輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,，儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),，或放大的實(shí)際輪廓曲線，測(cè)量結(jié)果通過(guò)顯示器輸出,，也可由打印機(jī)輸出,。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：

封**ump測(cè)量  

視場(chǎng)：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測(cè)位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz,，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間，避免人工操作帶來(lái)的一致性,，可靠性問(wèn)題

儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。中科院輪廓儀特點(diǎn)

輪廓儀的自動(dòng)拼接功能：

條件： 被測(cè)區(qū)域明顯大于視場(chǎng)的區(qū)域,，使用自動(dòng)圖片拼接,。  

需要點(diǎn)擊自動(dòng)拼接， 輪廓儀會(huì)把移動(dòng)路徑上的拍圖自動(dòng)拼接起來(lái),。

軟件會(huì)自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動(dòng)的偏差,，自動(dòng)消除移動(dòng)中偏差，減小誤差。

但是誤差是一定存在的,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對(duì)各種產(chǎn)品,，不見(jiàn)和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺(tái)階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。  

研究所輪廓儀質(zhì)保期多久配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息。

輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用

藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）

高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,，核探測(cè)

Oled 特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,，表面粗糙度  

外延片表面缺 陷檢測(cè)

硅片外延表面缺 陷檢測(cè)

散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）

生物、醫(yī)藥新技術(shù),，微流控器件

微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,，表面粗糙度

移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開(kāi)發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法，保證了亞納米量級(jí)的測(cè)量精度,；優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),，使每次檢測(cè)時(shí)間壓縮到10秒鐘以內(nèi)，同時(shí)完善的數(shù)據(jù)評(píng)價(jià)系統(tǒng)為用戶評(píng)價(jià)產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便,。

    比較大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,，其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要，更進(jìn)一步減少總體成本,。手動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡,，能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測(cè)量應(yīng)用。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺(tái)類型手動(dòng)或自動(dòng)XY平臺(tái)范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬(wàn)像素)系統(tǒng)尺寸,，寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場(chǎng)xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見(jiàn)的選購(gòu)配件：urionNano30主動(dòng)式防震臺(tái)4微米,，2微米，和100納米多臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn),。LED光源通過(guò)多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光。

輪廓儀的**團(tuán)隊(duì)

夏勇博士,，江蘇省雙創(chuàng)人才

15年ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)

SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人，太陽(yáng)能在線檢測(cè)設(shè)備

唐壽鴻博士,，國(guó)家千人****

25年 ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)

KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān)，***圖像處理,、算法**

許衡博士,，軟件系統(tǒng)研發(fā)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,，為您排憂解難,。 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）。高精密儀器輪廓儀美元價(jià)格

輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。中科院輪廓儀特點(diǎn)

    超納輪廓儀的主設(shè)計(jì)簡(jiǎn)介:

中組部第十一批“****”****,，美國(guó)KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān)，干涉測(cè)量技術(shù)**美國(guó)上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,，創(chuàng)造多項(xiàng)干涉測(cè)量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,，在光測(cè)領(lǐng)域發(fā)表23個(gè)美國(guó)專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個(gè)研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎(jiǎng),，國(guó)家教育部***批公派研究生,83年留學(xué)美國(guó),。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體、微機(jī)電,、納米材料,、生物醫(yī)療、精密涂層,、科研院所,、航空航天等領(lǐng)域?？梢哉f(shuō)只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度,、輪廓等參數(shù)的測(cè)量，除了三維光學(xué)輪廓儀,，沒(méi)有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求,。（網(wǎng)絡(luò)）。 中科院輪廓儀特點(diǎn)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型公司,。公司自成立以來(lái)，以質(zhì)量為發(fā)展,，讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié),，公司旗下磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛(ài)。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì),、強(qiáng)大的技術(shù),，還有一批**的專業(yè)化的隊(duì)伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國(guó)市場(chǎng),，依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力，融合前沿的技術(shù)理念,，飛快響應(yīng)客戶的變化需求,。