IQ Aligner UV-NIL 自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

應用：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

IQ Aligner UV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝,，非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡,。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝,，可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應,。此外，EV Group提供合格的微透鏡成型工藝,，包括所有相關的材料專業(yè)知識,。EV Group專有的卡盤設計可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機制,。

EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術,，擁有多年技術，掌握了NIL,，并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。陜西納米壓印芯片堆疊應用

納米壓印應用二：面板尺寸的大面積納米壓印

EVG專有的且經(jīng)過大量證明的SmartNIL技術的***進展，已使納米圖案能夠在面板尺寸比較大為Gen 3（550 mm x 650 mm）的基板上實現(xiàn),。對于不能減小尺寸的顯示器,，線柵偏振器，生物技術和光子元件等應用,，至關重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率,。 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟,、高 效的方法，因為它不受光學系統(tǒng)的限制,，并且可以為**小的結構提供比較好的圖案保真度,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關知識,。

EVG770納米壓印現(xiàn)場服務EVG ? 7200 LA是大面積SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。

EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準工藝,，用于光學對準的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應選項

外部浮雕和冷卻站

EVG ® 510 HE技術數(shù)據(jù)：

加熱器尺寸：150毫米 ,，200毫米

比較大基板尺寸：150毫米，200毫米

**小基板尺寸：單芯片,，100毫米

比較大接觸力：10,、20、60 kN

比較高溫度：標準：350°C,；可選：550°C

夾盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)

150毫米加熱器：EVG ® 610,，EVG ® 620，EVG ® 6200

200毫米加熱器：EVG ® 6200,，MBA300,，的Smart View ® NT

真空：

標準：0.1毫巴

可選：0.00001 mbar

EVG ® 620 NT是智能NIL ® UV納米壓印光刻系統(tǒng)。

用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術,，在100毫米范圍內(nèi),。

EVG620 NT以其靈活性和可靠性而聞名，它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術,。操作員友好型軟件,，**短的掩模和模具更換時間以及有效的全球服務支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,，例如真空,，軟，硬和接近曝光模式,，以及背面對準選項,。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準和納米壓印光刻,。此外，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術,。

納米壓印設備哪個好,？預墨印章可用于將材料以明顯的圖案轉移到基材上。

    NIL系統(tǒng)肖特增強現(xiàn)實負責人RuedigerSprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到300-mm，對于實現(xiàn)我們客戶滿足當今和未來**AR/MR設備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經(jīng)濟產(chǎn)量來說至關重要,。通過攜手合作,，EVG和肖特彰顯了當今300-mm高折射率玻璃制造的設備和供應鏈的就緒性?！痹诖酥?，使用光刻/納米壓印技術對具有光子學應用結構的玻璃基板進行圖案成形***于200-mm基板。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設備推向大眾消費和工業(yè)市場邁出的重要一步,。不過,，在這些較大的基板上保持高基板質(zhì)量和工藝均勻性是很難控制的，需要先進的自動化和工藝控制能力,。EVG的SmartNIL技術得益于多年的研究,、開發(fā)和實驗，旨在滿足納米圖案成形的需求,，經(jīng)過了現(xiàn)場驗證,，能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴展到大面積基板。去年六月,，EVG推出了HERCULES?NIL300mm,，將SmartNIL引入300-mm制造，滿足各種設備和應用的生產(chǎn)需求,，其中包括AR,、MR和虛擬現(xiàn)實（VR）頭戴顯示設備的光學器件以及3D傳感器、生物醫(yī)療設備,、納米光子學和等離子電子學,。集成到SmartNIL?UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG?HERCULES?。EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,，能夠輕松地適應各種材料組合，以用于工作印模和微透鏡材料,。中科院納米壓印廠家

岱美儀器代理的SmartNIL是一項關鍵的啟用技術,，可用于顯示器，生物技術和光子應用中的許多新創(chuàng)新,。陜西納米壓印芯片堆疊應用

    面板廠為補償較低的開口率,，多運用在背光模塊搭載較多LED的技術，但此作法的缺點是用電量較高,。若運用NIL制程,，可確保適當?shù)拈_口率，降低用電量,。利用一般曝光設備也可在玻璃基板上形成偏光膜,。然8代曝光設備一次可形成的圖樣面積較小。若要制造55吋面板，需要經(jīng)過數(shù)十次的曝光制程,。不僅制程時間長,，經(jīng)過多次曝光后，在圖樣間會形成細微的縫隙,，無法完整顯示影像,。若將NIL技術應用在5代設備，可一次形成55吋,、60吋面板的偏光膜圖樣,。在8代基板可制造6片55吋面板，6次的壓印接觸可處理完1片8代基板,。南韓業(yè)者表示,，在玻璃基板上形成偏光圖樣以提升質(zhì)量的生產(chǎn)制程，是LCD領域中***一個創(chuàng)新任務,。若加速NIL制程導入LCD生產(chǎn)的時程,，偏光膜企業(yè)的營收可能減少。（來自網(wǎng)絡,。陜西納米壓印芯片堆疊應用

岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿(mào)易,、轉口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司,，致力于發(fā)展為創(chuàng)新務實、誠實可信的企業(yè),。岱美儀器技術服務深耕行業(yè)多年,，始終以客戶的需求為向導,，為客戶提供***的磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術服務不斷開拓創(chuàng)新,，追求出色,，以技術為先導，以產(chǎn)品為平臺,，以應用為重點,，以服務為保證，不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,，提供更優(yōu)服務,。岱美儀器技術服務創(chuàng)始人陳玲玲，始終關注客戶,，創(chuàng)新科技,，竭誠為客戶提供良好的服務。