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連續(xù)納米壓印有哪些應(yīng)用

來源: 發(fā)布時間:2020-04-14

HERCULES ® NIL特征:

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺,具有多達(dá)八個可交換過程模塊(壓印和預(yù)處理)

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀,,包括3D

適用于高地形(粗糙)表面

*分辨率取決于過程和模板


HERCULES ® NIL技術(shù)數(shù)據(jù):

晶圓直徑(基板尺寸):100至200毫米/ 200和300毫米

解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:SmartNIL ®

曝光源:大功率LED(i線)> 400 mW /cm2

對準(zhǔn):≤±3微米

自動分離:支持的

前處理:提供所有預(yù)處理模塊

迷你環(huán)境和氣候控制:可選的

工作印章制作:支持的


納米壓印設(shè)備可用來進(jìn)行熱壓花,、加壓加熱、印章、聚合物,、基板,、附加沖壓成型脫模。連續(xù)納米壓印有哪些應(yīng)用

IQ Aligner®:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

■用于光學(xué)元件的微成型應(yīng)用

■用于全場納米壓印應(yīng)用

■三個**控制的Z軸,,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),,并在壓模和基材之間實(shí)現(xiàn)出色的楔形補(bǔ)償

■粘合對準(zhǔn)和紫外線粘合功能


紫外線壓印_紫外線固化


印章

防紫外線基材

附加印記壓印納米結(jié)構(gòu)分離印記

用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后,,將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯(lián),。

μ-接觸印刷

軟印章

基板上的材料

領(lǐng)取物料,物料轉(zhuǎn)移,,刪除印章


中芯國際納米壓印可以試用嗎納米壓印設(shè)備哪個好,?預(yù)墨印章可用于將材料以明顯的圖案轉(zhuǎn)移到基材上。

    EV集團(tuán)和肖特攜手合作,,證明300-MM光刻/納米壓印技術(shù)在大體積增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)/混合現(xiàn)實(shí)玻璃制造中已就緒聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics?能力中心開展,,這是一個開放式的光刻/納米壓印(NIL)技術(shù)創(chuàng)新孵化器,,同時也是全球***可及的300-mm光刻/納米壓印技術(shù)線2019年8月28日,,奧地利,圣弗洛里安――微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場晶圓鍵合與光刻設(shè)備**供應(yīng)商EV集團(tuán)(EVG)***宣布,,與特種玻璃和微晶玻璃領(lǐng)域的**技術(shù)集團(tuán)肖特攜手合作,證明300-mm(12英寸)光刻/納米壓?。∟IL)技術(shù)在下一代增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)/混合現(xiàn)實(shí)(AR/MR)頭戴顯示設(shè)備的波導(dǎo)/光導(dǎo)制造中使用的高折射率(HRI)玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒,。此次合作涉及EVG的專有SmartNIL?工藝和SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓,將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics?能力中心進(jìn)行,。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVGSmartNIL技術(shù)進(jìn)行圖案成形的300-mmSCHOTTRealView?玻璃晶圓,。300-mm和200-mmSCHOTTRealView?玻璃基板,裝配在應(yīng)用SmartNIL?UV-NIL技術(shù)的EVG?HERCULES?,。

EVG ® 6200 NT特征:

頂部和底部對準(zhǔn)能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形補(bǔ)償序列

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具

臺式或帶防震花崗巖臺的單機(jī)版


EVG ® 6200 NT附加功能:

鍵對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

智能NIL ®

μ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)

標(biāo)準(zhǔn)光刻:75至200 mm

柔軟的UV-NIL:75至200毫米

SmartNIL ®:**多至150mm

解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:軟UV-NIL&SmartNIL

®


曝光源:汞光源或紫外線LED光源

對準(zhǔn):軟NIL:≤±0.5 μm,;SmartNIL ®:≤±3微米

自動分離:柔紫外線NIL:不支持,;SmartNIL

®:支持


工作印章制作:柔軟的UV-NIL:外部;SmartNIL ®:支持


EV Group能夠提供混合和單片微透鏡成型工藝,。

EVG ® 620 NT特征:

頂部和底部對準(zhǔn)能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形補(bǔ)償序列

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具

臺式或帶防震花崗巖臺的單機(jī)版


EVG ® 620 NT附加功能:

鍵對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

SmartNIL

μ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(基板尺寸)

標(biāo)準(zhǔn)光刻:比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL:比較大150毫米的碎片

SmartNIL ®:在100毫米范圍

解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:軟UV-NIL&SmartNIL

®

曝光源:汞光源或紫外線LED光源

對準(zhǔn):

軟NIL:≤±0.5 μm

SmartNIL ®:≤±3微米

自動分離:柔紫外線NIL:不支持,;SmartNIL

®:支持


工作印章制作:柔軟的UV-NIL:外部:SmartNIL ®:支持


IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。熱壓印納米壓印美元報價

EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻(UV-NIL)產(chǎn)品線,。連續(xù)納米壓印有哪些應(yīng)用

儀器儀表是用以檢出、測量,、觀察,、計算各種物理量、物質(zhì)成分,、物性參數(shù)等的器具或設(shè)備,。真空檢漏儀、壓力表,、測長儀,、顯微鏡、乘法器等均屬于儀器儀表,。近年來,得益于機(jī)械,、冶金,、石化行業(yè)等儀器儀表服務(wù)領(lǐng)域經(jīng)營狀況的好轉(zhuǎn),我國儀器儀表制造業(yè)發(fā)展一路向好,。目前,,磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的產(chǎn)量居世界前列,實(shí)驗(yàn)分析儀器等中產(chǎn)品的市場占比不斷上升,,行業(yè)技術(shù)上總體已達(dá)到的中等國際水平,,少數(shù)產(chǎn)品接近或達(dá)到當(dāng)前較高國際水平。在國民經(jīng)濟(jì)運(yùn)行中,,磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】等設(shè)備是提高勞動生產(chǎn)率的倍增器,,對國民經(jīng)濟(jì)有著巨大的作用和影響力,。美國商業(yè)部地區(qū)技術(shù)和標(biāo)準(zhǔn)研究院(NIST)提出的報告稱:美國90年代儀器儀表工業(yè)產(chǎn)值只占工業(yè)總產(chǎn)值的4%,但它對國民經(jīng)濟(jì)(GNP)的影響面卻達(dá)到66%,。從銷售廣義角度來說,,儀器儀表也可具有自動操控、報警,、信號傳遞和數(shù)據(jù)處理等功能,,例如用于工業(yè)生產(chǎn)過程自動操控中的氣動調(diào)節(jié)儀表,和電動調(diào)節(jié)儀表,,以及集散型儀表操控系統(tǒng)也皆屬于儀器儀表,。連續(xù)納米壓印有哪些應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型公司,。公司自成立以來,,以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個細(xì)節(jié),,公司旗下磁記錄,,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛,。公司從事儀器儀表多年,有著創(chuàng)新的設(shè)計,、強(qiáng)大的技術(shù),,還有一批**的專業(yè)化的隊伍,確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國市場,,依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力,融合前沿的技術(shù)理念,,飛快響應(yīng)客戶的變化需求,。