輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度,。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過薄膜的檢測(cè)筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓,。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊，請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先,，樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度，而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖),。這樣,，標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術(shù),，不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下。如需更多光譜反射儀信息請(qǐng)?jiān)L問我們官網(wǎng),。白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x.原裝進(jìn)口輪廓儀值得買

輪廓儀的功能:

廓測(cè)量?jī)x能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長(zhǎng)度,、高度,、間距、水平距離,、垂直距離,、角度,、圓弧半徑等幾何參數(shù)測(cè)量。測(cè)量效率高,、操作簡(jiǎn)單,、適用于車間檢測(cè)站或計(jì)量室使用。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對(duì)各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺(tái)階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

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NanoX-系列產(chǎn)品PCB測(cè)量應(yīng)用測(cè)試案例

測(cè)量種類

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基板A Sold Mask 3D形貌,、尺寸

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基板A Sold Mask粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

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基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

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基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報(bào)警,，急停等功能，報(bào)警信息可儲(chǔ)存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

NanoX-系列輪廓儀**性客戶

? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 集成電路先進(jìn)封裝和材料：華天科技,，通富微電子，江蘇納佩斯

半導(dǎo)體,，華潤(rùn)安盛等

? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 中科院蘇州納米所,，中科電子46所，華東光電集成器件等

? 高 效太陽能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 常州億晶光電,，中國(guó)臺(tái)灣速位科技,、山東衡力新能源等

? 微電子、FPD,、PCB等產(chǎn)業(yè)

– 三星電機(jī),、京東方、深圳夏瑞科技等  

具備 Global alignment & Unit alignment

自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

如果有什么問題,，請(qǐng)聯(lián)系我們,。

NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um,，重復(fù)精度 1um,。半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀代理商

輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加 工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。原裝進(jìn)口輪廓儀值得買

    新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)*后,，表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行,。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度,，表面形貌和臺(tái)階高度的測(cè)量軟件,。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持，也包括軟件功能用于形貌分析,，如形狀去除和波長(zhǎng)過濾,，都包含在基film3D軟件,。對(duì)于更進(jìn)階的功能，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù),，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能,。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,，可達(dá)％準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm,，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片,。*大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要。更進(jìn)一步減少總體成本,。原裝進(jìn)口輪廓儀值得買

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家其他型類企業(yè),，積極探索行業(yè)發(fā)展，努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)是一家有限責(zé)任公司企業(yè),，一直“以人為本，服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營(yíng)理念;“誠(chéng)守信譽(yù),，持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針,。以滿足顧客要求為己任；以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn),；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo),，提供***的磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠(chéng)的服務(wù),、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,，為彼此贏得全新的未來,！