銦錫氧化物與透明導(dǎo)電氧化物液晶顯示器,，有機(jī)發(fā)光二極管變異體,，以及絕大多數(shù)平面顯示器技術(shù)都依靠透明導(dǎo)電氧化物 (TCO) 來傳輸電流，并作每個發(fā)光元素的陽極,。 和任何薄膜工藝一樣,，了解組成顯示器各層物質(zhì)的厚度至關(guān)重要。 對于液晶顯示器而言,，就需要有測量聚酰亞胺和液晶層厚度的方法,，對有機(jī)發(fā)光二極管而言，則需要測量發(fā)光,、電注入和封裝層的厚度,。

在測量任何多個層次的時候，諸如光譜反射率和橢偏儀之類的光學(xué)技術(shù)需要測量或建模估算每一個層次的厚度和光學(xué)常數(shù) (反射率和 k 值),。

不幸的是,，使得氧化銦錫和其他透明導(dǎo)電氧化物在顯示器有用的特性，同樣使這些薄膜層難以測量和建模,，從而使測量在它們之上的任何物質(zhì)變得困難,。Filmetrics 的氧化銦錫解決方案Filmetrics 已經(jīng)開發(fā)出簡便易行而經(jīng)濟(jì)有效的方法，利用光譜反射率精確測量氧化銦錫,。 將新型的氧化銦錫模式和 F20-EXR, 很寬的 400-1700nm 波長相結(jié)合,，從而實現(xiàn)氧化銦錫可靠的“一鍵”分析。 氧化銦錫層的特性一旦得到確定,，剩余顯示層分析的關(guān)鍵就解決了,。

F50 系列

包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置光纖電纜4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)BK7 參考材料整平濾波器 (用于高反射基板)真空泵備用燈

型號 厚度范圍*波長范圍

F50：20nm-70μm 380-1050nm

F50-UV：5nm-40μm 190-1100nm

F50-NIR：100nm-250μm 950-1700nm

F50-EXR：20nm-250μm 380-1700nm

F50-UVX：5nm-250μm 190-1700nm

F50-XT：0.2μm-450μm 1440-1690nm

F50-s980：4μm-1mm 960-1000nm

F50-s1310：7μm-2mm 1280-1340nm

F50-s1550：10μm-3mm 1520-1580nm

額外的好處：每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 液晶顯示膜厚儀24小時在線服務(wù)應(yīng)用：襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響),，平整度,。

技術(shù)介紹：

紅外干涉測量技術(shù), 非接觸式測量。采用Michaelson干涉方法,，紅外波段的激光能更好的穿透被測物體,，準(zhǔn)確的得到測試結(jié)果。

產(chǎn)品簡介：FSM 413EC 紅外干涉測量設(shè)備

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍(lán)寶石,、砷化鎵、磷化銦,、碳化硅,、玻璃、石  英,、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度   

溝槽深度

   過孔尺寸,、深度,、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

硅片厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度、側(cè)壁角度...

FSM 413 紅外干涉測量設(shè)備

關(guān)鍵詞：厚度測量,，光學(xué)測厚,，非接觸式厚度測量，硅片厚度,，氮化硅厚度,，激光測厚，近紅外光測厚,，TSV, CD, Trench,，砷化鎵厚度，磷化銦厚度,，玻璃厚度測量,，石英厚度，聚合物厚度, 背磨厚度,，上下兩個測試頭,。Michaelson干涉法,，翹曲變形。    

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,，可以給我留言,！

產(chǎn)品名稱：紅外干涉厚度測量設(shè)備

·       產(chǎn)品型號：FSM 413EC, FSM 413MOT，F(xiàn)SM 413SA DP,，F(xiàn)SM413C2C, FSM 8108 VITE C2C

如果您需要更多的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器。 F50-s980測厚范圍：4μm-1mm,；波長：960-1000nm,。

