Total Thickness Variation (TTV) 應用

規(guī)格:

測量方式:

紅外干涉(非接觸式)

樣本尺寸:

50,、75、100,、200,、300 mm， 也可以訂做客戶需要的產(chǎn)品尺寸

測量厚度:

15 — 780 μm (單探頭)

     3 mm (雙探頭總厚度測量)

掃瞄方式:

半自動及全自動型號,

 另2D/3D掃瞄(Mapping)可選

襯底厚度測量: TTV,、平均值,、*小值、*大值,、公差...

可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS)

重復性:

0.1 μm (1 sigma)單探頭*

  0.8 μm

(1 sigma)雙探頭*

分辨率:

 10 nm

請訪問我們的中文官網(wǎng)了解更多關(guān)于本產(chǎn)品的信息,。

F10-HC輕而易舉而且經(jīng)濟有效地分析單層和多層硬涂層F10-HC 以 Filmetrics F20 平臺為基礎(chǔ),，根據(jù)光譜反射數(shù)據(jù)分析快速提供薄膜測量結(jié)果。 F10-HC 先進的模擬算法是為測量聚碳酸酯和其它單層和多層硬涂層(例如,，底涂/硬涂層)專門設(shè)計的,。

全世界共有數(shù)百臺 F10-HC 儀器在工作，幾乎所有主要汽車硬涂層公司都在使用它們,。

像我們所有的臺式儀器一樣,，F(xiàn)10-HC 可以連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)定。

包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件FILMeasure **軟件 (用于遠程數(shù)據(jù)分析)CP-1-1.3 探頭BK7 參考材料TS-Hardcoat-4um 厚度標準備用燈

額外的好處：應用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 Profilm3D膜厚儀出廠價產(chǎn)品名稱：紅外干涉厚度測量設(shè)備,。

FSM 413SP

AND FSM 413C2C 紅外干涉測量設(shè)備

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍寶石、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅、玻璃,、石  英,、聚合物…………

應用:

   襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸,、深度、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

FSM413SP半自動機臺人工取放芯片

Wafer 厚度3D圖形

FSM413C2C Fully

automatic 全自動機臺人工取放芯片

可適配Cassette,、SMIF POD、FOUP.

    更可加裝至三個探頭,，同時測量三個樣品,，具紫外線區(qū)或標準波長可供選擇。F40:這型號安裝在任何顯微鏡外,，可提供*小5um光點(100倍放大倍數(shù))來測量微小樣品,。F50:這型號配備全自動XY工作臺，由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可,。通過快速掃瞄功能,，可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)。F70:*通過在F20基本平臺上增加鏡頭,，使用Filmetrics*新的顏色編碼厚度測量法（CTM）,，把設(shè)備的測量范圍極大的拓展至。F10-RT：在F20實現(xiàn)反射率跟穿透率的同時測量,，特殊光源設(shè)計特別適用于透明基底樣品的測量,。PARTS：在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70o光源,，特別適用于超薄膜層厚度和n、k值測量,。**膜厚測量儀系統(tǒng)F20使用F20**分光計系統(tǒng)可以簡便快速的測量厚度和光學參數(shù)（n和k）,。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度、折射率和消光系數(shù),。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個桌面系統(tǒng)組裝起來,。F20包括所有測量需要的部件：分光計、光源,、光纖導線,、鏡頭**和Windows下運行的軟件。您需要的只是接上您的電腦,。膜層實例幾乎任何光滑,、半透明、低吸收的膜都能測,。包括：sio2（二氧化硅）sinx（氮化硅）dlc（類金剛石碳）photoresist,。紅外干涉測量技術(shù), 非接觸式測量。

電介質(zhì)成千上萬的電解質(zhì)薄膜被用于光學,，半導體,，以及其它數(shù)十個行業(yè), 而Filmetrics的儀器幾乎可以測量所有的薄膜。 

測量范例氮化硅薄膜作為電介質(zhì),，鈍化層,，或掩膜材料被廣泛應用于半導體產(chǎn)業(yè)。這個案例中,，我們用F20-UVX成功地測量了硅基底上氮化硅薄膜的厚度,，折射率，和消光系數(shù),。有趣的事,，氮化硅薄膜的光學性質(zhì)與薄膜的分子當量緊密相關(guān)。使用Filmetrics專有的氮化硅擴散模型,，F(xiàn)20-UVX可以很容易地測量氮化硅薄膜的厚度和光學性質(zhì),，不管他們是富硅，貧硅,，還是分子當量,。 F40-EXR范圍：20nm-120μm；波長：400-1700nm,。Filmetrics F-HC膜厚儀原理

當測量斑點只有1微米（μm）時,，需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統(tǒng)。廣東膜厚儀國內(nèi)用戶

鏡頭組件Filmetrics 提供幾十種不同鏡頭配置。訂制專門用途 的鏡片一般在幾天之內(nèi)可以完成,。

LA-GL25-25-30-EXR用于 60-1000mm 工作距離的直徑 1" 鏡頭組件,，30mm 焦距鏡頭。KM-GL25用于直徑 1" 鏡頭的簡化動力支架,。 可以在兩個軸上斜向調(diào)節(jié),。 8-32 安裝螺紋。KM-F50用于直徑 0.5" 鏡頭的簡化動力支架,。 還可以用于 F50,。可提供不同的鏡頭組合,。LA-F50/SS-13-20-UVX小光斑 (200um) 選項,，可見光, 近紅外或紫外線,。

如果您想要了解更多的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器。 廣東膜厚儀國內(nèi)用戶

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)作為磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一,，為客戶提供良好的磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)繼續(xù)堅定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路,，既要實現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長,，又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域，實現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,，始終關(guān)注客戶，創(chuàng)新科技,，竭誠為客戶提供良好的服務(wù),。