EVG ® 101--先進的光刻膠處理系統(tǒng)

主要應用：研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)在單腔設計中執(zhí)行研發(fā)類型的工藝,，與EVG的自動化系統(tǒng)完全兼容。EVG101光刻膠處理機支持**/大300 mm的晶圓,，并可配置用于旋涂或噴涂以及顯影應用,。通過EVG先進的OmniSpray涂層技術(shù)，在互連技術(shù)的3D結(jié)構(gòu)晶圓上獲得了光致光刻膠或聚合物的保形層,。這確保了珍貴的高粘度光刻膠或聚合物的材料消耗降低,，同時提高了均勻性和光刻膠鋪展選擇。這**地節(jié)省了用戶的成本,。

EVG100光刻膠處理系統(tǒng)可以處理多種尺寸的基板,，直徑從2寸到300 mm。浙江光刻機聯(lián)系電話

EVG101光刻膠處理系統(tǒng)的特征：

晶圓尺寸可達300毫米,；

自動旋轉(zhuǎn)或噴涂或通過手動晶圓加載/卸載進行顯影,；

利用成熟的模塊化設計和標準化軟件，快速輕松地將過程從研究轉(zhuǎn)移到生產(chǎn),；

注射器分配系統(tǒng),，用于利用小體積的光刻膠，包括高粘度光刻膠,；

占地面積小,，同時保持較高的人身和流程安全性；

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）。

選項功能：

使用OmniSpray®涂層技術(shù)對高形晶圓表面進行均勻涂層,；

蠟和環(huán)氧涂層,，用于后續(xù)粘合工藝；

玻璃旋涂（SOG）涂層,。

芯片光刻機供應商研發(fā)設備與EVG的**技術(shù)平臺無縫集成，這些平臺涵蓋從研發(fā)到小規(guī)模和大批量生產(chǎn)的整個制造鏈,。

IQ Aligner®NT特征：

零輔助橋接工具-雙基板概念,，支持200

mm和300 mm的生產(chǎn)靈活性

吞吐量> 200 wph（首/次打印）

尖/端對準精度：

頂側(cè)對準低至250 nm

背面對準低至500 nm

寬帶強度> 120 mW /cm2（300毫米晶圓）

完整的明場掩模移動（FCMM）可實現(xiàn)靈活的圖案定位并兼容暗場掩模對準

非接觸式原位掩膜到晶圓接近間隙驗證

超平坦和快速響應的溫度控制晶片卡盤,，出色的跳動補償

手動基板裝載能力

返工分揀晶圓管理和靈活的盒式系統(tǒng)

遠程技術(shù)支持和GEM300兼容性

智能過程控制和數(shù)據(jù)分析功能[Framework Software Platform]

用于過程和機器控制的集成分析功能

設備和過程性能跟/蹤功能

并行/排隊任務處理功能

智能處理功能

發(fā)生和警報分析

智能維護管理和跟/蹤

IQ Aligner®NT自動掩模對準系統(tǒng)

特色：IQ Aligner®在**/高吞吐量NT經(jīng)過優(yōu)化零協(xié)助非接觸式近程處理,。

技術(shù)數(shù)據(jù)：IQ Aligner NT是用于大批量應用的生產(chǎn)力**/高,，技術(shù)**/先進的自動掩模對準系統(tǒng)。該系統(tǒng)具有**/先進的打印間隙控制和零輔助雙尺寸晶圓處理能力,，可完全滿足大批量制造（HVM）的需求,。與EVG的上一代IQ

Aligner系統(tǒng)相比，它的吞吐量提高了2倍,，對準精度提高了2倍,，是所有掩模對準器中**/高的吞吐量。IQ Aligner NT超越了對后端光刻應用**苛刻的要求,，同時與競爭性系統(tǒng)相比,，其掩模成本降低了30％，而競爭系統(tǒng)超出了掩模對準工具所支持的**/高吞吐量,。 新型的EVG120帶有通用和全自動光刻膠處理工具,，能夠處理各種形狀和尺寸達200 mm / 8“的基片。

HERCULES 光刻軌道系統(tǒng)技術(shù)數(shù)據(jù)：

對準方式：

上側(cè)對準：≤±0.5 μm,；

底側(cè)對準：≤±1,0 μm,；

紅外校準：≤±2,0 μm /具體取決于基材

先進的對準功能：

手動對準；

自動對準,；

動態(tài)對準,。

對準偏移校正：

自動交叉校正/手動交叉校正；

大間隙對準,。

工業(yè)自動化功能：盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄,，彎曲，翹曲,，邊緣晶圓處理

曝光源：汞光源/紫外線LED光源

曝光設定：真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式

楔形補償：全自動軟件控制,；非接觸式

曝光選項：

間隔曝光/洪水曝光/扇區(qū)曝光

系統(tǒng)控制

操作系統(tǒng)：Windows

文件共享和備份解決方案/無限制 程序和參數(shù)

多語言用戶GUI和支持：CN，DE,，F(xiàn)R,，IT，JP,，KR

實時遠程訪問,，診斷和故障排除 了解客戶需求和有效的全球支持，這是我們提供優(yōu)先解決方案的重要基礎,。北京光刻機微流控應用

HERCULES以**小的占地面積結(jié)合了EVG精密對準和光刻膠處理系統(tǒng)的所有優(yōu)勢,。浙江光刻機聯(lián)系電話

我們可以根據(jù)您的需求提供進行優(yōu)化的多用途系統(tǒng)。

我們的掩模對準系統(tǒng)設計用于從掩模對準到鍵合對準的快速簡便轉(zhuǎn)換,。此外,，可以使用用于壓印光刻的可選工具集，例如UV-納米壓印光刻,，熱壓印或微接觸印刷,。所有系統(tǒng)均支持原位對準驗證軟件,，以提高手動操作系統(tǒng)的對準精度和可重復性。EVG620 NT / EVG6200 NT可從手動到自動基片處理,，實現(xiàn)現(xiàn)場升級,。此外，所有掩模對準器都支持EVG專有的NIL技術(shù),。如果您需要納米壓印設備,，請訪問我們的官網(wǎng)，或者直接聯(lián)系我們,。 浙江光刻機聯(lián)系電話

岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型的公司。岱美儀器技術(shù)服務致力于為客戶提供良好的磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),，一切以用戶需求為中心,，深受廣大客戶的歡迎。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念,，在儀器儀表深耕多年,，以技術(shù)為先導，以自主產(chǎn)品為重點,，發(fā)揮人才優(yōu)勢,，打造儀器儀表良好品牌。在社會各界的鼎力支持下,，持續(xù)創(chuàng)新,，不斷鑄造***服務體驗，為客戶成功提供堅實有力的支持,。