1.3. 培訓計劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后,，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能,、特點、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識,。

    在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關(guān)人員在進行培訓,。

1.4. 培訓形式

    公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理,、功能、操作及維修保養(yǎng)要點,；

    向受訓學員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料,，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握；

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導,，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng),；

    對學員提出的問題進行詳細解答；

一般三坐標精度都在2-3um左右,。晶圓輪廓儀聯(lián)系電話

一,、從根源保障物件成品的準確性：

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,，**終導致整個生產(chǎn)鏈更大的損失,。

二、提高效率：

智能化檢測,，全自動測量,，檢測時只需將物件放置在載物臺，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),，即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點,，**提高加工效率,。 集成電路輪廓儀服務(wù)為先NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s 。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離、交點到交點距離,、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度,、凸度,、LG凸度、對數(shù)曲線 ,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

輪廓儀的技術(shù)原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復(fù)性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度： ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術(shù)：快速靈活,、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響

以下來自網(wǎng)絡(luò)：

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準,。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。

表面三維評定參數(shù)由于能更***，更真實的反應(yīng)零件表面的特征,。

表面三維輪廓儀對精密加工的作用：

一,、從根源保障物件成品的準確性：

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，**終導致整個生產(chǎn)鏈更大的損失,。

二,、提高效率：

  智能化檢測，全自動測量,，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點，**提高加工效率,。

三,、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D,、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標準，都可以提供***的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度、輪廓度等參數(shù),。

四,、穩(wěn)定性強，高重復(fù)性：

  儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,，不受外部環(huán)境影響測量的準確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合，保證高重復(fù)性,，將測量誤差降低到亞納米級別,。 NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。進口輪廓儀美元報價

擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點,，**提高加工效率。晶圓輪廓儀聯(lián)系電話

輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素

標配：1280×960

視場范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統(tǒng)

同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復(fù)性 ≤0.1%，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  晶圓輪廓儀聯(lián)系電話

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司辦公設(shè)施齊全,，辦公環(huán)境優(yōu)越,，為員工打造良好的辦公環(huán)境。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗,，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能,，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】,，同時還建立了完善的售后服務(wù)體系，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。自公司成立以來,，一直秉承“以質(zhì)量求生存，以信譽求發(fā)展”的經(jīng)營理念,，始終堅持以客戶的需求和滿意為重點,，為客戶提供良好的磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)，從而使公司不斷發(fā)展壯大,。