 64位作業(yè)系統(tǒng)的計算機上運行, USB電纜則提供電源和通信功能. 半導(dǎo)體薄膜膜厚儀芯片行業(yè)一般較短波長 (例如， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,，而較長波長可以測量更厚,、更不平整和更不透明的薄膜。

    其可測量薄膜厚度在1nm到1mm之間,，測量精度高達1埃,，測量穩(wěn)定性高達，測量時間只需一到二秒,并有手動及自動機型可選,?？蓱?yīng)用領(lǐng)域包括：生物醫(yī)學(xué)（Biomedical）,液晶顯示(Displays),硬涂層(Hardcoats),金屬膜(Metal),眼鏡涂層(Ophthalmic),聚對二甲笨(Parylene),電路板(PCBs&PWBs),多孔硅(PorousSilicon),光阻材料(ThickResist),半導(dǎo)體材料(Semiconductors),太陽光伏(Solarphotovoltaics),真空鍍層(VacuumCoatings),圈筒檢查(Webinspectionapplications)等。通過Filmetrics膜厚測量儀*新反射式光譜測量技術(shù),*多4層透明薄膜厚度,、n,、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測得。其應(yīng)用***,，例如:半導(dǎo)體工業(yè):光阻,、氧化物,、氮化物,。LCD工業(yè):間距(cellgaps)，ito電極,、polyimide保護膜,。光電鍍膜應(yīng)用:硬化鍍膜,、抗反射鍍膜、過濾片,。極易操作,、快速、準(zhǔn)確,、機身輕巧及價格便宜為其主要優(yōu)點,，F(xiàn)ilmetrics提供以下型號以供選擇:F20:這簡單入門型號有三種不同波長選擇(由220nm紫外線區(qū)至1700nm近紅外線區(qū))為任意攜帶型，可以實現(xiàn)反射,、膜厚,、n、k值測量,。F30:這型號可安裝在任何真空鍍膜機腔體外的窗口,。可實時監(jiān)控長晶速度,、實時提供膜厚,、n、k值,。并可切定某一波長或固定測量時間間距,。

F10-ARc

獲得**精確的測量.自動基準(zhǔn)功能**增加基準(zhǔn)間隔時間, 量測準(zhǔn)確性優(yōu)於其他光纖探頭反射測量系統(tǒng)5倍可選擇UPG - F10-AR - HC軟件升級 測量0.25-15μm硬涂層的厚度. 即使在防反射涂層存在時仍可測量硬涂層厚度我們***探頭設(shè)計可排除98％背面反射,當(dāng)鏡片比1.5mm 更厚時, 可排除比例更高修正了硬膜層造成的局部反射扭曲現(xiàn)象。

F10-ARc：200nm - 15μm** 380-1050nm

當(dāng)您需要技術(shù)支援致電我們的應(yīng)用工程師,，提供即時的24小時援助（週一至週五）網(wǎng)上的 “手把手” 

支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 厚度變化 (TTV) ,；溝槽深度；過孔尺寸,、深度,、側(cè)壁角度。

自動厚度測量系統(tǒng)幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動測繪,。人工加載或機器人加載均可,。

在線厚度測量系統(tǒng)監(jiān)測控制生產(chǎn)過程中移動薄膜厚度。高達100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到,。

附件Filmetrics 提供各種附件以滿足您的應(yīng)用需要,。

F20 系列世界上****的臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)只需按下一個按鈕，您在不到一秒鐘的同時測量厚度和折射率,。設(shè)置同樣簡單, 只需插上設(shè)備到您運行Windows?系統(tǒng)計算機的USB端口, 并連接樣品平臺 , F20已在世界各地有成千上萬的應(yīng)用被使用. 事實上,，我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.

選擇您的F20主要取決於您需要測量的薄膜的厚度（確定所需的波長范圍）

F50-EXR測厚范圍：20nm-250μm,；波長：380-1700nm,。高校膜厚儀干涉測量應(yīng)用

不管您參與對顯示器的基礎(chǔ)研究還是制造，F(xiàn)ilmetrics 都能夠提供您所需要的...測量液晶層- 聚酰亞胺,、硬涂層,、液晶,、間隙測量有機發(fā)光二極管層- 發(fā)光、電注入,、緩沖墊,、封裝對于空白樣品，我們建議使用 F20 系列儀器,。 對于圖案片,，F(xiàn)ilmetrics的F40用于測量薄膜厚度已經(jīng)找到了顯示器應(yīng)用***使用。

測量范例此案例中,，我們成功地測量了藍寶石和硼硅玻璃基底上銦錫氧化物薄膜厚度,。與Filmetrics專有的ITO擴散模型結(jié)合的F10-RTA-EXR儀器，可以很容易地在380納米到1700納米內(nèi)同時測量透射率和反射率以確定厚度,，折射率,，消光系數(shù)。由于ITO薄膜在各種基底上不同尋常的的擴散,，這個擴展的波長范圍是必要的,。 高校膜厚儀干涉測量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司,。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等,，目前不斷進行創(chuàng)新和服務(wù)改進，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力,，努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識，遵守行業(yè)規(guī)范,，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮,、創(chuàng)意為先,、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念，全力打造公司的重點競爭力,。