輪廓儀的性能

測量模式 ：

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺 ：

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素：

標配：1280×960

視場范圍：

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統(tǒng)：

同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

光 源：

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm，1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75％,；重復性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。福建輪廓儀一級代理

輪廓儀的自動拼接功能：

條件： 被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,，使用自動圖片拼接,。  

需要點擊自動拼接， 輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來,。

軟件會自適應(yīng)計算路徑上移動的偏差,，自動消除移動中偏差，減小誤差,。

但是誤差是一定存在的,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

基恩士輪廓儀學校會用嗎每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離,、交點到交點距離,、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度,、凸度,、LG凸度、對數(shù)曲線 ,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測，檢測相應(yīng)的輪廓尺寸,。 NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光。

輪廓儀的功能:

廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進行長度,、高度,、間距、水平距離,、垂直距離,、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量,。測量效率高,、操作簡單、適用于車間檢測站或計量室使用,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

如果您想要了解更多的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。 但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機,。美國輪廓儀價格怎么樣

輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,。福建輪廓儀一級代理

儀器儀表行業(yè)飛速發(fā)展一是因為我國的經(jīng)濟高速穩(wěn)定發(fā)展的運行;按照過去的經(jīng)驗,，如果GDP的增長在10%以上時，儀表行業(yè)的增長率則在26%～30%之間,。二是因為我國宏觀調(diào)控對儀表行業(yè)的影響有一個滯后期,，儀表往往在工程的后期才交付使用，因此,，因宏觀調(diào)控政策而減少的收入對儀表行業(yè)的影響不會太大,。我國現(xiàn)有有限責任公司企業(yè)數(shù)千多家，已經(jīng)形成門類品種比較齊全,，具有一定技術(shù)基礎(chǔ)和生產(chǎn)規(guī)模的產(chǎn)業(yè)體系,。但同時業(yè)內(nèi)行家也指出，雖然我國測試儀器產(chǎn)業(yè)有了一定的發(fā)展,，但遠遠不能滿足國民經(jīng)濟各行各業(yè)日益增長的迫切需求,。伴隨移動互聯(lián)網(wǎng)的爆發(fā)式增長，如今,，它已經(jīng)漸漸取代電子商務(wù)成為了整個互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)增速**快的領(lǐng)域,，而移動終端的入口也隨即成為了傳統(tǒng)行業(yè)的必爭之地。磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)行業(yè)進軍移動互聯(lián)網(wǎng)實現(xiàn)線上發(fā)展勢在必行,。隨著中國的不斷進步,，世界上只有一個救世主——市場，能救企業(yè)的只有你自己——自強，提高其他型重點競爭力才是中國制造業(yè)的獨一出路,。以顯微科學儀器行業(yè)的發(fā)展與變化為例,，以親身的實踐為例，毛磊認為,，隨著經(jīng)濟的不斷發(fā)展,，我國的環(huán)境和實力都發(fā)生了巨大變化，有了完全不同的基礎(chǔ),，這為國產(chǎn)科學儀器走向**增強了信心,。福建輪廓儀一級代理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位，是一家磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)作為磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一,，為客戶提供良好的磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)繼續(xù)堅定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路,，既要實現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長,，又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域，實現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,，始終關(guān)注客戶，創(chuàng)新科技,，竭誠為客戶提供良好的服務(wù),。