該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世,。根據(jù)客戶的專門需求，公司對這些聚合物作出調(diào)整,，使其具備其它特征。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,，在較短的生產(chǎn)周期時間內(nèi)粘合各種微小的元件,。此外，DELO紫外線LED固化設(shè)備與點膠閥的可靠度十分杰出,。關(guān)于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商,，總部位于德國慕尼黑附近的Windach,。在美國,、中國、新加坡及日本均設(shè)有子公司,。2019財政年,，公司的780名員工創(chuàng)造了。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應(yīng)用于汽車,、消費類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品,。幾乎每一部智能手機(jī)與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品。DELO的客戶包括博世,、戴姆勒,、華為、歐司朗,、西門子以及索尼等,。關(guān)于EVGroup(EVG)EV集團(tuán)(EVG)是為生產(chǎn)半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),、化合物半導(dǎo)體,、功率器件以及納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的**供應(yīng)商。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,、薄晶圓處理,、光刻/納米壓印光刻技術(shù)（NIL）與計量設(shè)備,，，以及涂膠機(jī),、清洗機(jī)與檢測系統(tǒng),。EV集團(tuán)創(chuàng)辦于1980年，可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務(wù)與支持,。SmartNIL集成多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢，同時保留可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的特點,。光刻納米壓印微流控應(yīng)用

IQ Aligner®：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

■用于光學(xué)元件的微成型應(yīng)用

■用于全場納米壓印應(yīng)用

■三個**控制的Z軸,，用于控制壓印光刻膠的總厚度變化（TTV），并在壓模和基材之間實現(xiàn)出色的楔形補(bǔ)償

■粘合對準(zhǔn)和紫外線粘合功能

紫外線壓印_紫外線固化

印章

防紫外線基材

附加印記壓印納米結(jié)構(gòu)分離印記

用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材,。隨后,，將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯(lián)。

μ-接觸印刷

軟印章

基板上的材料

領(lǐng)取物料,，物料轉(zhuǎn)移,，刪除印章

低溫納米壓印技術(shù)服務(wù)IQ Aligner UV-NIL是自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)，是用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印的系統(tǒng),。

EVG ® 770特征：

微透鏡用于晶片級光學(xué)器件的高 效率制造主下降到納米結(jié)構(gòu)為SmartNIL ®

簡單實施不同種類的大師

可變抗蝕劑分配模式

分配,，壓印和脫模過程中的實時圖像

用于壓印和脫模的原位力控制

可選的光學(xué)楔形誤差補(bǔ)償

可選的自動盒帶間處理

EVG ® 770技術(shù)數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）：100至300毫米

解析度：≤50 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：柔軟的UV-NIL

曝光源：大功率LED（i線）> 100 mW /cm2

對準(zhǔn)：頂側(cè)顯微鏡，用于實時重疊校準(zhǔn)≤±500 nm和精細(xì)校準(zhǔn)≤±300 nm

較早印刷模具到模具的放置精度：≤1微米

有效印記區(qū)域：長達(dá)50 x 50毫米

自動分離：支持的

前處理：涂層：液滴分配（可選）

SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術(shù),，可對小于40 nm *的極小特征進(jìn)行圖案化,，并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合,，可實現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本，大批量替代光刻技術(shù),。

*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細(xì)的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。

EVG ® 6200 NT特征：

頂部和底部對準(zhǔn)能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形補(bǔ)償序列

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具

臺式或帶防震花崗巖臺的單機(jī)版

EVG ® 6200 NT附加功能：

鍵對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

智能NIL ®

μ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑（基板尺寸）

標(biāo)準(zhǔn)光刻：75至200 mm

柔軟的UV-NIL：75至200毫米

SmartNIL ®：**多至150mm

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：軟UV-NIL＆SmartNIL

®

曝光源：汞光源或紫外線LED光源

對準(zhǔn)：軟NIL：≤±0.5 μm,；SmartNIL ®：≤±3微米

自動分離：柔紫外線NIL：不支持,；SmartNIL

®：支持

工作印章制作：柔軟的UV-NIL：外部；SmartNIL ®：支持

EVG高達(dá)300 mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設(shè)備支持晶圓級光學(xué)（WLO）的制造,。山西納米壓印美元價

岱美儀器代理的SmartNIL是一項關(guān)鍵的啟用技術(shù),，可用于顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新。光刻納米壓印微流控應(yīng)用

HERCULES ® NIL特征：

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺,，具有多達(dá)八個可交換過程模塊（壓印和預(yù)處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀,，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過程和模板

HERCULES ® NIL技術(shù)數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）：100至200毫米/ 200和300毫米

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：SmartNIL ®

曝光源：大功率LED（i線）> 400 mW /cm2

對準(zhǔn)：≤±3微米

自動分離：支持的

前處理：提供所有預(yù)處理模塊

迷你環(huán)境和氣候控制：可選的

工作印章制作：支持的

光刻納米壓印微流控應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),，一切以用戶需求為中心，深受廣大客戶的歡迎,。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念,，在儀器儀表深耕多年，以技術(shù)為先導(dǎo),，以自主產(chǎn)品為重點,，發(fā)揮人才優(yōu)勢，打造儀器儀表良好品牌,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品,、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽(yù)和口碑,，讓企業(yè)發(fā)展再上新高,。