其可測量薄膜厚度在1nm到1mm之間,,測量精度高達1埃,測量穩(wěn)定性高達,,測量時間只需一到二秒,并有手動及自動機型可選,。可應用領(lǐng)域包括:生物醫(yī)學(Biomedical),液晶顯示(Displays),硬涂層(Hardcoats),金屬膜(Metal),眼鏡涂層(Ophthalmic),聚對二甲笨(Parylene),電路板(PCBs&PWBs),多孔硅(PorousSilicon),光阻材料(ThickResist),半導體材料(Semiconductors),太陽光伏(Solarphotovoltaics),真空鍍層(VacuumCoatings),圈筒檢查(Webinspectionapplications)等,。通過Filmetrics膜厚測量儀*新反射式光譜測量技術(shù),*多4層透明薄膜厚度,、n、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測得,。其應用***,,例如:半導體工業(yè):光阻、氧化物,、氮化物,。LCD工業(yè):間距(cellgaps),ito電極,、polyimide保護膜,。光電鍍膜應用:硬化鍍膜、抗反射鍍膜,、過濾片,。極易操作,、快速、準確,、機身輕巧及價格便宜為其主要優(yōu)點,,F(xiàn)ilmetrics提供以下型號以供選擇:F20:這簡單入門型號有三種不同波長選擇(由220nm紫外線區(qū)至1700nm近紅外線區(qū))為任意攜帶型,可以實現(xiàn)反射,、膜厚,、n、k值測量,。F30:這型號可安裝在任何真空鍍膜機腔體外的窗口,。可實時監(jiān)控長晶速度,、實時提供膜厚,、n、k值,。并可切定某一波長或固定測量時間間距。F50-NIR測厚范圍:100nm-250μm,;波長:950-1700nm,。光干涉膜厚儀合理價格
電介質(zhì)成千上萬的電解質(zhì)薄膜被用于光學,半導體,,以及其它數(shù)十個行業(yè), 而Filmetrics的儀器幾乎可以測量所有的薄膜,。
測量范例氮化硅薄膜作為電介質(zhì),鈍化層,,或掩膜材料被廣泛應用于半導體產(chǎn)業(yè),。這個案例中,我們用F20-UVX成功地測量了硅基底上氮化硅薄膜的厚度,,折射率,,和消光系數(shù)。有趣的事,,氮化硅薄膜的光學性質(zhì)與薄膜的分子當量緊密相關(guān),。使用Filmetrics專有的氮化硅擴散模型,F(xiàn)20-UVX可以很容易地測量氮化硅薄膜的厚度和光學性質(zhì),,不管他們是富硅,,貧硅,還是分子當量,。 官方授權(quán)分銷膜厚儀推薦型號F50-XT測厚范圍:0.2μm-450μm,;波長:1440-1690nm。
FSM膜厚儀簡單介紹:
FSM 128 厚度以及TSV和翹曲變形測試設備:
美國Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年,,總部位于圣何塞,,多年來為半導體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設備,,客戶遍布全世界, 主要產(chǎn)品包括:光學測量設備: 三維輪廓儀、拉曼光譜,、
薄膜應力測量設備,、 紅外干涉厚度測量設備、電學測量設備:高溫四探針測量設備,、非接觸式片電阻及 漏電流測量設備,、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析 (EOT),。
請訪問我們的中文官網(wǎng)了解更多的信息,。
鏡頭組件Filmetrics 提供幾十種不同鏡頭配置。訂制專門用途 的鏡片一般在幾天之內(nèi)可以完成,。
LA-GL25-25-30-EXR用于 60-1000mm 工作距離的直徑 1" 鏡頭組件,,30mm 焦距鏡頭。KM-GL25用于直徑 1" 鏡頭的簡化動力支架,。 可以在兩個軸上斜向調(diào)節(jié),。 8-32 安裝螺紋。KM-F50用于直徑 0.5" 鏡頭的簡化動力支架,。 還可以用于 F50,。可提供不同的鏡頭組合,。LA-F50/SS-13-20-UVX小光斑 (200um) 選項,,可見光, 近紅外或紫外線。
如果您想要了解更多的信息,,請聯(lián)系我們岱美儀器,。 可測量的層數(shù): 通常能夠測量薄膜堆內(nèi)的三層**薄膜。 在某些情況下,,能夠測量到十幾層,。
Filmetrics 的技術(shù)Filmetrics 提供了范圍***的測量生物醫(yī)療涂層的方案:支架: 支架上很小的涂層區(qū)域通常需要顯微鏡類的儀器。 我們的 F40 在幾十個實驗室內(nèi)得到使用,,測量鈍化和/或藥 物輸送涂層,。我們有獨特的測量系統(tǒng)對整個支架表面的自動厚度測繪,只需在測量時旋轉(zhuǎn)支架,。植入件: 在測量植入器件的涂層時,,不規(guī)則的表面形狀通常是***挑戰(zhàn)。 Filmetrics 提供這一用途的全系列探頭,。導絲和導引針: 和支架一樣,,這些器械常常可以用象 F40 這樣的顯微鏡儀器,。導液管和血管成型球囊的厚度:大于 100 微米的厚度和可見光譜不透明性決定了 F20-NIR 是這一用途方面全世界眾多實驗室內(nèi)很受歡迎的儀器,。FSM拉曼的應用:局部應力,; 局部化學成分;局部損傷,。研究所膜厚儀研發(fā)生產(chǎn)
F20-EXR測厚范圍:15nm - 250μm,;波長:380-1700nm。光干涉膜厚儀合理價格
FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng)
FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號360
FSM拉曼的應用
l 局部應力,;
l 局部化學成分
l 局部損傷
紫外光可測試的深度
***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚樣的近表面局部應力
可見光可測試的深度
良好的厚樣以及多層樣品的局部應力
系統(tǒng)測試應力的精度小于15mpa (0.03cm-1)
全自動的200mm和300mm硅片檢查
自動檢驗和聚焦的能力,。
以上的信息比較有限,如果您有更加詳細的技術(shù)問題,,請聯(lián)系我們的技術(shù)人員為您解答,。或者訪問我們的官網(wǎng)了解更多信息,。 光干涉膜厚儀合理價格
岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,,是一家專業(yè)的磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】公司,。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務,,以誠信、敬業(yè),、進取為宗旨,,以建岱美儀器技術(shù)服務產(chǎn)品為目標,努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè),。公司以用心服務為重點價值,,希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,,將磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務進行到底。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,,也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的磁記錄,,半導體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),。