UV納米壓印光刻

EV Group提供完整的UV納米壓印光刻（UV-NIL）產品線,，包括不同的***積壓印系統(tǒng)，大面積壓印機,，微透鏡成型設備以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL,，EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多種用途的聚合物印模技術,。高 效，強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,，高度均勻的圖案層和**少的殘留層,，并具有易于擴展的晶圓尺寸和產量。EVG的SmartNI技術達到了納米壓印的長期預期,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產微米和納米級結構的高性能,，低成本和具有批量生產能力的技術。

EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,，因為它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術,。高校納米壓印自動化測量

    具體說來就是，MOSFET能夠有效地產生電流流動,，因為標準的半導體制造技術旺旺不能精確控制住摻雜的水平（硅中摻雜以帶來或正或負的電荷）,，以確保跨各組件的通道性能的一致性。通常MOSFET是在一層二氧化硅（SiO2）襯底上,，然后沉積一層金屬或多晶硅制成的,。然而這種方法可以不精確且難以完全掌控，摻雜有時會泄到別的不需要的地方,，那樣就創(chuàng)造出了所謂的“短溝道效應”區(qū)域,，并導致性能下降。一個典型MOSFET不同層級的剖面圖,。不過威斯康星大學麥迪遜分校已經同全美多個合作伙伴攜手（包括密歇根大學,、德克薩斯大學、以及加州大學伯克利分校等）,，開發(fā)出了能夠降低摻雜劑泄露以提升半導體品質的新技術,。研究人員通過電子束光刻工藝在表面上形成定制形狀和塑形，從而帶來更加“物理可控”的生產過程,。（來自網絡,。高校納米壓印分步重復刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學器件制造或EVG的Smart NIL工藝所需的母版。

UV納米壓印光刻系統(tǒng)

EVG®610/EVG®620NT /EVG®6200NT：具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)

■高精度對準臺

■自動楔形誤差補償機制

■電動和程序控制的曝光間隙

■支持***的UV-LED技術

■**小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA：自動化的全場納米壓印解決方案,，適用于第3代基材

■體積驗證的壓印技術,，具有出色的復制保真度

■專有的SmartNIL®技術和多用途聚合物印章技術

■集成式壓印，UV固化,，脫模和工作印模制作

■盒帶間自動處理以及半自動研發(fā)模式

■適用于所有市售壓印材料的開放平臺

EVG ® 620 NT特征：

頂部和底部對準能力

高精度對準臺

自動楔形補償序列

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術

**小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

分步流程指導

遠程技術支持

多用戶概念（無限數量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權限，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和轉換工具

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

EVG ® 620 NT附加功能：

鍵對準

紅外對準

SmartNIL

μ接觸印刷技術數據

晶圓直徑（基板尺寸）

標準光刻：比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL：比較大150毫米的碎片

SmartNIL ®：在100毫米范圍

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：軟UV-NIL＆SmartNIL

®

曝光源：汞光源或紫外線LED光源

對準：

軟NIL：≤±0.5 μm

SmartNIL ®：≤±3微米

自動分離：柔紫外線NIL：不支持,；SmartNIL

®：支持

工作印章制作：柔軟的UV-NIL：外部：SmartNIL ®：支持

納米壓印設備可用來進行熱壓花,、加壓加熱、印章,、聚合物,、基板、附加沖壓成型脫模,。

HERCULES ® NIL完全模塊化和集成SmartNIL ® UV-NIL系統(tǒng)達300毫米

結合EVG的SmartNIL一個完全模塊化平臺®技術支持AR / VR,，3D傳感器，光子和生物技術生產應用

EVG的HERCULES NIL 300 mm是一個完全集成的跟 蹤系統(tǒng),，將清潔,，抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟與EVG專有的SmartNIL大面積納米壓印光刻（NIL）工藝結合在一個平臺上，用于直徑比較大為300 mm的晶圓,。它是***個基于EVG的全模塊化設備平臺和可交換模塊的NIL系統(tǒng),，可為客戶提供比較大的自由度來配置他們的系統(tǒng)，以比較好地滿足其生產需求,，包括200 mm和300 mm晶圓的橋接功能,。

EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng),。三維芯片納米壓印質保期多久

EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術，擁有多年技術,，掌握了NIL,，并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產。高校納米壓印自動化測量

    該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世,。根據客戶的專門需求,，公司對這些聚合物作出調整，使其具備其它特征,。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,，在較短的生產周期時間內粘合各種微小的元件。此外,，DELO紫外線LED固化設備與點膠閥的可靠度十分杰出,。關于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商，總部位于德國慕尼黑附近的Windach,。在美國,、中國、新加坡及日本均設有子公司,。2019財政年,，公司的780名員工創(chuàng)造了。該公司產品在全球范圍內廣泛應用于汽車,、消費類電子產品與工業(yè)電子產品,。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產品。DELO的客戶包括博世,、戴姆勒,、華為、歐司朗,、西門子以及索尼等,。關于EVGroup(EVG)EV集團(EVG)是為生產半導體、微機電系統(tǒng)(MEMS),、化合物半導體,、功率器件以及納米技術器件制造提供設備與工藝解決方案的**供應商。該公司主要產品包括晶圓鍵合,、薄晶圓處理、光刻/納米壓印光刻技術（NIL）與計量設備,，,，以及涂膠機、清洗機與檢測系統(tǒng),。EV集團創(chuàng)辦于1980年,，可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務與支持。高校納米壓印自動化測量

岱美儀器技術服務（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位，交通便利,，環(huán)境優(yōu)美,，是一家其他型企業(yè)。岱美儀器技術服務是一家有限責任公司企業(yè),，一直“以人為本,，服務于社會”的經營理念;“誠守信譽，持續(xù)發(fā)展”的質量方針,。公司業(yè)務涵蓋磁記錄,，半導體，光通訊生產,，測試儀器的批發(fā),，價格合理，品質有保證,，深受廣大客戶的歡迎,。岱美儀器技術服務以創(chuàng)造***產品及服務的理念，打造高指標的服務,，引導行業(yè)的發(fā)展,。