    其可測量薄膜厚度在1nm到1mm之間，測量精度高達(dá)1埃,，測量穩(wěn)定性高達(dá),，測量時間只需一到二秒,并有手動及自動機(jī)型可選?？蓱?yīng)用領(lǐng)域包括：生物醫(yī)學(xué)（Biomedical）,液晶顯示(Displays),硬涂層(Hardcoats),金屬膜(Metal),眼鏡涂層(Ophthalmic),聚對二甲笨(Parylene),電路板(PCBs&PWBs),多孔硅(PorousSilicon),光阻材料(ThickResist),半導(dǎo)體材料(Semiconductors),太陽光伏(Solarphotovoltaics),真空鍍層(VacuumCoatings),圈筒檢查(Webinspectionapplications)等,。通過Filmetrics膜厚測量儀*新反射式光譜測量技術(shù),*多4層透明薄膜厚度、n,、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測得,。其應(yīng)用***，例如:半導(dǎo)體工業(yè):光阻,、氧化物,、氮化物。LCD工業(yè):間距(cellgaps),，ito電極,、polyimide保護(hù)膜。光電鍍膜應(yīng)用:硬化鍍膜,、抗反射鍍膜,、過濾片。極易操作,、快速,、準(zhǔn)確、機(jī)身輕巧及價格便宜為其主要優(yōu)點(diǎn),，F(xiàn)ilmetrics提供以下型號以供選擇:F20:這簡單入門型號有三種不同波長選擇(由220nm紫外線區(qū)至1700nm近紅外線區(qū))為任意攜帶型,，可以實現(xiàn)反射、膜厚,、n,、k值測量。F30:這型號可安裝在任何真空鍍膜機(jī)腔體外的窗口?？蓪崟r監(jiān)控長晶速度,、實時提供膜厚、n,、k值,。并可切定某一波長或固定測量時間間距。F50測厚范圍：20nm-70μm,；波長：380-1050nm。臺積電膜厚儀質(zhì)保期多久

F20-XT膜厚范圍：0.2μm - 450μm,；波長：1440-1690nm,。Filmetrics F32膜厚儀半導(dǎo)體行業(yè)

測量眼科設(shè)備涂層厚度光譜反射率可用于測量眼鏡片減反射 (AR) 光譜和殘余顏色，以及硬涂層和疏水層的厚度,。

減反涂層減反涂層用來減少眩光以及無涂層鏡片導(dǎo)致的眼睛疲勞,。 減反鏡片的藍(lán)綠色彩也吸引了眾多消費(fèi)者。 因此,，測量和控制減反涂層及其色彩就變得越來越重要了,。

FilmetricsF10-AR是專門為各類眼鏡片設(shè)計的，配備多種獨(dú)特功能用于減反涂層檢測,。硬涂層硬涂層用來增加抗劃痕和抗紫外線的能力,。 在鏡片上涂抹硬涂層，就提供了這種保護(hù),，而減反涂層則是不太柔軟的較硬鍍層,。

FilmetricsF10-AR配備了硬涂層測量升級軟件。 可以測量厚達(dá)15微米的一層或兩層硬涂層,。疏水層疏水涂層使減反鏡片具有對水和油排斥的屬性,，使它們易于清潔。 這些涂層都是特別薄的 – 只有一百個原子的數(shù)量級 – 因此需要短波 (紫外線) 光來精確測量,。 測量疏水層厚度的比較好儀器就是配備了UPG-F10-AR-d 和UPG-F10-RT-nk 升級軟件的 F10-AR-UV,。鏡片的穿透率測量F10-AR可選購SS-Trans-Curved樣品臺用于測量鏡片的穿透率。

Filmetrics F32膜厚儀半導(dǎo)體行業(yè)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表,，擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊和良好的市場口碑,。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等，目前不斷進(jìn)行創(chuàng)新和服務(wù)改進(jìn),，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計,、強(qiáng)大的技術(shù),，還有一批**的專業(yè)化的隊伍,，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。在社會各界的鼎力支持下,，持續(xù)創(chuàng)新,，不斷鑄造***服務(wù)體驗，為客戶成功提供堅實有力的支持,。