SmartNIL是一項(xiàng)關(guān)鍵的啟用技術(shù),，可用于顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新。例如,，SmartNIL提供了****的全區(qū)域共形壓印,，以便滿足面板基板上線柵偏振器的**重要標(biāo)準(zhǔn),。SmartNIL還非常適合對(duì)具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化，以支持下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備的生產(chǎn),。此外,，SmartNIL的***發(fā)展為制造具有比較高功能，**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度,，這對(duì)于實(shí)現(xiàn)衍射光學(xué)元件（DOE）至關(guān)重要,。

特征：

體積驗(yàn)證的壓印技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度

專有SmartNIL ®技術(shù),，多使用聚合物印模技術(shù)

經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的分辨率低至40 nm或更小

大面積全場(chǎng)壓印

總擁有成本比較低

在地形上留下印記

對(duì)準(zhǔn)能力

室溫過程

開放式材料平臺(tái) EVG的納米壓印設(shè)備括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機(jī)以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng)。半導(dǎo)體納米壓印特點(diǎn)

    該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世,。根據(jù)客戶的專門需求,，公司對(duì)這些聚合物作出調(diào)整，使其具備其它特征,。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,，在較短的生產(chǎn)周期時(shí)間內(nèi)粘合各種微小的元件。此外,，DELO紫外線LED固化設(shè)備與點(diǎn)膠閥的可靠度十分杰出。關(guān)于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商,，總部位于德國慕尼黑附近的Windach,。在美國、中國,、新加坡及日本均設(shè)有子公司,。2019財(cái)政年，公司的780名員工創(chuàng)造了,。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應(yīng)用于汽車,、消費(fèi)類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品。幾乎每一部智能手機(jī)與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品。DELO的客戶包括博世,、戴姆勒,、華為、歐司朗,、西門子以及索尼等,。關(guān)于EVGroup(EVG)EV集團(tuán)(EVG)是為生產(chǎn)半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),、化合物半導(dǎo)體,、功率器件以及納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的**供應(yīng)商。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,、薄晶圓處理,、光刻/納米壓印光刻技術(shù)（NIL）與計(jì)量設(shè)備，,，以及涂膠機(jī),、清洗機(jī)與檢測(cè)系統(tǒng)。EV集團(tuán)創(chuàng)辦于1980年,，可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務(wù)與支持,。光學(xué)鏡頭納米壓印現(xiàn)場(chǎng)服務(wù) NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟(jì)、高 效的方法,。

IQ Aligner UV-NIL 自動(dòng)化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

應(yīng)用：用于晶圓級(jí)透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

IQ Aligner UV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進(jìn)行微成型和納米壓印工藝,，非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復(fù)制的軟性圖章開始,，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝,，可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應(yīng)。此外,，EV Group提供合格的微透鏡成型工藝,，包括所有相關(guān)的材料專業(yè)知識(shí)。EV Group專有的卡盤設(shè)計(jì)可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力,。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機(jī)制,。

    在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心，雙方合作研發(fā)用于制造光學(xué)傳感器的新材料,，以及適用于大眾化市場(chǎng)的晶圓級(jí)光學(xué)元件,。（奧地利）與WINDACH（德國），2019年11月27日――EV集團(tuán)(EVG)這一全球**的為微機(jī)電系統(tǒng),、納米技術(shù)與半導(dǎo)體市場(chǎng)提供晶圓鍵合與光刻設(shè)備的供應(yīng)商,，***宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級(jí)光學(xué)元件(WLO)領(lǐng)域開展合作。這兩家公司均在光學(xué)傳感器制造領(lǐng)域處于**地位,。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設(shè)備與DELO先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料,，在工業(yè),，汽車，消費(fèi)類電子產(chǎn)品市場(chǎng)開發(fā)與應(yīng)用新型光學(xué)設(shè)備,，例如生物特征身份認(rèn)證,，面部識(shí)別。目前雙方正在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心（位于EVG總部,，奧地利Florian）以及DELO在德國Windach的總部展開合作,。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應(yīng)鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器,，旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設(shè)備與應(yīng)用的研發(fā)與推廣周期,。該中心的基礎(chǔ)設(shè)施包括**技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設(shè)備，例如分步重復(fù)母版,，透鏡模制,，以及EVG的SmartNIL?技術(shù)，晶圓鍵合與必要的測(cè)量設(shè)備,。EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻（UV-NIL）產(chǎn)品線,。

