技術(shù)介紹：

紅外干涉測量技術(shù), 非接觸式測量,。采用Michaelson干涉方法,，紅外波段的激光能更好的穿透被測物體，準確的得到測試結(jié)果,。

產(chǎn)品簡介：FSM 413EC 紅外干涉測量設(shè)備

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍寶石、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅、玻璃,、石  英,、聚合物…………

應用:

   襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度   

溝槽深度

   過孔尺寸,、深度、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

硅片厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

當測量斑點只有1微米（μm）時,，需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統(tǒng)。光干涉膜厚儀芯片行業(yè)

濾光片整平光譜響應,。

ND#0.5 衰減整平濾波器.單倍整平濾波器用于改善可見光光譜均勻度 + ND#0.5 衰減整平濾波器.

ND#1 衰減整平濾波器.單倍整平濾波器用于改善可見光光譜均勻度 + ND#1 衰減整平濾波器.

ND#2 衰減整平濾波器.單倍整平濾波器用于改善可見光光譜均勻度 + ND#2 衰減整平濾波器.

420nm 高通濾波器.420nm 高通濾波器於濾波器架.

515nm 高通濾波器.515nm 高通濾波器於濾波器架.

520nm 高通濾波器 +ND1.520nm 高通濾波器 + ND#1 十倍衰減整平濾波器.

520nm 高通濾波器 + ND#2520nm 高通濾波器 + ND#2 一百倍衰減整平濾波器.

550nm 高通濾波器550nm 高通濾波器於濾波器架. Filmetrics F10-AR膜厚儀推薦產(chǎn)品紫外光可測試的深度：***的薄膜（SOI 或 Si-SiGe）或者厚樣的近表面局部應力,。

生物醫(yī)療設(shè)備涂層應用生物醫(yī)療器械應用中的涂層生物醫(yī)療器械的制造和準備方面會用到許多類型的涂層。 有些涂層是為了保護設(shè)備免受腐蝕,，而其他的則是為了預防組 織損傷,、***或者是排異反應。 藥 物傳輸涂層也變得日益普通,。 其它生物醫(yī)學器械,，如血管成型球囊,，具有**的隔膜，必須具有均勻和固定的厚度才能正常工作,。

這些涂層厚度的測量方法各不相同,，但有一件事是確定的。使用普通方法 (例如,，在涂層前后稱某一部分的重量),， 無法檢測到會導致器械故障的涂層不完全覆蓋或涂層的不均勻性。

FSM 413MOT 紅外干涉測量設(shè)備：

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍寶石,、砷化鎵、磷化銦,、碳化硅,、玻璃、石  英,、聚合物…………

應用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸,、深度,、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度、側(cè)壁角度...

如果您想了解更多關(guān)于FSM膜厚儀的技術(shù)問題,，請聯(lián)系我們岱美儀器。 產(chǎn)品名稱：紅外干涉厚度測量設(shè)備,。

    更可加裝至三個探頭,，同時測量三個樣品，具紫外線區(qū)或標準波長可供選擇,。F40:這型號安裝在任何顯微鏡外,，可提供*小5um光點(100倍放大倍數(shù))來測量微小樣品。F50:這型號配備全自動XY工作臺,，由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可,。通過快速掃瞄功能，可取得整片樣品厚度分布情況(mapping),。F70:*通過在F20基本平臺上增加鏡頭,，使用Filmetrics*新的顏色編碼厚度測量法（CTM），把設(shè)備的測量范圍極大的拓展至,。F10-RT：在F20實現(xiàn)反射率跟穿透率的同時測量,，特殊光源設(shè)計特別適用于透明基底樣品的測量。PARTS：在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70o光源,，特別適用于超薄膜層厚度和n,、k值測量,。**膜厚測量儀系統(tǒng)F20使用F20**分光計系統(tǒng)可以簡便快速的測量厚度和光學參數(shù)（n和k）。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度,、折射率和消光系數(shù),。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個桌面系統(tǒng)組裝起來。F20包括所有測量需要的部件：分光計,、光源,、光纖導線、鏡頭**和Windows下運行的軟件,。您需要的只是接上您的電腦,。膜層實例幾乎任何光滑、半透明,、低吸收的膜都能測,。包括：sio2（二氧化硅）sinx（氮化硅）dlc（類金剛石碳）photoresist。F20-UV測厚范圍：1nm - 40μm,；波長：190-1100nm,。中芯國際膜厚儀值得買

F3-s980 是波長為980奈米的版本，是為了針對成本敏銳的應用而設(shè)計,。光干涉膜厚儀芯片行業(yè)

不管您參與對顯示器的基礎(chǔ)研究還是制造,，F(xiàn)ilmetrics 都能夠提供您所需要的...測量液晶層- 聚酰亞胺、硬涂層,、液晶,、間隙測量有機發(fā)光二極管層- 發(fā)光、電注入,、緩沖墊,、封裝對于空白樣品，我們建議使用 F20 系列儀器,。 對于圖案片,，F(xiàn)ilmetrics的F40用于測量薄膜厚度已經(jīng)找到了顯示器應用***使用。

測量范例此案例中,，我們成功地測量了藍寶石和硼硅玻璃基底上銦錫氧化物薄膜厚度,。與Filmetrics專有的ITO擴散模型結(jié)合的F10-RTA-EXR儀器，可以很容易地在380納米到1700納米內(nèi)同時測量透射率和反射率以確定厚度,，折射率,，消光系數(shù)。由于ITO薄膜在各種基底上不同尋常的的擴散,，這個擴展的波長范圍是必要的,。 光干涉膜厚儀芯片行業(yè)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司,。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等,，目前不斷進行創(chuàng)新和服務(wù)改進,，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力,，努力學習行業(yè)知識,，遵守行業(yè)規(guī)范，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊,、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先,、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念,，全力打造公司的重點競爭力。