NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應用測試案例

測量種類

?

基板A Sold Mask 3D形貌,、尺寸

?

基板A Sold Mask粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

?

基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

?

基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導入SPC

? 具備異常報警，急停等功能,，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

三,、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D,、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標準，都可以提供***的檢測結果作為評定依據(jù),，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度、輪廓度等參數(shù),。

四,、穩(wěn)定性強,，高重復性：

  儀器運用高性能內部抗震設計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合,，保證高重復性，將測量誤差降低到亞納米級別,。

 三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備,，它既保障了生產(chǎn)加工的準確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率,，滿足用戶對各項2D,，3D參數(shù)檢測需求的同時，依然能夠保持高重復性,，高穩(wěn)定性的運行,，其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。 ADE輪廓儀研發(fā)可以用嗎輪廓儀廣泛應用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加 工,、表面工程技術,、材料、太陽能電池技術等領域,。

    輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度,。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊,，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,，而小坎通常無法很標準(見圖),。這樣，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差,。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術，不需要任何樣本準備就可以測量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng),。

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度,、表面輪廓,、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應用于集成電路制造,、MEMS、航空航天,、精密加

工,、表面工程技術、材料,、太陽能電池技術等領域,。

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,，操作更簡單,，更方便  

如何正確使用輪廓儀

準備工作

1.測量前準備,。

2.開啟電腦,、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常,。

3.擦凈工件被測表面。

測量

1.將測針正確,、平穩(wěn),、可靠地移動在工件被測表面上。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設置所需的測量條件,。

4.開始測量,。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。

5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結果進行分析,，標出結果，并保存,、打印,。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點,、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離,、交點到點距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度,、凸度、LG凸度,、對數(shù)曲線

輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,，核探測。進口輪廓儀質量怎么樣

共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉多***盤,、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。四川輪廓儀輪廓測量應用

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像,，

多層垂直掃描

比較好高度測量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點掃描合成面成像,，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍

90萬-130萬

三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速,、重復性高,、高 分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,，臺階高度,，給MEMS、半導體材料,、太陽能電池,、醫(yī)療工程、制藥,、生物材料,，光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的,、價格合理的計量方案,。（來自網(wǎng)絡） 四川輪廓儀輪廓測量應用

岱美儀器技術服務（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位，擁有一支專業(yè)的技術團隊,。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗,，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能，致力于發(fā)展岱美儀器技術服務的品牌,。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務,，國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易,，商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】,，同時還建立了完善的售后服務體系,，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務。誠實,、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,，也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。