NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報警，急停等功能,，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

表面三維微觀形貌測量的意義

在生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有**直接的影響，而且表面三維評定參數(shù)由于能更***,，更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,，進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,，確保零件使用功能的實現(xiàn),。

表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主。

但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。山東聯(lián)電輪廓儀

關(guān)于三坐標(biāo)測量輪廓度及粗糙度

  三坐標(biāo)測量機是不能測量粗糙度的,，至于測量零件的表面輪廓 ,，要視三坐標(biāo)的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標(biāo)測量機精度比較高,，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標(biāo)來代替的,。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi),，還有就是三坐標(biāo)可以測量大尺寸零件的輪廓,，因為它有龍門式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。 晶圓輪廓儀出廠價粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺階高度，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×,， 還有2.5×，5×,，20×,，50×，100×,，可選,。  

不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。

    filmOnline查film3D圖像並與其互動.請參考我們新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負擔(dān)***,，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今比較高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI),。索取技術(shù)資料索取報價這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量,。在數(shù)秒內(nèi),，您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù),。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。***!**的網(wǎng)路3D影像瀏覽/分析filmOnline可存儲,、共享,、查看與分析來自您的光學(xué)輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺式電腦,，平板電腦或智能手機上都能查看和操作,。享受***的圖像分析功能，包括表面輪廓（粗糙度）和階高 分析,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,？每film3D都已標(biāo)配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,，可達％準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片,。NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光。

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo),，或放大的實際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示,；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz,，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題

表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主。晶圓輪廓儀可以免稅嗎

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,。山東聯(lián)電輪廓儀

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

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? 具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

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? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

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如果需要了解更多詳細參數(shù),，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。

我們主要經(jīng)營鍵合機、光刻機,、輪廓儀,，隔振臺等設(shè)備。 山東聯(lián)電輪廓儀

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】公司,。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù)，以誠信,、敬業(yè),、進取為宗旨，以建岱美儀器技術(shù)服務(wù)產(chǎn)品為目標(biāo)，努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè),。公司以用心服務(wù)為重點價值,，希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力，將磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務(wù)進行到底,。誠實、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,，也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造***的磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。