NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例

測量種類

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基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸

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基板A Sold Mask粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

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基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

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基板A Trace 3D形貌和尺寸

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基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報警，急停等功能,，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：

邁爾爾遜

1852-1931

美國物理學(xué)家

曾從事光速的精密測量工作  

邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準(zhǔn)。

1881年,，他發(fā)明了一種用以測量微小長度,，折射率和光波波長的干涉儀，邁克爾遜干涉儀,。

他和美國物理學(xué)家莫雷合作,，進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實驗，否定了以太de 存在,，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ),。

由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎,。 NanoScopy輪廓儀用途白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x.

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo),，或放大的實際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示,；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz,，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題

    新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負(fù)擔(dān)*后,，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行,。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI),。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺階高度的測量軟件,。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持,，也包括軟件功能用于形貌分析，如形狀去除和波長過濾,，都包含在基film3D軟件,。對于更進(jìn)階的功能，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù),，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已標(biāo)配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能,。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,，可達(dá)％準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm,，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片,。*大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要。更進(jìn)一步減少總體成本,。輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。（來自網(wǎng)絡(luò)）

先進(jìn)的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗 

所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國,、日本等 

PI ,，納米移動平臺及控制

Nikon，干涉物鏡

NI,，信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進(jìn)水平的計算機軟硬件技術(shù)平臺

VS2012/64位,，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機

物鏡是輪廓儀****的部件， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,。NanoScopy輪廓儀用途

輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展）,，Z向測量范圍比較大可達(dá)10mm。NanoScopy輪廓儀用途

1.5. 系統(tǒng)培訓(xùn)的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟,、硬件的操作手冊,；

    數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口,、連接計算器、等待時間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置,；

    實際演示一一講解,；

    如何做好備份和恢復(fù)備份資料；

    當(dāng)場演示各種報表的操作并進(jìn)行操作解說,；

    數(shù)據(jù)庫文件應(yīng)定時作備份,，大變動時更應(yīng)做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數(shù)據(jù)庫的流失；

    在系統(tǒng)培訓(xùn)過程中如要輸入一些臨時數(shù)據(jù)應(yīng)在培訓(xùn)結(jié)束后及時刪除這些資料,。

    備注：系統(tǒng)培訓(xùn)完成后應(yīng)請顧客詳細(xì)閱讀軟件操作手冊,，并留下公司“客戶服務(wù)中心”的電話與個人名片，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢,。 NanoScopy輪廓儀用途

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表,，以科技創(chuàng)新實現(xiàn)***管理的追求。岱美儀器技術(shù)服務(wù)作為磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一,，為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實的精神和必勝的信念，影響并帶動團(tuán)隊取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表行業(yè),。滿足市場需求,，提高產(chǎn)品價值，是我們前行的力量,。