EVG ® 7200 LA大面積SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統(tǒng)

用于大面積****的共形納米壓印光刻,。

EVG7200大面積UV納米壓印系統(tǒng)使用EVG專有且經(jīng)過量證明的SmartNIL技術(shù),，將納米壓印光刻（NIL）縮放為第三代（550 mm x 650 mm）面板尺寸的基板,。對于不能減小尺寸的顯示器，線柵偏振器,，生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用，至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率,。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟有效的方法,，因為它不受光學(xué)系統(tǒng)的限制，并且可以為**小的結(jié)構(gòu)提供比較好的圖案保真度。

SmartNIL利用非常強大且可控的加工工藝,，提供了低至40 nm *的出色保形壓印結(jié)果,。憑借獨特且經(jīng)過驗證的設(shè)備功能（包括****的易用性）以及高水平的工藝專業(yè)知識，EVG通過將納米壓印提升到一個新的水平來滿足行業(yè)需求,。

*分辨率取決于過程和模板 EVG提供不同的***積壓印系統(tǒng),，大面積壓印機，微透鏡成型設(shè)備以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。青海納米壓印用于生物芯片

    EV集團和肖特攜手合作,，證明300-MM光刻/納米壓印技術(shù)在大體積增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實玻璃制造中已就緒聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics?能力中心開展，這是一個開放式的光刻/納米壓?。∟IL）技術(shù)創(chuàng)新孵化器,，同時也是全球***可及的300-mm光刻/納米壓印技術(shù)線2019年8月28日，奧地利,，圣弗洛里安――微機電系統(tǒng)（MEMS）,、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場晶圓鍵合與光刻設(shè)備**供應(yīng)商EV集團（EVG）***宣布，與特種玻璃和微晶玻璃領(lǐng)域的**技術(shù)集團肖特攜手合作,，證明300-mm（12英寸）光刻/納米壓?。∟IL）技術(shù)在下一代增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實（AR/MR）頭戴顯示設(shè)備的波導(dǎo)/光導(dǎo)制造中使用的高折射率（HRI）玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒。此次合作涉及EVG的專有SmartNIL?工藝和SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓,，將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics?能力中心進行,。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVGSmartNIL技術(shù)進行圖案成形的300-mmSCHOTTRealView?玻璃晶圓。300-mm和200-mmSCHOTTRealView?玻璃基板,，裝配在應(yīng)用SmartNIL?UV-NIL技術(shù)的EVG?HERCULES?,。福建納米壓印服務(wù)為先 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟、高 效的方法,。

EVG ® 520 HE熱壓印系統(tǒng)

特色：經(jīng)通用生產(chǎn)驗證的熱壓印系統(tǒng),，可滿足比較高要求

EVG520 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設(shè)計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經(jīng)過生產(chǎn)驗證的系統(tǒng)可以接受直徑比較大為200 mm的基板,，并且與標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)兼容,。熱壓印系統(tǒng)配置有通用壓花腔室以及高真空和高接觸力功能，并管理適用于熱壓印的整個聚合物范圍,。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,，提供了許多用于高質(zhì)量圖案轉(zhuǎn)印和納米分辨率的工藝。

如果需要詳細(xì)的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。

    首先準(zhǔn)備一塊柔性薄膜作為彈性基底層，然后將巰基-烯預(yù)聚物旋涂在具有表面結(jié)構(gòu)的母板上,，彈性薄膜壓印在巰基-烯層上,，與材料均勻接觸,。巰基-烯材料可以在自然環(huán)境中固化通過“點擊反應(yīng)”形成交聯(lián)聚合物，不受氧氣和水的阻聚作用,。順利分離開母板后,，彈性薄膜與固化后的巰基-烯層緊密連接在一起，獲得雙層結(jié)構(gòu)的復(fù)合柔性模板,。由于良好的材料特性,，剛性巰基-烯結(jié)構(gòu)層可以實現(xiàn)較高的分辨率。因此,，利用該方法可以制備高 分辨的復(fù)合柔性模板,，經(jīng)過表面防粘處理后可以作為軟壓印模板使用。該研究利用新方法制備了以PDMS和PET為彈性基底的亞100nm線寬的光柵結(jié)構(gòu)復(fù)合軟壓印模板,。相關(guān)研究成果發(fā)表于《納米科技與納米技術(shù)雜志》（JournalofNanoscienceandNanotechnology）,。（來自網(wǎng)絡(luò)。SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù),。

IQ Aligner UV-NIL 自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

應(yīng)用：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

IQ Aligner UV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝,，非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復(fù)制的軟性圖章開始,，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝,，可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應(yīng)。此外,，EV Group提供合格的微透鏡成型工藝,，包括所有相關(guān)的材料專業(yè)知識。EV Group專有的卡盤設(shè)計可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力,。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機制,。

SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能，因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量,。掩模對準(zhǔn)納米壓印免稅價格

IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。青海納米壓印用于生物芯片

EVG ® 720自動SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統(tǒng)

自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米，設(shè)有EVG's專有SmartNIL ®技術(shù)

EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和材料專業(yè)知識,，能夠大規(guī)模制造微米和納米級結(jié)構(gòu),。具有SmartNIL技術(shù)的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結(jié)構(gòu)，具有****的吞吐量,，非常適合批量生產(chǎn)下一代微流控和光子器件，例如衍射光學(xué)元件（ DOEs）,。

*分辨率取決于過程和模板

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司辦公設(shè)施齊全，辦公環(huán)境優(yōu)越，為員工打造良好的辦公環(huán)境,。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù),，以誠信、敬業(yè),、進取為宗旨,，以建岱美儀器技術(shù)服務(wù)產(chǎn)品為目標(biāo)，努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè),。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】,，同時還建立了完善的售后服務(wù)體系，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求，也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造***的磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),。