    其中包括家用電器、醫(yī)藥,、電子,、光學(xué)、生命科學(xué),、汽車和航空業(yè),。肖特在全球34個(gè)國家和地區(qū)設(shè)有生產(chǎn)基地和銷售辦事處。公司目前擁有員工超過15500名,，2017/2018財(cái)年的銷售額為,。總部位于德國美因茨的母公司SCHOTTAG由卡爾蔡司基金會(huì)（CarlZeissFoundation）全資擁有,?？柌趟净饡?huì)是德國歷史**悠久的私立基金會(huì)之一，同時(shí)也是德國規(guī)模比較大的科學(xué)促進(jìn)基金會(huì)之一,。作為一家基金公司,，肖特對(duì)其員工，社會(huì)和環(huán)境負(fù)有特殊責(zé)任,。關(guān)于EV集團(tuán)（EVG）EV集團(tuán)（EVG）是為半導(dǎo)體,、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、化合物半導(dǎo)體,、功率器件和納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的**供應(yīng)商。其主要產(chǎn)品包括：晶圓鍵合,、薄晶圓處理,、光刻/納米壓?。∟IL）與計(jì)量設(shè)備，以及涂膠機(jī),、清洗機(jī)和檢測(cè)系統(tǒng),。EV集團(tuán)成立于1980年，可為遍及全球的眾多客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)提供各類服務(wù)與支持,。SmartNIL,，NILPhotonics及EVGroup標(biāo)識(shí)是EVGroup的注冊(cè)商標(biāo),SCHOTTRealView?是SCHOTT的注冊(cè)商標(biāo)。（來自網(wǎng)絡(luò),。EVG770是用于步進(jìn)重復(fù)納米壓印光刻的通用平臺(tái),，可用于進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化。光刻納米壓印用途是什么

SmartNIL技術(shù)可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。半導(dǎo)體納米壓印特點(diǎn)

曲面基底上的納米結(jié)構(gòu)在許多領(lǐng)域都有著重要應(yīng)用，例如仿生學(xué),、柔性電子學(xué)和光學(xué)器件等,。傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)通常采用剛性模板，可以實(shí)現(xiàn)亞10nm的分辨率,，但是模板不能彎折,，無法在曲面基底上壓印制備納米結(jié)構(gòu)。而采用彈性模板的軟壓印技術(shù)可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,，實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)在非平面基底上的壓印復(fù)制,，但是由于彈性模板的楊氏模量較低，所以壓印結(jié)構(gòu)的分辨率和精度都受到限制,?；谀壳凹{米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀，結(jié)合傳統(tǒng)的納米壓印技術(shù)和軟壓印技術(shù),，中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所團(tuán)隊(duì)發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復(fù)合軟壓印模板的制備方法,，該模板包含剛性結(jié)構(gòu)層和彈性基底層。（來自網(wǎng)絡(luò),，侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系我們進(jìn)行刪除,，謝謝！） 半導(dǎo)體納米壓印特點(diǎn)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,，擁有一支專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn)，熟悉行業(yè)專業(yè)知識(shí)技能,，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌,。公司堅(jiān)持以客戶為中心、磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】市場(chǎng)為導(dǎo)向，重信譽(yù),，保質(zhì)量,，想客戶之所想，急用戶之所急,，全力以赴滿足客戶的一切需要,。自公司成立以來，一直秉承“以質(zhì)量求生存,，以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營理念,，始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn)，為客戶提供良好的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā),，從而使公司不斷發(fā)展壯大,。