測量復(fù)雜的有機(jī)材料典型的有機(jī)發(fā)光顯示膜包括幾層： 空穴注入層,，空穴傳輸層,，以及重組/發(fā)光層,。所有這些層都有不尋常有機(jī)分子（小分子和/或聚合物）。雖然有機(jī)分子高度反常色散,，測量這些物質(zhì)的光譜反射充滿挑戰(zhàn),，但對(duì)Filmetrics卻不盡然,。我們的材料數(shù)據(jù)庫覆蓋整個(gè)OLED的開發(fā)歷史,，能夠處理隨著有機(jī)分子而來的高折射散射和多種紫外光譜特征。軟基底上的薄膜有機(jī)發(fā)光顯示器具有真正柔性顯示的潛力,，要求測量像PET（聚乙烯）塑料這樣有高雙折射的基準(zhǔn),，這對(duì)托偏儀測量是個(gè)嚴(yán)重的挑戰(zhàn)： 或者模擬額外的復(fù)雜光學(xué)，或者打磨PET背面,。 而這些對(duì)我們非偏振反射光譜來說都不需要,，極大地節(jié)約了人員培訓(xùn)和測量時(shí)間。操作箱中測量有機(jī)發(fā)光顯示器材料對(duì)水和氧極度敏感,。 很多科研小組都要求在控制的干燥氮?dú)獠僮飨渲袦y量,。 而我們體積小，模塊化,，光纖設(shè)計(jì)的儀器提供非密封,、實(shí)時(shí)“操作箱”測量。F40-EXR范圍：20nm-120μm,；波長：400-1700nm,。硬涂層膜厚儀研發(fā)可以用嗎

    光纖紫外線、可見光譜和近紅外備用光纖,。接觸探頭是相當(dāng)堅(jiān)固的,，但是光纖不能經(jīng)常被抽屜碰撞或者被椅子壓過。該套件包括指令,，以及簡單的維修工具,，新的和舊風(fēng)格的探頭。FO-PAT-SMA-SMA-200-22米長,，直徑200um的光纖,，兩端配備SMA接頭。米長,，分叉反射探頭,。

通用附件攜帶箱等。手提電腦手提電腦預(yù)裝FILMeasure軟件,、XP和Microsoft辦公軟件,。

電腦提箱用于攜帶F10、F20,、F30和F40系統(tǒng)的提箱,。ConflatFeedthrough真空穿通,，"conflat、雙出入孔SMA,，并通過泄漏測試,。LensPaper-CenterHole**開孔鏡頭紙，用于保護(hù)面朝下的樣品,，5本各100張,。 工藝薄膜膜厚儀美元價(jià)格Filmetrics 提供一系列的和測繪系統(tǒng)來測量 3nm 到 1mm 的單層、 多層,、 以及單獨(dú)的光刻膠薄膜,。

FSM 413SP

AND FSM 413C2C 紅外干涉測量設(shè)備

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅、藍(lán)寶石,、砷化鎵,、磷化銦、碳化硅,、玻璃,、石  英、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸、深度,、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導(dǎo)體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

FSM413SP半自動(dòng)機(jī)臺(tái)人工取放芯片

Wafer 厚度3D圖形

FSM413C2C Fully

automatic 全自動(dòng)機(jī)臺(tái)人工取放芯片

可適配Cassette、SMIF POD,、FOUP.

F30包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置光斑尺寸10微米的單點(diǎn)測量平臺(tái)FILMeasure 8反射率測量軟件Si 參考材料FILMeasure **軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)

額外的好處：每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃

型號(hào)厚度范圍*波長范圍

F3-s 980:10μm - 1mm  960-1000nm

F3-s1310:15μm - 2mm 1280-1340nm 

F3-s1550:25μm - 3mm 1520-1580nm

*取決于薄膜種類 不同的 F50 儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的,。

    光刻膠）polyerlayers（高分子聚合物層）polymide（聚酰亞胺）polysilicon（多晶硅）amorphoussilicon（非晶硅）基底實(shí)例：對(duì)于厚度測量，大多數(shù)情況下所要求的只是一塊光滑,、反射的基底,。對(duì)于光學(xué)常數(shù)測量，需要一塊平整的鏡面反射基底,；如果基底是透明的,，基底背面需要進(jìn)行處理使之不能反射。包括：silicon（硅）glass（玻璃）aluminum（鋁）gaas（砷化鎵）steel（鋼）polycarbonate（聚碳酸脂）polymerfilms（高分子聚合物膜）應(yīng)用半導(dǎo)體制造液晶顯示器光學(xué)鍍膜photoresist光刻膠oxides氧化物nitrides氮化物cellgaps液晶間隙polyimide聚酰亞胺ito納米銦錫金屬氧化物hardnesscoatings硬鍍膜anti-reflectioncoatings增透鍍膜filters濾光f20使用**仿真活動(dòng)來分析光譜反射率數(shù)據(jù),。標(biāo)準(zhǔn)配置和規(guī)格F20-UVF20F20-NIRF20-EXR只測試厚度1nm~40μm15nm~100μm100nm~250μm15nm~250μm測試厚度和n&k值50nmandup100nmandup300nmandup100nmandup波長范圍200-1100nm380-1100nm950-1700nm380-1700nm準(zhǔn)確度大于％或2nm精度1A2A1A穩(wěn)定性光斑大小20μm至可選樣品大小1mm至300mm及更大探測器類型1250-元素硅陣列512-元素砷化銦鎵1000-元素硅&512-砷化銦鎵陣列光源鎢鹵素?zé)?。F3-s980 是波長為980奈米的版本，是為了針對(duì)成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計(jì),。盒厚測量膜厚儀**樣品測試

以真空鍍膜為設(shè)計(jì)目標(biāo),，F(xiàn)10-RT 只要單擊鼠標(biāo)即可獲得反射和透射光譜。硬涂層膜厚儀研發(fā)可以用嗎

F40 系列將您的顯微鏡變成薄膜測量工具F40 產(chǎn)品系列用于測量小到 1 微米的光斑,。 對(duì)大多數(shù)顯微鏡而言,，F(xiàn)40 能簡單地固定在 c 型轉(zhuǎn)接器上,，這樣的轉(zhuǎn)接器是顯微鏡行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配件。

F40 配備的集成彩色攝像機(jī),，能夠?qū)y量點(diǎn)進(jìn)行準(zhǔn)確監(jiān)控,。 在 1 秒鐘之內(nèi)就能測定厚度和折射率。 像我們所有的臺(tái)式儀器一樣,，F(xiàn)40 需要連接到您裝有 Windows 計(jì)算機(jī)的 USB 端口上并在數(shù)分鐘內(nèi)完成設(shè)定,。

F40：20nm-40μm 400-850nm

F40-EXR：20nm-120μm 400-1700nm

F40-NIR：40nm-120μm 950-1700nm

F40-UV：4nm-40μm 190-1100nm

F40-UVX：4nm-120μm 190-1700nm 硬涂層膜厚儀研發(fā)可以用嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司,。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等，目前不斷進(jìn)行創(chuàng)新和服務(wù)改進(jìn),，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競爭力，努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識(shí),，遵守行業(yè)規(guī)范,，植根于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊,、服務(wù)為榮,、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營理念,，全力打造公司的重點(diǎn)競爭力,。