我們應該如何正確使用輪廓儀？
一,、準備工作
1.測量前準備,。
2.開啟電腦、打開機器電源開關,、檢查機器啟動是否正常,。
3.擦凈工件被測表面。
二,、測量
1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。
2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)
3.在儀器上設置所需的測量條件,。
4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產生,。
5.測量完畢,，根據圖紙對結果進行分析，標出結果,，并保存,、打印。
自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm,。集成電路輪廓儀現(xiàn)場服務
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設置,，一鍵式操作，自動數據存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng),，數據可導入SPC
? 具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度 **快
表面三維微觀形貌測量的意義
在生產中,，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有**直接的影響,，而且表面三維評定參數由于能更***，更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質量的優(yōu)劣，進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工,，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質量的表面，確保零件使用功能的實現(xiàn),。
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通常可分為接觸時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主,。
計量院輪廓儀技術服務儀器運用高性能內部抗震設計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性,。
輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度,。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓,。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先,，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度，而小坎通常無法很標準(見圖),。這樣,，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術,，不需要任何樣本準備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網,。
NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數
3D測量主要技術指標（1）：
測量模式： PSI + VSI + CSI
Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配）
10mm 精密電機拓展掃描
CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配）
干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )
物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)
Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦
照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）
傾斜調節(jié)： ±5°電動調節(jié)
橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關）
3D測量主要技術指標（2）：
垂直掃描速度： PSI : <10s,，VSI/CSI：< 38um/s
高度測量范圍： 0.1nm – 10mm
表面反射率： > 0.5%
測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm
準確度 < 1nm
RMS重復性 < 0.01nm (1σ)
臺階高重復性：0.15nm(1σ)
VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm
準確度<1%
重復性<0.1% (1σ，10um臺階高) 一般三坐標精度都在2-3um左右,。
輪廓儀的性能
測量模式
移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）
樣 品 臺
150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）
XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機像素
標配：1280×960
視場范圍
560×750um（10×物鏡）
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機
光學系統(tǒng)
同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,，拓展達 10mm )
縱向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重復性* 0.005nm，1σ
臺階測量** 準確度 ≤0.75％,；重復性 ≤0.1%,，1σ
橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 表面三維評定參數由于能更***，更真實的反應零件表面的特征,?；裘窢栞喞獌x試用
輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。集成電路輪廓儀現(xiàn)場服務
一,、從根源保障物件成品的準確性：
通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數，**提高物件在生產加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”,，造成下游生產加工的更大偏離，**終導致整個生產鏈更大的損失。
二,、提高效率：
智能化檢測,，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關參數,，即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點，**提高加工效率,。 集成電路輪廓儀現(xiàn)場服務
岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家磁記錄,、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易,、轉口貿易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,，經相關部門批準后方可開展經營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易,、轉口貿易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經批準的項目,，經相關部門批準后方可開展經營活動】的公司,，致力于發(fā)展為創(chuàng)新務實、誠實可信的企業(yè),。岱美儀器技術服務深耕行業(yè)多年,，始終以客戶的需求為向導，為客戶提供***的磁記錄,，半導體,，光通訊生產，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務不斷開拓創(chuàng)新,，追求出色，以技術為先導，以產品為平臺,，以應用為重點,，以服務為保證，不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,，提供更優(yōu)服務,。岱美儀器技術服務創(chuàng)始人陳玲玲，始終關注客戶,，創(chuàng)新科技,，竭誠為客戶提供良好的服務。