為了優(yōu)化工藝鏈,，HERCULES NIL中包括多次使用的軟印章的制造,，這是大批量生產(chǎn)的基石，不需要額外的壓印印章制造設(shè)備,。作為一項(xiàng)特殊功能,，該工具可以升級(jí)為具有ISO 3 *功能的微型環(huán)境，以確保比較低的缺 陷率和比較高質(zhì)量的原版復(fù)制,。

通過(guò)為大批量生產(chǎn)提供完整的NIL解決方案,，HERCULES NIL增強(qiáng)了EVG在***積NIL設(shè)備解決方案中的領(lǐng)導(dǎo)地位。

*根據(jù)ISO 14644

HERCULES ® NIL特征：

批量生產(chǎn)**小40 nm *或更小的結(jié)構(gòu)

聯(lián)合預(yù)處理（清潔/涂層/烘烤/寒意）和SmartNIL ®

體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度

全自動(dòng)壓印和受控的低力分離,，可很大程度地重復(fù)使用工作印章

包括工作印章制造能力

高功率光源，固化時(shí)間**快

優(yōu)化的模塊化平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高吞吐量

*分辨率取決于過(guò)程和模板 EVG的SmartNIL技術(shù)是基于紫外線曝光的全場(chǎng)壓印技術(shù),，可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),。步進(jìn)重復(fù)納米壓印應(yīng)用

SmartNIL是一項(xiàng)關(guān)鍵的啟用技術(shù)，可用于顯示器，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新,。例如,，SmartNIL提供了****的全區(qū)域共形壓印，以便滿足面板基板上線柵偏振器的**重要標(biāo)準(zhǔn),。SmartNIL還非常適合對(duì)具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化,，以支持下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備的生產(chǎn)。此外,，SmartNIL的***發(fā)展為制造具有比較高功能,，**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度，這對(duì)于實(shí)現(xiàn)衍射光學(xué)元件（DOE）至關(guān)重要,。

特征：

體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度

專有SmartNIL ®技術(shù)，多使用聚合物印模技術(shù)

經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的分辨率低至40 nm或更小

大面積全場(chǎng)壓印

總擁有成本比較低

在地形上留下印記

對(duì)準(zhǔn)能力

室溫過(guò)程

開放式材料平臺(tái) 北京納米壓印廠家SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù),。

EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用

自動(dòng)化壓花工藝

EVG專有的**對(duì)準(zhǔn)工藝,，用于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項(xiàng)

外部浮雕和冷卻站

EVG ® 510 HE技術(shù)數(shù)據(jù)：

加熱器尺寸：150毫米 ，200毫米

比較大基板尺寸：150毫米,，200毫米

**小基板尺寸：?jiǎn)涡酒?00毫米

比較大接觸力：10,、20、60 kN

比較高溫度：標(biāo)準(zhǔn)：350°C,；可選：550°C

夾盤系統(tǒng)/對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

150毫米加熱器：EVG ® 610,，EVG ® 620，EVG ® 6200

200毫米加熱器：EVG ® 6200,，MBA300,，的Smart View ® NT

真空：

標(biāo)準(zhǔn)：0.1毫巴

可選：0.00001 mbar

SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術(shù)，可對(duì)小于40 nm *的極小特征進(jìn)行圖案化,，并可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化,。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢(shì),，同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長(zhǎng)期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級(jí)和納米級(jí)結(jié)構(gòu)的低成本,，大批量替代光刻技術(shù)。

*分辨率取決于過(guò)程和模板

如果需要詳細(xì)的信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。 EV Group能夠提供混合和單片微透鏡成型工藝。

    納米壓印微影技術(shù)可望優(yōu)先導(dǎo)入LCD面板領(lǐng)域原本計(jì)劃應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(shù)(Nano-ImpLithography,；NIL),，現(xiàn)將率先應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)制程中,。NIL為次世代圖樣形成技術(shù)。據(jù)ETNews報(bào)導(dǎo),，南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組,，未確認(rèn)NIL設(shè)備實(shí)際圖樣形成能力，直接參訪海外NIL設(shè)備廠,。該制程研發(fā)小組透露,，若引進(jìn)相關(guān)設(shè)備，將可提升面板性能,。并已展開具體供貨協(xié)商,。NIL是以刻印圖樣的壓印機(jī)，像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程,。在基板上涂布UV感光液后,，再以壓印機(jī)接觸施加壓力，印出面板圖樣,。之后再經(jīng)過(guò)蝕刻制程形成圖樣,。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣，不需再另外貼附偏光薄膜,。雖然在面板制程中需增加NIL,、蝕刻制程，但省落偏光膜貼附制程,，可維持同樣的生產(chǎn)成本,。偏光膜會(huì)吸收部分光線降低亮度。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,，將不會(huì)發(fā)生降低亮度的情況,。通常面板分辨率越高，因配線較多,，較難確保開口率(ApertureRatio),。EVG620 NT支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,，例如真空,，軟，硬和接近曝光模式,，以及背面對(duì)準(zhǔn)選項(xiàng),。青海納米壓印質(zhì)量怎么樣

**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度，這對(duì)于實(shí)現(xiàn)衍射光學(xué)元件（DOE）至關(guān)重要,。步進(jìn)重復(fù)納米壓印應(yīng)用

納米壓印應(yīng)用三：連續(xù)性UV納米壓印

EVG770是用于步進(jìn)重復(fù)納米壓印光刻的通用平臺(tái),，可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化。這種方法允許從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板,。與鉆石車削或直接寫入方法相結(jié)合,，分步重復(fù)刻印通常用于高 效地制造晶圓級(jí)光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版,。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí),。我們?cè)敢馀c您共同進(jìn)步。

步進(jìn)重復(fù)納米壓印應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(guó)(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,，是一家磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司,。公司自創(chuàng)立以來(lái)，投身于磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā),，是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念，影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,，始終關(guān)注客戶，創(chuàng)新科技,，竭誠(chéng)為客戶提供良好的服務(wù),。