NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 ：

? XY比較大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸

? XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um,，重復精度

1um

? XY 平臺比較大移動速度：200mm/s

? Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進

? 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空臺面

? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動識別產品信息

? 主設備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm

如果想要了解更加詳細的產品信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。 粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量,。三維輪廓儀有誰在用

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像,，

多層垂直掃描

比較好高度測量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點掃描合成面成像，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定,，1um精度@10倍

90萬-130萬

三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速,、重復性高,、高 分辨率的三維測量,，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度,，給MEMS,、半導體材料、太陽能電池,、醫(yī)療工程,、制藥、生物材料,，光學元件,、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產提供了一個精確的、價格合理的計量方案,。（來自網絡） 臺積電輪廓儀報價配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動識別產品信息。

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉換成電信號,，該電信號經放大和處理，再轉換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線,，測量結果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出。（來自網絡）

輪廓儀在集成電路的應用：

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示,；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz，…

器件多層結構臺階高  MEMS 器件多層結構分析,、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠實現(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題

輪廓儀在集成電路的應用

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz,，…

器件多層結構臺階高  MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠實現(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題

歡迎咨詢,。 NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s 。

三,、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標準,，都可以提供***的檢測結果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。

四,、穩(wěn)定性強,，高重復性：

  儀器運用高性能內部抗震設計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合,，保證高重復性，將測量誤差降低到亞納米級別,。

 三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備,，它既保障了生產加工的準確性，又提高了成品的出產效率,，滿足用戶對各項2D,，3D參數(shù)檢測需求的同時,，依然能夠保持高重復性，高穩(wěn)定性的運行,，其對精密加工所產生的的作用是舉足輕重的,。 幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）。ADE輪廓儀出廠價

具備異常報警,，急停等功能,，報警信息可儲存。三維輪廓儀有誰在用

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,，典型結果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺階高度，錐角等）

幾何特征（關鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結構尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,，檢測相應的輪廓尺寸。 三維輪廓儀有誰在用

岱美儀器技術服務（上海）有限公司主要經營范圍是儀器儀表,，擁有一支專業(yè)技術團隊和良好的市場口碑,。公司業(yè)務分為磁記錄，半導體,，光通訊生產,，測試儀器的批發(fā)等，目前不斷進行創(chuàng)新和服務改進,，為客戶提供良好的產品和服務,。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設計,、強大的技術,，還有一批**的專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產品及服務,。岱美儀器技術服務秉承“客戶為尊,、服務為榮、創(chuàng)意為先,、技術為實”的經營理念,，全力打造公司的重點競爭力。