隨著時代的發(fā)展,，輪廓儀也越來重要了,，不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測,，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器,。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動,。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,，并分別在X和Z方向上對其進行采樣,，并將其轉(zhuǎn)換為電信號,。電信號被放大和處理，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中,。計算機以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,，分離表面并計算粗糙度分量，測量結(jié)果為計算符號,。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線。測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可以由打印機輸出,。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工、汽車,、摩托車,、精密五金、精密工具,、刀 具,、模具、光學元件等行業(yè)適用于研究機構(gòu),、大學,、計量機構(gòu)和企業(yè)計量室。在汽車,，摩托車和制冷行業(yè),，它可以測量活塞，活塞銷,，齒輪的總線參數(shù)和汽車,，摩托車和壓縮機的閥門柱塞，可以測量各種傾斜部件的參數(shù),。在軸承工業(yè)中,，內(nèi)護套環(huán)的密封槽的形狀（角度，倒角R,，槽深,，槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,，角度和對數(shù)曲線,；電機軸，圓柱銷,，活塞銷,，滾針軸承,，圓柱滾子軸承。測量模式：移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）。粗糙度儀輪廓儀可以免稅嗎

1.5. 系統(tǒng)培訓的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟,、硬件的操作手冊,；

    數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口、連接計算器,、等待時間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設置,；

    實際演示一一講解；

    如何做好備份和恢復備份資料,；

    當場演示各種報表的操作并進行操作解說,；

    數(shù)據(jù)庫文件應定時作備份，大變動時更應做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數(shù)據(jù)庫的流失,；

    在系統(tǒng)培訓過程中如要輸入一些臨時數(shù)據(jù)應在培訓結(jié)束后及時刪除這些資料,。

    備注：系統(tǒng)培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊，并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片,，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢,。 光學輪廓儀自動化測量輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？

答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍比較大可達10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時,，全檢的方式需要進行拼接測量，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測,，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù)；

4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸,？

如果需要了解更多，請訪問官網(wǎng),。

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像,，

多層垂直掃描

比較好高度測量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點掃描合成面成像，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定,，1um精度@10倍

90萬-130萬

三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速,、重復性高,、高 分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,，臺階高度,，給MEMS、半導體材料,、太陽能電池,、醫(yī)療工程,、制藥,、生物材料，光學元件,、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的,、價格合理的計量方案。（來自網(wǎng)絡） 輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用,。

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線，測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡）

輪廓儀在集成電路的應用：

封**ump測量  

視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz,，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題

由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。江蘇輪廓儀技術(shù)服務

具備異常報警,，急停等功能,，報警信息可儲存,。粗糙度儀輪廓儀可以免稅嗎

輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標的區(qū)別

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸,、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數(shù)?？傊?，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。

關(guān)于三坐標測量輪廓度及粗糙度

  三坐標測量機是不能測量粗糙度的,，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,，如果你的三坐標測量機精度比較高,，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標來代替的,。一般三坐標精度都在2-3um左右,，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,，因為它有龍門式三坐標和關(guān)節(jié)臂三坐標,，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。 粗糙度儀輪廓儀可以免稅嗎

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