F30 系列監(jiān)控薄膜沉積,，**強有力的工具F30 光譜反射率系統(tǒng)能實時測量沉積率,、沉積層厚度,、光學(xué)常數(shù) (n 和 k 值) 和半導(dǎo)體以及電介質(zhì)層的均勻性,。

樣品層分子束外延和金屬有機化學(xué)氣相沉積: 可以測量平滑和半透明的,，或輕度吸收的薄膜,。 這實際上包括從氮化鎵鋁到鎵銦磷砷的任何半導(dǎo)體材料,。

各項優(yōu)點:極大地提高生產(chǎn)力低成本 —幾個月就能收回成本A精確 — 測量精度高于 ±1%快速 — 幾秒鐘完成測量非侵入式 — 完全在沉積室以外進行測試易于使用 — 直觀的 Windows? 軟件幾分鐘就能準(zhǔn)備好的系統(tǒng)

型號厚度范圍*波長范圍

F30:15nm-70μm 380-1050nm

F30-EXR:15nm - 250μm 380-1700nm

F30-NIR:100nm - 250μm 950-1700nm

F30-UV:3nm-40μm 190-1100nm

F30-UVX:3nm - 250μm 190-1700nm

F30-XT:0.2μm - 450μm1440-1690nm F30-UV測厚范圍：3nm-40μm,；波長：190-1100nm,。液晶顯示膜厚儀**

F50 系列自動化薄膜測繪Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度,。一個電動R-Theta 平臺可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤，樣品直徑可達450毫米,。(耐用的平臺在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標(biāo),、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法,，并且不受測量點數(shù)量的限制,。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測繪圖案。

不同的 F50 儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的,。 標(biāo)準(zhǔn)的 F50是很受歡迎的產(chǎn)品,。 一般較短的波長 (例如,， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚,、更不平整以及更不透明的薄膜,。 中芯國際膜厚儀值得買F40測量范圍；20nm-40μm;波長：400-850nm,。

F30包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置光斑尺寸10微米的單點測量平臺FILMeasure 8反射率測量軟件Si 參考材料FILMeasure **軟件 (用于遠程數(shù)據(jù)分析)

額外的好處：每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃

型號厚度范圍*波長范圍

F3-s 980:10μm - 1mm  960-1000nm

F3-s1310:15μm - 2mm 1280-1340nm 

F3-s1550:25μm - 3mm 1520-1580nm

*取決于薄膜種類

接觸探頭測量彎曲和難測的表面

CP-1-1.3測量平面或球形樣品,，結(jié)實耐用的不銹鋼單線圈。

CP-1-AR-1.3可以抑 制背面反射,，對 1.5mm 厚的基板可抑 制 96%,。 鋼制單線圈外加PVC涂層，比較大可測厚度 15um,。

CP-2-1.3用于探入更小的凹表面,，直徑 17.5mm。

CP-C6-1.3探測直徑小至 6mm 的圓柱形和球形樣品外側(cè),。

CP-C12-1.3用于直徑小至 12mm 圓柱形和球形樣品外側(cè),。

CP-C26-1.3用于直徑小至 26mm 圓柱形和球形樣品外側(cè)。

CP-BendingRod-L350-2彎曲長度 300mm,，總長度 350mm 的接觸探頭,。 用于難以到達的區(qū)域，但不會自動對準(zhǔn)表面,。

CP-ID-0to90Deg-2用于食品和飲料罐頭內(nèi)壁的接觸探頭,。

CP-RA-3mmDia-200mmL-2直徑**小的接觸探頭,，配備微型直角反射鏡,，用來測量小至直徑 3mm 管子的內(nèi)壁，不能自動對準(zhǔn)表面,。

CP-RA-10mmHigh-2配備微型直角反射鏡,，可以在相隔 10mm 的兩個平坦表面之間進行測量。 采用Michaelson干涉方法,，紅外波段的激光能更好的穿透被測物體,，準(zhǔn)確得到測試結(jié)果。

備用光源：

LAMP-TH1-5PAK：F10,、F20,、F30、F40,、F50,、和 F60 系統(tǒng)的非紫外光源。 5個/盒,。1200 小時平均無故障,。

LAMP-TH：F42F42 系統(tǒng)的光源,。 1000 小時平均無故障。

LAMP-THF60：F60 系統(tǒng)的光源,。 1000 小時平均無故障,。

LAMP-THF80：F80 系統(tǒng)的光源。 1000 小時平均無故障,。

LAMP-D2-L10290：L10290 氘光源,。 2007年到2014年F20-UV的使用者。

LAMP-TH-L10290：L10290 鎢鹵素光源,。 2007年到2014年F20-UV的使用者,。

LAMP-D2-***T2：***T2光源需更換氘燈, 而鹵素?zé)艄庠葱韪鼡Q使用LAMP-TH1-5PAK. Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能,。Filmetrics膜厚儀芯片行業(yè)

可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS),。液晶顯示膜厚儀**

平臺和平臺附件標(biāo)準(zhǔn)和**平臺。

CS-1可升級接觸式SS-3樣品臺,，可測波長范圍190-1700nm

SS-36“×6” 樣品平臺,，F(xiàn)20 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。 可調(diào)節(jié)鏡頭高度,，103 mm 進深,。 適用所有波長范圍。

SS-3-88“×8” 樣品平臺,?？烧{(diào)節(jié)鏡頭高度，139mm 進深,。 適用所有波長范圍,。

SS-3-24F20 的 24“×24” 樣品平臺。 可調(diào)節(jié)鏡頭高度,，550mm 進深,。 適用所有波長范圍。

SS-56" x 6" 吋樣品臺,，具有可調(diào)整焦距的反射光學(xué)配件,，需搭配具有APC接頭的光纖，全波長范圍使用

樣品壓重-SS-3-50

樣品壓重 SS-3 平臺, 50mm x 50mm

樣品壓重-SS-3-110

樣品壓重 SS-3 平臺, 110mm x 110mm

液晶顯示膜厚儀**

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型公司,。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等，目前不斷進行創(chuàng)新和服務(wù)改進，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。公司將不斷增強企業(yè)重點競爭力,，努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識，遵守行業(yè)規(guī)范,，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮,、創(chuàng)意為先,、技術(shù)為實”的經(jīng)營理念，全力打造公司的重點競爭力,。