強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件

美國硅谷研發(fā),、中英文自由切換

光機(jī)電一體化軟硬件集成

三維分析處理迅速,，結(jié)果實(shí)時(shí)更新

縮放,、定位,、平移,、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理

自主設(shè)定測量閾值,，三維處理自動(dòng)標(biāo)注

測量模式可根據(jù)需求自由切換

三維圖像支持高清打印

菜單式參數(shù)設(shè)置,，一鍵式操作,，人機(jī)界面?zhèn)€性直觀

個(gè)性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線升級和遠(yuǎn)程支持服務(wù)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測量,、軟件系統(tǒng)

岱美儀器將為您提供全程的服務(wù),。

輪廓儀的**團(tuán)隊(duì)

夏勇博士,，江蘇省雙創(chuàng)人才

15年ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)

SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人，太陽能在線檢測設(shè)備

唐壽鴻博士,，國家千人****

25年 ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)

KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān)，***圖像處理,、算法**

許衡博士,，軟件系統(tǒng)研發(fā)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,，為您排憂解難,。 輪廓測量儀輪廓儀高性價(jià)比選擇輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）。

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓,、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS、航空航天,、精密加

工,、表面工程技術(shù)、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng)， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,，操作更簡單,，更方便  

NanoX-系列輪廓儀**性客戶

? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 集成電路先進(jìn)封裝和材料：華天科技，通富微電子,，江蘇納佩斯

半導(dǎo)體,，華潤安盛等

? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 中科院蘇州納米所，中科電子46所,，華東光電集成器件等

? 高 效太陽能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 常州億晶光電,，中國臺(tái)灣速位科技、山東衡力新能源等

? 微電子,、FPD,、PCB等產(chǎn)業(yè)

– 三星電機(jī)、京東方,、深圳夏瑞科技等  

具備 Global alignment & Unit alignment

自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

如果有什么問題,，請聯(lián)系我們。

配置Barcode 掃描板邊二維碼，可自動(dòng)識別產(chǎn)品信息,。

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示,；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz,，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動(dòng)識別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時(shí)間,，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題

歡迎咨詢,。 NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um，重復(fù)精度 1um,。重慶輪廓儀

一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,。輪廓儀國內(nèi)用戶

輪廓儀對精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領(lǐng)域同樣如此,，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,，但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃,、集成電路,、汽車零部件、機(jī)器人**器件,、航空航天材料,、****設(shè)備等領(lǐng)域，都需要對加工的成品進(jìn)行檢測,，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度,、面粗糙度等二維,、三維參數(shù)，作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn),。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： 輪廓儀國內(nèi)用戶

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司擁有磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】等多項(xiàng)業(yè)務(wù),，主營業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。一批專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),，是實(shí)現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標(biāo)的基礎(chǔ),，是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力。公司以誠信為本,，業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)，我們本著對客戶負(fù)責(zé),，對員工負(fù)責(zé),，更是對公司發(fā)展負(fù)責(zé)的態(tài)度，爭取做到讓每位客戶滿意,。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù),，我們相信誠實(shí)正直、開拓進(jìn)取地為公司發(fā)展做正確的事情,，將為公司和個(gè)人帶來共同的利益和進(jìn)步,。經(jīng)過幾年的發(fā)展，已成為磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)行業(yè)出名企業(yè),。