首先準備一塊柔性薄膜作為彈性基底層,，然后將巰基-烯預聚物旋涂在具有表面結構的母板上,，彈性薄膜壓印在巰基-烯層上,，與材料均勻接觸,。巰基-烯材料可以在自然環(huán)境中固化通過“點擊反應”形成交聯(lián)聚合物,，不受氧氣和水的阻聚作用,。順利分離開母板后,，彈性薄膜與固化后的巰基-烯層緊密連接在一起,，獲得雙層結構的復合柔性模板。由于良好的材料特性,，剛性巰基-烯結構層可以實現(xiàn)較高的分辨率,。因此，利用該方法可以制備高 分辨的復合柔性模板,，經(jīng)過表面防粘處理后可以作為軟壓印模板使用,。該研究利用新方法制備了以PDMS和PET為彈性基底的亞100nm線寬的光柵結構復合軟壓印模板。相關研究成果發(fā)表于《納米科技與納米技術雜志》（JournalofNanoscienceandNanotechnology）,。（來自網(wǎng)絡,。納米壓印設備可用來進行熱壓花、加壓加熱,、印章,、聚合物、基板,、附加沖壓成型脫模,。納米壓印有哪些應用

EVG ® 610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng)，從碎片到比較大150毫米,。

該工具支持多種標準光刻工藝,，例如真空，軟,，硬和接近曝光模式,，并且可以選擇背面對準。此外,，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,，以改變用戶需求,，光刻和NIL之間的轉換時間*為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求,，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇,。

低溫納米壓印當?shù)貎r格 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟、高 效的方法,。

EVG ® 510 HE熱壓印系統(tǒng)

應用：高度靈活的熱壓印系統(tǒng),，用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)

EVG510 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。該設備配置有通用壓花室以及真空和接觸力功能,，并管理適用于熱壓印的全部聚合物,。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項，提供了許多用于高質量納米圖案轉印的工藝,。

EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準工藝,，用于光學對準的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應選項

外部浮雕和冷卻站

    納米壓印微影技術可望優(yōu)先導入LCD面板領域原本計劃應用在半導體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(Nano-ImpLithography,；NIL)，現(xiàn)將率先應用在液晶顯示器(LCD)制程中,。NIL為次世代圖樣形成技術,。據(jù)ETNews報導，南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組,，未確認NIL設備實際圖樣形成能力,，直接參訪海外NIL設備廠。該制程研發(fā)小組透露,，若引進相關設備,，將可提升面板性能。并已展開具體供貨協(xié)商,。NIL是以刻印圖樣的壓印機,，像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程。在基板上涂布UV感光液后,，再以壓印機接觸施加壓力，印出面板圖樣,。之后再經(jīng)過蝕刻制程形成圖樣,。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣，不需再另外貼附偏光薄膜,。雖然在面板制程中需增加NIL,、蝕刻制程，但省落偏光膜貼附制程,，可維持同樣的生產(chǎn)成本,。偏光膜會吸收部分光線降低亮度。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,，將不會發(fā)生降低亮度的情況,。通常面板分辨率越高，因配線較多,，較難確保開口率(ApertureRatio),。IQ Aligner UV-NIL是自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)，是用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印的系統(tǒng),。

SmartNIL技術簡介

SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術,，可提供功能強大的下一代光刻技術，幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能,。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,，因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢,，同時保留了可擴展性和易于維護的操作功能,。另外，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當?shù)臅r間。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步,。

EVG?770可用于連續(xù)重復的納米壓印光刻技術,，可進行有效的母版制作。海南納米壓印推薦型號

SmartNIL的主要技術是可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結果,。納米壓印有哪些應用

UV-NIL / SmartNIL 納米壓印系統(tǒng)

EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供完整的產(chǎn)品線,，包括不同的單步壓印系統(tǒng)，大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL,，EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多種用途的聚合物印模技術。高 效,，強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,，高度均勻的圖案層和**少的殘留層，并具有易于調(diào)整的晶圓尺寸和產(chǎn)量,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結構的高性能，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術,。

這個系列的型號包括：EVG®610,；EVG®620NT；EVG®6200NT,；EVG®720,；EVG®7200；EVG®7200LA,；HERCULES®NIL,；EVG®770；IQAligner®,。 納米壓印有哪些應用

岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家其他型類企業(yè),，積極探索行業(yè)發(fā)展，努力實現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新,。公司是一家有限責任公司企業(yè),，以誠信務實的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團隊,、踏實的職工隊伍,，努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品。公司始終堅持客戶需求優(yōu)先的原則,，致力于提供高質量的磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務將以真誠的服務,、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,，為彼此贏得全新的未來,！